CN111451942B 一种平面靶材的自动喷砂方法 （东莞市欧莱溅射靶材有限公司）_第1页
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TWM307480U,2007.03.11本发明公开了一种平面靶材的自动喷砂设部喷砂枪的摆动方向与运送装置移动的前进方23[0003]因需喷砂的区域为四个侧面和靶面非溅射区域，喷砂区域的方向和形状都不规4中部喷砂枪沿靶材的宽度方向往复摆动，当侧部喷砂枪的喷砂范围的直径大于靶材的厚度的一侧摇摆至靶材宽度的另一侧所需的时间设置为t，中部喷砂枪从靶材宽度的一侧摇5当侧部喷砂枪为摇摆设置时，侧部喷砂枪的摇摆速度设置6动速度不均匀，造成喷砂面出现粗糙度偏差较大，不同的位置粗糙度测量结果偏差达到7部喷砂枪21与平面靶的喷砂面的距离可分别通过中部连接杆32和/或中枪连杆36进行调作人员可根据实际情况选择不同的调节方式进行灵活操作，使中部喷砂枪21的调节更精砂位置间的受到喷砂的时间不同从而造成喷砂粗糙度不同的8部连接杆46插入侧杆连接孔45的长度可调节侧部喷砂枪41至平面靶的侧部喷砂面的距离。产情况进行调整。如控制部对所有的中部喷砂枪21或所有的侧部喷砂枪41进行一致性控灵活。[0049]中部喷砂枪21和侧部喷砂枪41的枪口距离靶材12的喷砂面的距离设置在200mm至9面宽度方向的喷砂区域的更加均匀，且靶材12板面的宽度方向的喷砂区域达到全面覆盖。板面包括背板的表面14和平面靶的不规则面15。靶材12需要喷砂的面包括靶材12的侧面、材12侧面的喷砂时间所形成的喷砂效果与中部喷砂枪21在靶材12板面形成的喷砂效果相间设置为t，中部喷砂枪21从靶材12宽度的一侧摇摆至靶材12宽度的另一侧所摆动的路程面15也形成一具有吸附能力的表面，使未按预定轨迹飞向的原子被吸附在不规则面15上，[0062]表1.1为本发明的自动喷砂设发明的自动喷砂方法使用的砂均控制在喷砂室内，能有效防止在喷砂过程中砂粒的飞溅，

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