CN119414312A 一种pvd磁控管磁场自动扫描装置及方法 （浙江晟霖益嘉科技有限公司）_第1页
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文档简介

本发明公开了一种PVD磁控管磁场自动扫描装置及方法，所述磁场自动扫描装置包括PVD磁路模块，其中，所述PVD磁路模块和伺服电机相拉计探头下方围绕PVD磁路模块周围设置磁路屏蔽罩。本发明提供的PVD磁控管磁场自动扫描装24.如权利要求1所述的PVD磁控管磁场自动扫描装置，其特征在于，所述PVD磁路模块6.如权利要求1所述的PVD磁控管磁场自3S4）将采集到的极坐标上磁场数据转换成直角9.如权利要求8所述的PVD磁控管磁场自动扫描方法，其4[0001]本发明涉及一种磁场自动扫描装置及方法，尤其涉及一种PVD（PhysicalVapor[0005]本发明所要解决的技术问题是提供一种PVD磁控管磁场自动扫描装置及方法，具[0006]本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种PVD磁控管磁场自动扫5路上极板和磁路下极板通过紧固螺钉连接，所述PVD磁路模块通过下极板安装孔安装在转[0013]本发明为解决上述技术问题还提供一种PVD磁控管磁场自动扫描方法，采用上述PVD磁路模块绕旋转中心做旋转运动；S2）控制特斯拉计探头在直线电机模组上作平移运探头进行磁场测量，可以每0.1mm或者更短取一个测量点，从而获取更精确的磁场分布情6电机模组7的滑块7_6上设置有特斯拉计探头9，使得特斯拉计探头9可沿着直线电机模组7伺服电机1的电机轴与转轴15连接并带动PVD磁路模块5旋转；所述深沟球轴承13的轴向端7过顶部凸台安装在上极板磁柱限位孔5_6内，所述磁路上极板5_1和磁路下极板5_3通过紧模组机座7_11上安装有模组电机7_1，所述模组电机7_1主轴通过联轴器7_2与主动传动轮通过滑块螺孔7_7与滑块7_6固定连接，所述直线电机模组7通过模组安装块7_10与模组固继续半径上的扫描，如此往复，从而实现磁路在磁路模块在360度方向上的全自动扫描检[0026]2、在特斯拉计探头9下方磁路周围设置磁路屏蔽罩6，有效屏蔽了外界环境的干[0031]本实施例提供一种半导体PVD磁控溅射磁路的磁场自动扫描检测方法，具体步骤89

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