CN110417373A 一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器及制备方法 （华南理工大学）_第1页
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一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐本发明公开了一种频率可调的横向场激励28.一种如权利要求1-7任一项所述的横向场激励薄膜体声波谐振器的制备方法，其特3并且随着移动通信技术的飞速发展，薄膜体声波谐振器不仅在射频前端中得到大量应用，多晶材料具有各向同性的特性，所以一般都认为电极在压电基片上的性能与电极方向无[0008]本发明的次要目的是提供一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器的制备4[0024](2)本发明频率可调薄膜体谐振器可以在，同一压电基片上实现片上体声波滤波[0025](3)现有制备工艺多通过磁控溅射得到多晶压电薄膜材料，由于多晶材料中存在5[0040]图1为本发明中仿真的横向场激励薄膜体声波谐振器的立体结构图，包括从上往678

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