CN111803125B 微型阵列超声换能器及其制备方法、包含其的超声探头 （中国科学院苏州生物医学工程技术研究所）

US2001041837A1,2001.CN212521818U,2021.02.12最大限度地发挥了每个阵元在长度方向上的性压电晶片的第二压电电极由压电材料层延伸至方法避免了常规超声换能器制备过程中因需对连接线精细加工以及与第二压电电极精确对接2所述柔性电路板上阵列设置有若干线型第一电路电极和至少一个第所述压电晶片包括具有压电柱的压电材料层、阵列设置在所述压电性电路板一侧表面的若干线型第一压电电极以及覆盖在所述压电材料层朝向所述声匹配层一侧表面并沿所述压电材料层部分边缘延伸至所述压电材料层朝向所述柔性电路板一其中，若干所述第一电路电极与若干所述第一压电电极一一对所述压电材料层选自1-3型压电复合材料；压电材料层具有垂直于两表面的若干压电所述压电材料层朝向所述柔性电路板的一侧表面上设置有与所述压电电极间隙对应第一压电电极为若干线型阵列，设置在压电材料层具有凹槽结构的一侧部分表面上，第二压电电极两端均沿压电材料层的两短边延伸至第一压电电极侧沿垂直于线型延伸方向上相邻的两个所述第一压电电极或相邻的两个所述第一电路在所述压电材料层两表面及部分边缘设置连续导电片层，形成包对所述压电晶片一侧表面的所述导电片层进行首次切割以形成首个所述压电电极间3隙以及位于首个所述压电电极间隙两侧的互不连接的第一压电导电层和第二压电导电层；将所述压电晶片与所述柔性电路板压接，实现所述第一压电电极与一片远离所述柔性电路板的一侧表面上设置所述在所述压电材料层两表面及部分边缘设置连续导电片层，形成包将所述柔性电路板、所述声匹配层分别设置在所述沿所述第二电路电极和相邻的所述第一电路电极之间间隙以及相邻两个所述第一电在所述柔性电路板远离所述压电晶片的一侧表面上设置所述将所述微型阵列超声换能器内柔性电路板的第一电路电极和第二电路电极分别引出4[0001]本发明属于超声成像技术领域，具体涉及一种微型阵列超声换能器及其制备方列超声换能器、该微型超声换能器的制备方法以及包含该微型阵列超声换能器的超声探述柔性电路板一侧表面的若干线型第一压电电极以及覆盖在所述压电材料层朝向所述声匹配层一侧表面并沿所述压电材料层部分边缘延伸至所述压电材料层朝向所述柔性电路5[0011]优选地，该结构的微型阵列超声换能器，所述压电材料层选自1-3型压电复合材路板的一侧表面上设置有与所述压电电极间隙对应的[0015]沿垂直于线型延伸方向上相邻的两个所述第一压电电极或相邻的两个所述第一两个所述第一电路电极之间设置有与所述第[0022]对所述压电晶片一侧表面的所述导电片层进行首次切割以形成首个所述压电电极间隙以及位于首个所述压电电极间隙两侧的互不连接的第一压电导电层和第二压电导[0024]将所述压电晶片与所述柔性电路板压接，实现所述第一压电电极与一一对应连压电晶片远离所述柔性电路板的一侧表面上设置6[0029]沿所述第二电路电极和相邻的所述第一电路电极之间间隙以及相邻两个所述第[0034]将所述微型阵列超声换能器内柔性电路板的第一电路电极和第二电路电极分别侧表面的若干线型第一压电电极以及覆盖在压电材料层朝向声匹配层一侧表面并沿压电第二压电电极和相邻的第一压电电极之间以及相邻的两个第一压电电极之间形成线型压78便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、[0067]压电晶片21是微型阵列超声换能器2的核心部件，在接收电压后产生振动并输出复合材料在制作工艺上体现出比其它常规压电材料更多的优势，即不需对压电材料层211压电电极再与柔性电路板连接即可形成所需形式的阵元成较为理想的线型阵元结构，在压电材料层211的一侧表面通过切割等方法形成若干线型9为2×32矩形阵列，每个凹槽结构2112、每个压电线阵的线型整体延伸方向与压电材料层211宽度方向一致；并且，沿垂直于各自线型延伸方向上相邻的两个凹槽结构2112互相平行、相邻的两个压电线阵互相平行，沿平行于各自线型延伸方向上相邻的两个凹槽结构[0072]每一个压电线阵包含若干独立压电柱2111，且在每个压电线阵之间(即凹槽结构短边延伸至第一压电电极212侧形成双侧包器制备过程中因需对连接线精细加工以及与第二压电电极213精确对接而导致工艺复杂的[0076]如图2和图7所示，柔性电路板22设置在压电材料层211具有凹槽结构2112的一侧[0079]本实施例提供一种如实施例1所述的微型阵列超声换能器的制备方法，如图8所[0081]在压电材料层211两表面及部分边缘设置连续导电片层，形成包边结构的压电晶[0085]沿着包边结构(即平行于压电材料层211短边方向)，对第一步中压电晶片21一侧电极间隙两侧互不连接的第一压电导电层和第二[0088]由于1-3型压电复合材料具有压电柱2111结构，故上述切割深度控制在大于等于[0093]先将柔性电路板22通过压接方式设置在压电晶片21具有压电电极间隙的一侧表[0094]本实施例提供的制备方法，只需对压电材料层211进行切割即可形成压电电极阵[0096]本实施例提供一种如实施例1所述的微型阵列超声换能器的另一种制备方法，如21上形成与电路电极间隙223对应的凹槽结构2112，则导电片层形成阵列设置的若干线型第一压电电极212以及与至少一个第二压电电极213，且该第二压电电极213与第一压电电极212位于压电材料层211的同侧，使得第一压电电极212与第一电路电极221一一对应连[0108]由于1-3型压电复合材料具有压电柱2111结构，故上