DB35∕T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通.用技术条件

ICS77.150.99DB35DB35/T1873—2019热喷涂旋转硅靶材通用技术条件Generaltechnicalspecificationforthermalsprayingrotarysilicontarget福建省市场监督管理局发布DB35/T1873—2019I前言 12规范性引用文件 1 14试验方法 35检验规则 36标志、包装、运输和贮存 4DB35/T1873—2019本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由福建阿石创新材料股份有限公司提出。本标准由福建省工业和信息化厅归口。本标准起草单位：福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。本标准主要起草人：张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。DB35/T1873—20191热喷涂旋转硅靶材通用技术条件本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1423贵金属及其合金密度的测试方法GB/T1551硅单晶电阻率测定方法GB/T13296锅炉、热交换器用不锈钢无缝钢管GB/T26125电子电气产品六种限用物质（铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚）的测定YS/T935电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南3要求3.1原料要求3.1.1不锈钢衬管钢材应为奥氏体不锈钢无缝管。3.1.2硅粉纯度硅粉标称含量应大于等于99.95%。3.2硅涂层杂质元素限量指标硅涂层杂质元素限量指标应符合表1的规定。表1硅涂层杂质元素限量指标VONDB35/T1873—20192DB35/T1873—20193.3外观质量表面颜色应均匀，靶表面应平整，无裂纹，无崩边，气孔直径不大于0.5mm，且无外来夹杂物和污3.4尺寸偏差尺寸偏差应符合表2的规定。表2尺寸偏差3.5物理性能3.5.1密度涂层密度(ρ)应大于等于2.2g/cm3，且密度均匀性偏差应小于等于±2%。3.5.2电阻率涂层电阻率应小于0.05Ω•cm。3.6涂层有害物质指标涂层有害物质指标应符合表3的规定。表3涂层有害物质指标DB35/T1873—201934试验方法4.1原料4.1.1不锈钢衬管每批检查供应商材质报告，有争议时按照GB/T13296进行材质分析。4.1.2硅粉纯度每批检查供应商材质报告，有争议时按照高分辨率辉光放电质谱法进行材质分析。4.2硅涂层杂质元素限量按YS/T935的规定进行检测。4.3外观质量在照度800lm的日光灯照条件下，通过目测和量具检验，量具精度优于0.02mm。4.4尺寸偏差使用精度优于0.05mm的量具测量。4.5物理性能4.5.1涂层密度单根产品进行破坏性取样，取样位置分别为涂层两端和中间位置，取三组样品，每组重量在5g~10g，按GB/T1423的规定测试。密度均匀性偏差根据三组样品的测试密度数值计算，取三组样品密度数值的算术平均值作为密度平均值，每组样品密度数值未超出密度平均值的±2%，判定密度均匀性偏差合格。4.5.2涂层电阻率按GB/T1551的规定测试。4.6涂层有害物质指标按GB/T26125的规定测试。5检验规则5.1组批产品以批为单位进行验收，以同一批材料、同一工艺连续生产、同一规格的产品为一批。5.2抽样外观质量、尺寸偏差、电阻率100%检验。每批随机抽取一根做硅涂层杂质元素限量、密度、涂层有害物质限量项目检测。DB35/T1873—201945.3出厂检验5.3.1出厂检验项目为：硅涂层杂质元素限量、密度、外观质量、尺寸偏差、电阻率。5.3.2每批产品应经生产厂检验部门按本标准规定的方法检验，并出具产品合格证后方可出厂。5.4型式检验型式试验项目为本标准的全部要求。正常生产时，每年进行一次型式检验。有下列情况之一时，需进行型式试验：a)新产品投产时；b)改变生产工艺或使用新原材料生产，而又可能影响产品性能时；c)停产六个月以上再恢复生产时；d)出现重大质量问题时；e)国家质量监督机构提出型式检验要求时。5.5判定规则5.5.1单根产品外观质量、尺寸偏差、涂层电阻率检验不合格时判定该根产品不合格。5.5.2硅涂层杂质元素限量、涂层密度、涂层有害物质限量检验不合格时判定该批产品不合格。5.5.3检验结果全部符合要求时，判定该批产品合格。6标志、包装、运输和贮存6.1标志包装标签内容应包括：a)制造厂名、厂址；b)产品名称；f