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文档简介
1、0目得
1、1建立一个良好得ESD控制工作环境,减少或消除ESD对电性产品得破坏。
1、2提高产品在客户端得信赖性,维护公司在客户端得信誉,保证产品得品质。
1、3维护公司员工得身体健康。
2、0范围
适用于XXX事业部,保护ESD敏感性电子元件及产品之全过旌,具体包括材料或产品之来料检查、
制造、测试、组装、包装、检查、运输及存储等。
3、0权责
3、1工程部:负责公司ESD控制之技术标准得建立,并针对重大ESD事件进行追踪,同时提出改善
措施,负责员工得ESD培训。
3、2质量部:负责对ESD控制之执行品质进行督导及稽核。
3、3计划部:负责在仓储期间及发料过程对ESD敏感性元器件进行重点防护以及防管电辅材(7、4、
2、5中规定)得来料检查与管控。
3、4生产部:负责ESD控制标准得执行及日常点检与测量。
3、5企管部:负责安排ESD人黄培训和认证考核,及相关资料归档。
4、0参考文件
4、1ANSI/ESDS20、20-2007
4、2IEC61340
4、3ANSI/EIA-625
5、0定义及相关术语
5、1ESD(E1ectrostaticDischarge):静电放电
由于电子不均匀分布使电荷在不同电位物体间相互转移得现象。
5,2E()S(E1ectriCa1OverStress):也压过应力
即当外加电压超过零件所能承受得也压范围时,造成零件得崩溃。
5、3导电材料:材料表面电阻率低于1、Ox1O0/SQ或体电阻系数低于1、0xl0sQ/CM得材料。
5、4绝缘材料:材质表面阻值至少就就是1、OxWC/SQ或电阻系数至少就就是1、OxlO】-'C/CM得
材料。
5、5号电耗散材料:一个材料其表面电阻率大于1、0x1(TC/SQ,小于1、0x1(TC/SQ、(如防静电
手套、防静电工作台等)。
5、6抗静电材料:指表面电阻率大于1、Ox1(TC/SQ,小于1、Ox1(r】C/SQ得材质。
5、7CPG(monGroundPoint)共同接地点
5、8EPA(ESDProtcctcdArea)静电防护区域
5、9ESD接地:好电充电物(人)经由汇流排、金属支板或系统传导至地面。
5、10设备接地:从电子设备到硬接地电极之低阻抗路径。
6、0流程图
《4争电防护管理程序流程图》
7、0内容
7、1长城电脑电源事业部ESD组织结构
7、1、1主要职责
7、1、1、1解决本公司重要纤ESD事件,对ESD执行进行技术性指导。
7、1、1、2每月对本公司ESD控制环境进行考核评估。
7、1、1、3按国际标准和客户要求,保证ESD防护设施得导入,
7、1、1、4定期对本公司员工进行ESD教育训练和考核,加强员工得ESD意识。
7、1、2组织结构
7、1、2、1ESD管控区域分布
ESD管控区域分布
7、1、2、2ESDteam组织图
ESDteam组织图
|隹&线
PCB1.PCB6.PCB2.PCB,2.PCB5.PCB7.8|
3.139图包4.1014.-511.16
7、2ESD教育培训
7、2、1所有从事处理或接触睁电敏感器件得工作人员,都必须接收ESD培训,并经检定考试合格者
方可从事该项工作。
7、2、2认证共分为A,B,C三级
A级-公司培训讲师,稽核员及各工作区主管级以上干部皆属之。
B级-工作区之工程师,技术员:领班,线组长,QC人员需具备之。
C级-一般作业人员及新进人员,
7、2、3培训计划得安排及每次个人培训档案得收集,汇总将由企管部做统一统筹。
7、2、4重新培训认证:凡经认定为认证资格已失效者(违反ESD规定二次以上者)及所有人员每半都
必须接收一次重新培训及认证(公司内部讲师每年不需要重新受训一次)
7、3ESD、设备接地之要求
7、3、1费电ESD接地采用2mm*4cm得扁铁埋入地表面以下。、8m深度,接地板与接地线必须
用高温熔接保证电性连接良好,且用50mn?得电线接出引至厂房各控制区域,再用6mn?得也线连接至各
线体;设备接地线由三相五线制得保护地线引出,连接至各区域线体作为设备接地使用,起到双重接地保护作
用,
7、3、2为确保人员得安全性,车间设备地线必须为独立,不可与ESD地线共用。工程部ME组技术
员须每半年对厂区设备地进行全规模检测,用一根6m2电缆线一端牢固接在厂房配电箱主设备地,一端接在
万用表一端,万用表另一端接在各线体设备地末端进行检测,此时用万用表“Q”档位进行测量,测量的值
应V4C;ESD接地需ME技术员每半年检查一次,用一根6m2电缆线一端牢囱接在静电接地主线,一端接在
万用表一端,万用表得另一端接在各爱体ESD接地末端检测点进行枪测,此时用万用表“C”档位进行测
量,测量限值应VI0C。检测结果汜录于《接地线点检记录表》中。
7、3、3生产战将ESD、设备接地末端接地电阻均需小于1OR此设备接地与ESD接地状况将检测由
使用部门各负责人每月自行测量一次,并分别记录于《ESD接地检测记录》和《设备接地检测记录》中。
7、3、4为避免ESD/EOS得发生,所有设备(AI/RI/SMD,加工成型机、测试设备、锡炉、烙
铁电动起子等)请一律使用美式或欧式三芯电源插头,确保设备工具良好接地,同时,为了确保设备得接地可
案性与避免EOS得发生,所有得带电仪器设备与电动治工具都需连接设备接地线。
7、3、5所有测试治具(ICT、INT与保护站)需采用抗辩电材舛如电木制成,外加工治具一律用防薛
电或抗静电材料制成,且机台需做好接地处理。
7、3、6ESD接地主线尾端需贴ESD共同接地测试点标签见标识图C。
7、4ESD防护区域及ESD防护工作站要求
7、4、1ESD防护区域得要求:
7、4、1、1凡就就是有对半导体材料进行存放、加工、组装、包装与检验得区域均为ESD防护区
域:包括:IQC、IC仓、AI、HI、T/H段、组装段与维修站等。
7、4、1、2ESD防护区域内如有铺设导电地板,其接地阻抗需保持在2、5'109/5([至1、0x1()
6/SQ之间;且需每月对其进行清洁及检测,并落实填写记录于《导包地板检测记录表》上。
7、4、1、3所有人员(包括间接人员、来宾)进入铺设导电地板之ESD防护区时,必须穿静业鞋,且经
检则合格后,方可进入。
7、4、1、4所有人员(包括间接人员、来宾)进入ESD防护区时应依静也环点检说明书自觉点检,
并落实填写点检记录表。
7、4、1、5为避免检测仪器不艮引起人员误测,故各部门负责人应每日对仪器进行检查,使其处于设
备良好状态。(如接法就就是否良好,电量就就是否足够)
7、4、1、6所有人员进入生产线之ESD管制区域时头发过肩洱人员必须将其放入密电帽内,头发过
腰得人员可将头发宜起或放入静电衣内,否则严禁进入生产区。
7、4、1、7所有需穿静地衣得人员(包括间接人员、厂商及参观者)在穿静也衣时其袖子严禁挽起,静
电衣之扣子或拉链必须系好,且所穿寻便装之衣领/衣帽严禁外露。
7、4、1、8的电衣清洗时需使用小于30七得中性水配合中性洗洁剂轻揉后晾干即可;其标准阻抗值为
100〜10"。之间;需每月抽检一次并记录于《静•电衣检测记录》上。
7、4、2ESD防护工作站要求:
7、4、2、1ESD防护工作站指ESD防护区域内所有具有防好电功效之工作站。
7、4、2、2ESD安全工作站之誉也环、静电桌垫接地方式必须并联,绝不能串联于ESD主线上。
且必、须接到IED接地线上,不可夹在设备接地线或各种被误认为已接地设备上。
7、4、2、3静电桌垫需经串联1MC电阻得接地扣接至ESD地,而非设备地;且接地采用之箸鱼夹与香
蕉插头不能混合使用。
7、4、2、4防静■电桌垫需每月进行点检一次,贴点检标签如标识到D,并将检测结果记录于《防铮电
桌垫点检记录》中;标签应横向贴在工作台拿近铮电接地扣处。
7、4、2、5公司所有新购之防静电辅材(防/抗静电袋、静电手腕带、静电手套、静电衣/鞋/帽、导
电桌垫、铮电车、静电盒/箱/框、PCB挂篮、将电泡棉、铮电毛刷、导电银子、防静电溶剂瓶等)进厂
或铺设时,必须经由仓库ESD人员对来料进行抽检(抽检比例:样品数N<100时,抽检20%;100<N<500
时,抽检10%;N》500时,抽检5%),待检险合格后,方可导入使用,检测报告记录于《防静电材料来料检
测记录表》中,且所有防静■电材料在受用前由各使用部门负责全检。
7、4、2、6静电安全工作站30cm以内得所有物体、材料表面及人体所带静电量(即放电模式)应小于
100V。
7、4、2、7对于生产线上具有静电发生源之工位(如:撕贴胶纸、HI处物料之绝缘包装盒)等,应增设离
子风扇有效中和静电。
7、4、2、8针对已组装好外壳得成品所进行得操作,原则上操作人员不需要佩戴静电环;但针对个别
使用高好电物料得工位(如包装塑料袋等),需要用离子风机对吹,以消余铮电。离子风机每班巡检一次,结果
记录于《离子风扇巡检记录表》中;领班应每周对离子风机平衡电压进行检测,平衡电压应小于100V,检测
结果记录于《离子风机平衡电压测试记录表》中,同时,为保证离子风扇使用之可靠性应每两个月进行一次
校准,校准结果记录于《离子风扇校准记录表》中。
7、4、2、9工作站使用之测试治具、电动工具需每班在上班前对其进行设备接地电阻及EOS对地
电压检测,结果分别记录于《EQS检测记录表》及《机器设备/电动治工具接地检测记录表》中。
7、5工作现场ESD之要求
7、5、1静电环保戴须知
7、5、1、1作业员在作业时必须依MQI要求佩戴静电环、绛也手套或烂也手指套,且费电环腕带之
金属片必须与手腕皮肤紧密接触,不可松脱或套于衣袖上。
7、5、1、2为确保1MC电阻之有效性,严禁用力拉扯号电环得导线。
7、5、1、3所有人员(含间接人员、流动员)接触ESD敏感性零组件时均须佩戴的电环,且静也环
须处于接地良好状态。
7、5、2所有人员每日上班前应主动检测静电环/鞋接地状况,每日点检两次,加班需另进行点检一次,
点检完毕后如实记录点检结果于《静电环点检记录》和《静电靶点检记录》上,且由各区域线长或区域E
S3负责人签字确认;如点检失败,应及时找线长更换新得带电林,并重新点检合格方可上线作业。
7、5、3使用静电环自动测试仪得工位,采用自主点检和线长检查得方式,自主点检方法为:不栽静电
环市开电源开关,此时测试仪上红灯亮,蜂鸣器叫;佩戴静电环后,只有绿灯亮。以上测试结果符合,表示停电
环自动测试仪处于艮好得实时监控状态,人员可靠接地。每日三次(上午、下午、晚上)需要点检,员工在自
主点检得同时,线长进行确认,并填写《静也环点检记录》。
7、5、4未使用铮也环自动测试仪得工位,由线长使用静电环测试仪器逐工位进行点检,点检方法为:
先将龄电环测试仪器得接地线接地,让员工用手触摸好电环测试仪器将金属面盖,如绿色灯持续亮,表示人员
可弃接地;其她灯亮表示接地不良。线长对点检结果作记录并填写《静■电环点检记录》。
7、5、5对于操作静也敏感性零组件之工位除以上点检外还应:
7、5、5、1所有ESD敏感零组件,应使用防等电盒/框或防铮电容器盛装。
7、5、5、2取放ESD敏感零件时,请使用防静也手套/皴子进行操作;对PCB清洁时必须使用防静
电刷方可;装PCB清洗溶剂所使用得容器必须为防殍电容器;以上使用之治工具需每月对其ESD功能进行
检则并记录于《ESD治工具点检记录》。
7、5、5、3防静电盒/防静电桌垫等各种ESD材料上必须有ESD点检标签存在。
7、5、5、4工作台上严禁张贴胶带或防止普通塑料盒、塑料袋等绝缘材料;生产线使用得绝缘废弃
物应及时清扫处理。
7、6ESD敏感性材料之来料检脸、包装、储存、运输搬运过程由ESD控制要求
7、6、1所有ESD敏感材料或产品在静电防护区域外应完好封装于静电屏蔽IC管或静电屏蔽袋
内,不可打开包装;不能使用易产生降电和放电得物质进行包装和储存。
7、6、2ESD敏感器件来料检险之ESD控制要求:
7、6、2、1检验静电敏感器件得人员必须佩栽号也环,并由组长用铮电环测试仪器测试,每日三次(上
午、下午、晚上加班),并填写《静电环点检记录》。
7、6、2、2检脸治工具和设备(电络铁、业批等)必须按地,并用万用表测试其接地电阻及EOS电压,
每日三次(上午、下午、晚上加班),接地电阻要小于10Q.EOS也压要小于0、3V,并填写《EOS检测记
录表》与《机器设备/电动治工具接地检测记录表》。
7、6、2、3检脸铮也敏感器件如有接触IC、晶体管及PCB板时要戴防静电手套,防止手汗中得有机
物氧化元器件、PCB板等。
7、6、3ESD敏感性材料之包装过程中ESD控制要求:
7、6、3、1ESD敏感元件得包装材料应为抗静电或静电消散材质,包装好得ESD敏感材料其静电
盒(袋)应处于密封状态,同时包装上应有静电敏感性标识。
7、6、3、2拆装过后得散装ESD敏感材料需放于密闭得静电料袋QC管)内,不能放于普通塑料容
器或保丽龙容器中。
7、6、3、31遥D敏感材料在进行包装时,应排列整齐,不能堆积摆放,不允许有产生静电得材料(泡沫、
尼龙、带状物等)在包装袋中。
7、6、4本厂常见得防的也包装容器及其要求:
7、6、4、1抗静■电(抗强化液处理)IC管、IC料盒、料盒、零件袋及静电箱(通常为黑色、银灰色)
7、6、4、2铮电屏蔽袋得表面电阻率在〜io“Q/Square之间。
7、6、4、3龄电消散搬运箱表面电阻率需在1()6〜10"C/Square之间。
7、6、4、4导电料盒/隔板表面阻抗需在106〜1O^c/square之间则有效。
7、6、4、5导电容器需有静电防护标签做有效管控,且需每三个月进行全检一次,并填写《导电容器检
测记录》。
7、6、5ESD敏感性材料储存过程中得ESD控制要求:
7、6、5、1存放静电敏感性材料得仓库,需用温湿度计进行监控,检查温度应在5・28度,湿度应在4
0%75%,每两小时记录一次(8:20-22:20),并填写《库房温湿度记录表》。
7、6、5、2公司ESD产品进行存放,应使用石墨型褐色导电盒/箱/隔板;其有厂商提供之品质证
明:具有永久性防睁电之功能。
7、6、5、3存放ESD敏感材料所使用之固定或移动得物料架须具备良好接地(如:使用接地链或
导电^仑)
7、6、5、4对与晶体管、IC等具有ESD敏感之也子零件均需作好ESD防护动作(如摆放时得
物料架铺设防铮电桌垫)。
7、6、6ESD敏感性材料运输搬运过程中ESD控制要求:
7、6、6、14,电敏感性材料得运输,必须使用用防静电包装袋或防静电料盒盛装,防静电料盒必须
每季度点检一次,使用表面阻抗测试仪,表面阻抗为10。〜10,Q,点检结果记录在标签上并帖贴在对应将科
盒上,并填写《导电容器检测记录》。
7、6、6、2所有ESD敏感材料或产品必须用防静电(导电)车来运送。
7、6、6、3导也车接地阻抗正常在/SQ之间,需每月检测一次贴上点检标签并记录于1到
电车检测记录表》或须有厂商提供材质得有效性证明,以作时间管制。
7、6、6、4推车上之产品尽可能不要重叠放置,如需重叠放置时,层与层之间须使用静电隔板隔开。
7、6、6、5推车进入非ESD区域进行产品零件得运揄时,需使用静电防护罩(袋)做屏蔽,
7、6、7在使用普通纸箱包装、储存、运输搬运ESD敏感性材料时,箱内需设置防静电防护(如铺设
抗静电袋、静电泡棉及薛电隔板)。
7、6、8所有人员在发料、点料、配料、包装及取放ESD敏感性材料时均须佩戴降电环并确保良
好接地;在使用修理科时ESD敏感性材料应放于抗静电料盒内。
7、7标识
7、7、1、1图A为静•电敏感标识(ESDSusceptibilitySymbol),主要用于ESD敏感元件之外包
装及ESD敏感区。
7、7、1、2图B为静电防护标识(ESDProtectiveSymbol),用于静电安全区域或ESD安企工
作站。
7、7、1、3图C为ESD共同接地测试点(ESDmonGrourdPointSymbo1),用于ESD接
地线末嫡。
7、7、1、4图D为ESD点检标签,使用作为各种ESD材料检测标识;标签日期得填写格式需均为:XX
年XX月XX日,标签统一为浅蓝色底纸制作,并贴于ESD材料之显眼处。
7、7、1、5图E为静电敏感区标识(ESDSusceptib1eAreaSymbol),主要用于全厂各ESD敏
感区域。
7、7、2ESD注意标识应明确标识于ESD防护区及工作站告知所有进入人员;一般视力下标识应
在I米内可读见。
7.7.3在ESD敏感性零组件作业工位上,其防静电零件盒和防静业盒/板、晶体元件之料盒及MQI
上都应由静电敏感性标识。
7、8各种元器件得静业敏感度(以人体模型HBM为例)
器件矣型时ESD阔依器件类型射ESD网依
VM0S30-1800ECL300-2500
MOSFET100-200JFET140-1000
CUASFET100~300SCL680~1000
PROM100STTL300~2500
CMOS250~2000DTL380-7000
HMOS50-500内特表二极管300-3000
E/DMOS200-1000双极型晶体管380-7000
7、9稽核
7、9、1每月内部稽核
7、9、1、1稽核小组分别由AI、生产部、工程维修、售后、IC仓库、质量部&IQC与DQA各派一
员组成,且ESD稽核人员须经培训考核并有ESD稽核经验。
7、9、1、2稽核时依据稽核计划进行,稽核项目依《ESD内部稽核查检表》为参考依据。
7、9、1、3对稽核不符合项目由ESDTeam发出稽核不符合项目报告,请各责任部门及时提出整改
措施,最后由部门ESD负责人报告涛档保存。
7、9、2对ESD稽核过程中发现因人为因素违反ESD规定者,将按员工奖惩管理办法对其责任人进
行处罚。
7、10ESD规划
项目种类检测周期检测责任人标准范围
万用表测静电环内阻:1、0M士
10%Q
1铮电环每天所有人员
人体综合测试仪:750K〜10MC
750KC〜35MQ
2静电鞋每天所有人员
就就是否按文件要求正常使用
3离子风机巡检每天领班/全能员
离子风扇平衡
4每周领班/全能员平衡业压:v±100V
电压
衰减时间:与3s
5离子风机校准每两月工程部ME平衡电压:<±50V
6EOS测量每天领班/全能员EOS电压:V0、3V
机器设备/电动
7治工具接地每天领班/全能员设备接地也限:<10Q
静电压:VI00V
8ESD治工具每月领班/全能员表面阻抗:1。4〜1O"C/SQ
9静电衣帽每月领班/全旅员i*1o6—i*io9n/SQ
10防静电桌垫每月领班/全能员1*1。6〜1*lo'Q/SQ
11导也地板每月区域ESD负责人2、5*10"〜1、0*106Q/SQ
12导电容器三个月领班/全能员1*1o6〜1*io9n/SQ
13导电料架车每月领班/全能员
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