CN111174694B 一种激光干涉位移测量装置及其使用方法 （山西大威激光科技有限公司）_第1页
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原阳曲园区锦绣大街小微企业园二期本发明涉及一种激光干涉位移测量装置及2还包括三角波反射镜，用于接收第一分光镜透射的激光束，并第二分光镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将聚光透镜，用于接收第一分光镜和三角波反射镜反处理器，用于记录第一光电探测器上激光束入射位置点的变化，以所述读数头设置于被测物体上随被测物体一起移动，且三角波反射镜固步骤S1：将三角波反射镜/读数头固定设置，并将读数头能够接收到第二分光镜透射的激光束；将第一光电探测器设置于分光棱镜和聚光透镜之步骤S3：在时间t内再次在水平方向上移动被测物体，读步骤S4：通过第一光电探测器上激光束入射位置点的变化计算时间t内的平均激光束算出被测物体第二次在水平方向上的位移量x-a；32.一种激光干涉位移测量装置的使用方法，还包括三角波反射镜，用于接收第一分光镜透射的激光束，并第二分光镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将聚光透镜，用于接收第一分光镜和三角波反射镜反处理器，用于记录第一光电探测器上激光束入射位置点的变化，以所述读数头设置于被测物体上随被测物体一起移动，且三角波反射镜固步骤S1：将三角波反射镜/读数头固定设置，并将读数头步骤S3：在时间t内再次在竖直方向上移动被测物体，读步骤S4：通过第一光电探测器上激光束入射位置点的变化计算时间t内的平均激光束计算出读数头/三角波反射镜第二次在竖直方向上的位移量x-a；4[0017]为更详细的说明测量装置的结构，所述三角波反射镜包括N个结构相同的反射结5头/三角波反射镜随被测物体在水平方向上移动，使得第二光电探测器上产生的干涉现象[0027]步骤S4：通过第一光电探测器上激光束入射位置点的变化计算时间t内的平均激光束波长λ;头/三角波反射镜随被测物体在竖直方向上移动，使得第二光电探测器上产生的干涉现象6[0034]步骤S4：通过第一光电探测器上激光束入射位置点的变化计算时间t内的平均激光波长λ;此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因7者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或分光镜透射至三角波反射镜的激光束定义为8二光电探测器上产生相长干涉为M个，同时处理器记录第一光电探测器上激光束的落点位因此第一分光镜透射激光束的光程差变化量为第二分光镜反射激光束的光程差变化量同样为则整体干涉光路光程差为ir,从而根据9头/三角波反射镜随被测物体在水平方向上移动，使得第二光电探测器上产生的干涉现象[0075]步骤S4：通过第一光电探测器上激光束入射位置点的变化计算时间t内的平均激光束波长λ;头/三角波反射镜随被测物体在竖直方向上移动，使得第二光电探测器上产生的干涉现象[0082]步骤S4：通过第一光电探测器上激光束入射位置点的变化计算时间t内的平均激光波长λ;

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