CN112740361B 衬底处理装置及衬底处理方法 （株式会社斯库林集团）

2021.03.19PCT/JP2019/0283452019WO2020/059280JA2020.03.26JP2013207207A,2013.10.07本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理出口，且从所述喷出口朝向衬底喷出SPM；混合来将供给至所述衬底保持单元保持的衬底并从从该衬底排出的SPM回收而制成硫酸含有液；及SPM喷出步骤，通过将制成后的硫酸含有液及过氧化氢水供给至所述混合部并在所述混合部混合硫酸含有液及过氧化氢水而生成SPM，并从所2硫酸含有液供给装置，用来将供给至所述衬底保持单元保持的衬所述硫酸含有液供给装置包含第1储液部与第硫酸含有液制成步骤，将供给至所述衬底并从该衬底排出的SPM回收而制成硫酸含有SPM喷出步骤，通过将制成后的硫酸含有液及过氧化氢水供给至所述混合部并在所述第1加热步骤，通过所述第1加热器加热沿所述第2槽及所述第1配管循环的硫酸含有第2加热步骤，通过所述第2加热器加热沿所述第1槽及所述第2配管循环的硫酸含有所述控制装置在所述SPM喷出步骤中执行将沿所述第2槽及所述第1配管循环的硫酸含所述控制装置当利用所述硫酸浓度计获得的测量值小于指定的判定33.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中基于所述第1加热器的加热温度即第1加热温度高于基于所述第2加热器的加热温度即所述控制装置在所述硫酸含有液制成步骤中还执行第3加热步骤，所过所述第3加热器加热沿所述硫酸含有液供给配管流通硫酸含有液制成步骤，将供给至由所述衬底保持单元保持且至少加热步骤，通过所述第2储液部的第1加热器加热沿所述第所述SPM喷出步骤包含将沿所述第2槽及所述第1配管循环的硫酸含有液供给至所述混所述硫酸含有液制成步骤还包含通过所述第2加热器将沿所述第1槽及所述第2配管循6.根据权利要求5所述的衬底处理方法，其中所述第2储液部包含测量沿所述第2槽及所述硫酸补充步骤在利用所述硫酸浓度计获得的测量值小于指定的判7.根据权利要求5所述的衬底处理方法，其中基于所述第1加热器的加热温度即第1加热温度高于基于所述第2加热器的加热温度即所述硫酸含有液制成步骤还包含通过所述第3加热器将沿所述硫酸含有液供给配管流4后的SPM回收并将该回收的SPM再使用于之后的处理5[0015]本发明提供一种衬底处理装置，利用作为硫酸及过氧化氢水的混合液的SPM从衬化氢水供给至所述混合部并在所述混合部混合硫酸含有液及过氧化氢水而生成SPM，并从成的硫酸含有液通过与过氧化氢水混合而作为S[0018]从提高SPM的去除能力的观点来看，要求制成的硫酸含有液的硫酸浓度为指定的[0019]着眼于所回收的SPM中包含的硫酸，以与过氧化氢分离的形式调整硫酸含有液的有液制成的SPM从衬底效率良好地去除抗[0020]在本发明的一实施方式中，所述硫酸含有液供给装置包含第1储液部与第2储液6环的硫酸含有液的温度精度良好地调整为所要求的[0023]将专门进行硫酸含有液的温度调整的第2储液部与可以对硫酸含有液补充硫酸[0025]根据该构成，沿第2槽及第1配管循环的硫酸含有液的硫环的硫酸含有液加热。所述控制装置在所述硫酸含有液制成步骤中还执行通过第2加热器加热沿所述第1槽及所述第2配管循环的硫酸含有液的第2管循环的硫酸含有液通过第2加热器加热。在第1及第2储液部分别通过第2及第1加热器加将沿所述第1槽及所述第2配管循环的硫酸含有液[0030]根据该构成，在第1储液部未设置用来将沿第1槽及第2配管循环的硫酸含有液加低而无法在第1储液部良好地捕获硫酸含有7沿所述第3槽及所述第3配管循环的硫酸含有液输送到所述第[0038]在本发明的一实施方式中，所述第1储液部还包含用来将沿所述第1槽及所述第2通过所述冷却器将沿所述第1槽及所述第2配管循环的硫酸含有液冷却的可以使沿第1槽及第2配管循环的硫酸含有液的温度降低到[0041]根据该构成，由于可以使通过过滤器的硫酸含有液的温度降低到室温或小于室[0045]根据该构成，在第1储液部(第3储液部)升温至第2加热温度后的硫酸含有液供给将应该输送到混合部的硫酸含有液的温度(第1加热温度)设为极高的温度的情况下，也可管流通的硫酸含有液加热。所述控制装置在所述硫酸含有液制成步骤中还执行第3加热步骤，该第3加热步骤通过所述第3加热器加热沿所述硫酸含有液供给配管流通的硫酸含有8[0047]根据该构成，沿第2槽及第1配管循环的硫酸含有液被引导至硫酸含有液供给配元保持的衬底并从该衬底排出的液体回收并且输送到所述硫酸含有液供给装置；排液配从所述衬底保持单元保持的衬底排出的液体流入的配管在所述排液配管及所述回收配管表示硫酸含有液相对于过氧化氢水的比的第1混合比将硫酸含有液及过氧化氢水混合而制第2SPM在所述第1SPM供给步骤中停止供给所述第1SPM之后供给至所述衬底保持单元保持元而使在所述第2SPM供给步骤中供给至所述衬底并从所述衬底排出的所述第2SPM流入到的硫酸含有液的体积相对于混合前的过氧化氢水的体积的比。第1混合比小于第2混合比。第2SPM虽然去除能力比第1SPM差，但由于通过供给第1SPM而几乎所有抗蚀剂从衬底去除，1SPM包含通过第1SPM与抗蚀剂的反应而产生的大量污染物质(抗蚀剂的碳化物等)。因此，9浓度较大的状态，而是在开始回收SPM之前将过氧化氢浓度较高且具有充分的去除能力的罩及所述第2护罩的状态在由所述第1护罩承接从所述衬底排出的液体的第1状态与由所述第2护罩承接所述第2SPM供给步骤中从所述衬底排出的所述第2[0055]根据该构成，从衬底排出的第1SPM由包围衬底的第1护罩承接。从衬底排出的第2SPM由包围衬底的第2护罩承接。由第1护罩承接的第1SPM流入到连接于第1护罩的排液配述喷嘴从喷出口朝向衬底保持单元保持的衬底喷出作为硫酸及过氧化氢水的混合液的给至由所述衬底保持单元保持且至少一部分由抗蚀剂覆盖的衬底并从该衬底排出的SPM回成的硫酸含有液通过与过氧化氢水混合而作为S[0059]从提高SPM的去除能力的观点来看，要求所制成的硫酸含有液的硫酸浓度为指定[0060]着眼于所回收的SPM中包含的硫酸，以与过氧化氢分离的形式调整硫酸含有液的有液制成的SPM从衬底效率良好地去除抗槽补充硫酸；将从所述第1槽输送来的硫酸含有液贮存在与所述第1槽不同的第2储液部的及第1配管循环的硫酸含有液的温度调整为所[0064]可以将专门进行硫酸含有液的温度调整的第2储液部与能够对硫酸含有液补充硫酸(能够调整硫酸含有液的硫酸浓度)的第1储液部分开设置。由于补充的硫酸的温度为室的温度调整的第2储液部与能够对硫酸含有液补充硫酸的第1储液部分别分开地设置，所的比的第1混合比将硫酸含有液及过氧化氢水混合而制成第1SPM，并将所制成的所述第2SPM在所述第1SPM供给步骤中停止供给所述第1SPM之后供给至所述衬底保持单元保持的的硫酸含有液的体积相对于混合前的过氧化氢水的体积的比。第1混合比小于第2混合比。第2SPM虽然去除能力比第1SPM差，但由于通过供给第1SPM而几乎所有抗蚀剂从衬底去除，1SPM包含通过第1SPM与抗蚀剂的反应而产生的大量污染物质(抗蚀剂的碳化物等)。因此，浓度较大的状态，而是在开始回收SPM之前将过氧化氢浓度较高且具有充分的去除能力的述衬底且连接于所述排液配管的第1护罩承接所述第1SPM供给步骤中从所述衬底排出的所第2SPM供给步骤中从所述衬底排出的所述第[0072]根据该方法，从衬底排出的第1SPM由包围衬底的第1护罩承接。从衬底排出的第2SPM由包围衬底的第2护罩承接。由第1护罩承接的第1SPM流入到连接于第1护罩的排液配[0082]图8是表示SPM步骤(图7的S3)中的硫酸含有液及过氧化氢水的混合比的推移与第[0083]图9是表示为了制成SPM而将硫酸含有液及过氧化氢水混合并将从衬底回收的SPM[0085]图11是从水平方向观察本发明的第2实施方式的第1硫酸含有液供给装置所得的[0086]图12是从水平方向观察本发明的第3实施方式的第1硫酸含有液供给装置所得的[0090]移载传送单元3包含分别保持收容衬底W的多个载具C的多个装载埠LP及用来相对[0091]装置主体2包含搬送室5及利用处理液或处理气体等处理流体对从多个装载埠LP[0092]衬底处理装置1除了包含移载传送机械手IR以外，还包含第1衬底搬送机械手CR1及第2衬底搬送机械手CR2作为搬送机械手。第1衬底搬送机械手CR1及第2衬底搬送机械手IR与装载埠LP侧的2个塔中包含的处理单元6之间搬送衬底W，并且在移载传送机械手IR与第2衬底搬送机械手CR2之间搬送衬底W。第2衬底搬送机械手CR2在移载传送机械手IR与和装载埠LP侧为相反侧的4个塔中包含的处理单元6之间搬送衬底W。第1衬底搬送机械手CR1[0093]处理液供给装置对处理单元6供给处理液(硫酸含有液(蚀刻液或清洗液))。处理整后的硫酸含有液供给至处理单元6。硫酸含有液供给装置8包含配置在无尘室外的第1硫含有液供给装置9配置在称为次洁净区(Sub-Fab)的无尘室的楼下空间。各第1硫酸含有液供给装置9与配置在搬送室5的一侧的3个塔相对应。对各第1硫酸含有液供给装置9供给从对应的3个塔中包含的处理单元6排出的SPM。第1硫酸含有液供给装置9包含第1储液部11，该第1储液部11将从处理单元6排出的SPM回收并作为硫酸含有液加以贮存，并调整为指定[0096]对第2硫酸含有液供给装置10，从对应的第1硫酸含有液供给装置9输送硫酸含有供给至处理单元6的SPM喷嘴(喷嘴)13(参照图2及图4)。对SPM喷嘴13从过氧化氢水供给单[0098]从提高SPM的去除能力的观点来看，要求制成的硫酸含有液的硫酸浓度为指定的的硫酸含有液制成的SPM从衬底W将抗蚀剂效[0101]图2是从水平方向观察分别示于图1的第1硫酸含有液供给装置9及装置主体2所得[0103]如图2所示，回收槽21将从对应的3个塔中包含的合计9个处理单元6回收的SPM作装有第1捕获过滤器27，该第1捕获过滤器27捕捉并去除沿回收导出配管26流通的SPM中的27的构成与下述第3捕获过滤器37同等。第1捕获过滤器27与下文叙述的第2捕获过滤器30[0105]如图2所示，在回收槽21连接着下游端连接于第1循环槽22的移送配管28的上游捕获过滤器30，所述第2捕获过滤器30用来捕捉并去除沿移送配管28流通的硫酸含有液中有第3捕获过滤器37及开闭阀38。第3捕获过滤器37是用来捕捉并去除沿第1导液配管31流37的厚度方向上贯通第3捕获过滤器37。第3捕获过滤器37的孔71从第3捕获过滤器37的厚[0108]如图3所示，第3捕获过滤器37是能够装卸地安装在将第3捕获过滤器37保持在内硫酸含有液中包含的异物通过被划分孔71的第3捕获过滤器37的壁面吸附而被捕捉到孔71至第1循环槽22的单元。硫酸补充单元25包含对第1循环槽22补充硫酸的硫酸补充配管44、硫酸浓度高于第1循环槽22内的硫酸含有液中的硫酸浓度。补充的硫[0113]在衬底处理装置1的运转中(包含使衬底W的处理停止的期间)，第2送液装置32及22汲取的硫酸含有液沿第1导液配管31流动到分支位置42，并从该分支位置42通过回流配上游侧。第1循环加热器24将沿第1循环槽22及第1循环配管23循环的硫酸含有液加热(第2℃~约130℃)。通过硫酸含有液沿第1循环槽22及第1循环配管23进行循环，贮存在第1循环槽22的硫酸含有液进一步使用于衬底W的处理的情况下，将排液阀47打开，硫酸含有液贮存在第1循环槽22。贮存在第1循环槽22的硫酸含有液沿第1循环配管23进行[0118]图4是从水平方向观察分别示于图1的第2硫酸含有液供给装置10及装置主体2所[0119]第2硫酸含有液供给装置10中包含的第2储液部12包含第2循环槽(第2槽)51、第2共通配管51A的下游端连接着用来对相对应的塔分别供给硫酸含有液的3个硫酸含有液流中途部介装有用来汲取共通配管51A内的硫酸含有液的泵等第4送液装置56。通过第4送液装置56汲取到第2循环配管53的硫酸含有液沿硫酸含有液流通配管51B从上游端流通到下[0125]第2循环加热器52将沿第2循环槽51及第2循环配管53(共通配管51A及硫酸含有液及第2循环配管53(共通配管51A及硫酸含有液流通配管51B)进行循环，而将硫酸含有液从[0126]第2储液部12包含数量与塔中包含的处理单元6的数量相同的硫酸含有液供给配硫酸含有液流量调整阀(混合比变更单元)59及硫酸含有液[0128]流量计58是检测在各硫酸含有液供给配管57内流动的硫酸含有液的流量的流量[0129]硫酸含有液流量调整阀59是用来调整硫酸含有液供给配管57的开度而调整供给给配管57中的分支位置63的上游侧部分的压力损失大于回流配管61中管61中的压力损失大于硫酸含有液供给配管57中的分支位置63的下游侧部分的压力损失。流配管61中的压力损失小于硫酸含有液供给配管57中的分支位置63的下游侧部分的压力回到硫酸含有液流通配管51B，并再次沿第2循环槽51及第2循环配管53(共通配管51A及硫管57流通，而目前为止温度调整为第2温度的硫酸含有液从目前为止的第2温度升温至第3[0135]在衬底处理装置1的运转中(包含使衬底W的处理停止的期间)，第4送液装置56及含有液沿第2循环槽51及第2循环配管53(共通配管51A及硫酸含有液流通配管51B)进行循[0138]通过参照液量计65的输出，积存在第2循环槽51的硫酸含有液的液量始终由控制第2循环槽51及第2循环配管53循环的硫酸含有液)的硫酸浓度。认为流经3个第2循环配管的硫酸含有液的硫酸浓度(积存在第2循环槽51的硫酸含有液的硫酸浓度)始终由控制装置腔室107内将1片衬底W以水平姿势保持，并使衬底W绕经过衬底W的中心的铅直旋转轴线A1[0145]作为旋转夹盘108，采用在水平方向上夹住衬底W并将衬底W保持为水平的夹持式[0147]SPM喷嘴13例如是以连续流的状态喷出SPM的直线型喷嘴。SPM喷嘴13安装在喷嘴[0148]喷嘴移动单元120通过使喷嘴臂119绕设定在处理承杯111周围的铅直摆动轴线水平移动而使SPM喷嘴13水平地移动。喷嘴移动单元120使SPM喷嘴13在从SPM喷嘴13喷出的SPM着液于衬底W的上表面的处理位置与SPM喷嘴13在俯视下位于旋转夹盘108周围的退避[0149]处理液供给装置包含对SPM喷嘴13供给过氧化氢水(H2O2)的过氧化氢水供给单元及使阀体在打开位置与关闭位置之间移动的致动器。对过氧化氢水配管135从过氧化氢水供给源(未图示)供给温度未调整的常温(20～40℃)左右的[0150]当将硫酸含有液阀60及过氧化氢水阀136打开时，来自硫酸含有液供给配管57的高温(165℃)的硫酸含有液及来自过氧化氢水配管135的过氧化氢水向SPM喷嘴13的外壳升温至比混合前的硫酸含有液(例如约165℃)及过氧化氢水的温度高的温度(例如约190℃~约220℃)。所生成的高温SPM从在SPM喷嘴13的外壳的前端(例如下端)开口的喷出口喷[0151]供给至SPM喷嘴13的硫酸含有液的流量通过硫酸含有液流量调整阀59而变更。供有液及过氧化氢水的混合比通过硫酸含有液流量调整阀59及过氧化氢水流量调整阀137而[0152]冲洗液供给单元110包含朝向衬底W的上表面喷出冲洗液的冲洗液喷嘴147。冲洗液喷嘴147例如是以连续流的状态喷出液体的直线型喷嘴。冲洗液喷嘴147是相对于腔室可以具备喷嘴移动单元，所述喷嘴移动单元通过使冲洗液喷嘴147移动而使冲洗液相对于衬底W的上表面的着液位置在衬底W的上表液配管148的中途部，介装有用来切换来自冲洗液喷嘴147的冲洗液的供给/供给停止的冲[0155]处理承杯111配置在旋转夹盘108保持的衬底W的外侧(远离旋转轴线A1的方向)。液部11的回收槽21或者经由冷却单元(未图[0157]处理承杯111还包含使各个护罩(第1护罩143、第2护罩144及第3护罩145)独立地衬底W的处理的处理液流入的环状的第1槽150。在第1槽150底部的最低部位开口有排液口[0160]第2承杯142在圆筒构件140的内侧包围第1承杯141。第2承杯142划分形成供用于将供从衬底W排出的液体流入的配管在回收配管156与第2排液配管157[0162]最内侧的第1护罩143在圆筒构件140的内侧包围旋转夹盘1上端部166的截面形状为直线状。上端部166的截面形状也可以是圆弧等直线状以外的形[0164]从内侧数起为第2个的第2护罩144在圆筒构件140的内侧包围第1护罩143。第2护罩144具有包围第1护罩143的圆筒部167及从圆筒部167的上端朝中心侧(向衬底W的旋转轴[0165]第2护罩144的上端部168的内周端在俯视下呈直径比旋转夹盘108保持的衬底W大罩143的上端部166保持微少间隙地接近的[0166]从内侧数起为第3个的第3护罩145在圆筒构件140的内侧包围第2护罩144。第3护罩145具有包围第2护罩144的圆筒部170及从圆筒部170的上端朝中心侧(向衬底W的旋转轴线A1靠近的方向)向斜上方延伸的圆环状的上端部171。上端部171的内周端在俯视下呈直[0167]第1承杯141的第1槽150、第1护罩143的内壁143a及旋转夹盘108的外壳的外周划的第2槽153、第1护罩143的外壁143b及第2护罩144的内壁144a划分形成引导用于衬底W的[0168]护罩升降单元146使各护罩(第1护罩143、第2护罩144及第3护罩145)在护罩的上[0169]在使最内侧的第1护罩143与衬底W的周端面对向的处理承杯111的第1对向状态数起为第2个的第2护罩144与衬底W的周端面对向的处理承杯111的第2对向状态下，第2及罩143及第2护罩144配置在下位置。在使所有护罩从衬底W的周端面退避的退避状态(参照衬底W的上表面(主面)去除抗蚀剂的抗蚀剂去除处理。抗蚀剂例如是由含碳的化合物形成[0176]当通过衬底处理装置1对衬底W进行处理时，控制装置4是在所有喷嘴从旋转夹盘108的上方退避且所有护罩143～145位于下位置的状态下，使保持衬底W的正面(器件形成始旋转(图7的S2)。衬底W的旋转速度上升到预先规定的液体处理速度(在300～1500rpm的水供给至SPM喷嘴13。在SPM喷嘴13的内部硫酸含有液与过氧化氢水混合，生成高温(例如衬底W的上表面的周缘部对向的周缘位置和与衬底W的上表面的中央部对向的中央位置之的冲洗液接受通过衬底W的旋转产生的离心力而在衬底W的上表面上朝向衬底W的周缘部流转马达M，而使衬底W加速到比直到SPM步骤S3及冲洗步骤S4为止的旋转速度大的干燥旋转[0186]图8是表示SPM步骤(图7的S3)中的硫酸含有液及过氧化氢水的混合比的推移与第SPM经由第2护罩144流入到回收配管156，回收的OFF(中止)表示SPM向回收配管156的流入停止。在图8中，排液的进行表示从衬底W排出的SPM经由第1护罩143流入到第1排液配管以第1硫酸含有液流量供给至SPM喷嘴13，过氧化氢水以第1H2O2流量供给至SPM喷嘴13。因此，硫酸含有液及过氧化氢水在SPM喷嘴13内以第1混合比(第1硫酸含有液流量/第1H2O2流量)混合。由此，第1SPM在SPM喷嘴13内制成，并从SPM喷嘴13朝向衬底W的上表面喷出(第刻T2变更硫酸含有液流量调整阀59及过氧化氢水流量调整阀137的至少一个的开度，将硫酸含有液及过氧化氢水以大于第1混合比的第2混合比(第2硫酸含有液流量/第2H2O2流量)在SPM喷嘴13内混合。图8表示变更硫酸含有液流量调整阀59及过氧化氢水流量调整阀137[0189]在图8所示的例子中，硫酸含有液以大于第1硫酸含有液流量的第2硫酸含有液流量供给至SPM喷嘴13，过氧化氢水以小于第1H硫酸含有液流量及第2H2O2流量可以即使变更混合比(硫酸含有液相对于过氧化氢水的比)但从SPM喷嘴13喷出的SPM的流量也能够保持固定的方式设定，也可以从SPM喷嘴13喷出的给至衬底W的上表面的SPM从过氧化氢浓度较高的状态连续地变化为硫酸含有液的浓度较[0190]当SPM的混合比变更为第2混合比之后经过指定时间时，在图8所示的时刻T5将硫[0191]如图8所示，处理承杯111是在SPM喷嘴13开始喷出第1SPM之前(在图8所示的时刻143的内壁143a的位置相对于第1护罩143[0194]当在图8所示的时刻T5停止从SPM喷嘴13喷出SPM时，护罩升降单元146在图8所示使衬底W干燥的干燥步骤(图7的S5)在处理承杯111设定为第3护罩145与衬底W的周端面对[0195]图9是表示为了制成SPM而将硫酸含有液及过氧化氢水混合并将从衬底W回收的第1混合比混合，制成第1SPM(图9的S11)。第1SPM从SPM喷嘴13喷出并供给至衬底W(图9的S12)。然后，从衬底W排出的第1SPM经由第1护罩143及第1承杯141被引导至第1排液配管[0197]当开始喷出第1SPM之后经过指定时间时，硫酸含有液及过氧化氢水的混合比(混合前的硫酸含有液的流量相对于混合前的过氧化氢水的流量的比)从第1混合比增加到第2第2承杯142、共用配管155及回收配管156而作为硫酸含有液回收到第1储液部11的回收槽[0198]回收到回收槽21的硫酸含有液经过第1储液部11的第1循环槽22被输送到第2储液回收槽21的第2SPM(硫酸含有液)与第1循环槽22内的硫酸含有液及第2循环槽51内的硫酸装置4基于硫酸浓度计64的测量值，监视沿第2循环槽51及第2循环配管53循环的硫酸含有[0199]如果通过硫酸浓度计64测量的硫酸含有液的硫酸浓度在下限值以上(图9的S17中第2循环配管53(共通配管51A及硫酸含有液流通配管51B)循环的硫酸含有液的硫酸浓度上含有液及过氧化氢水以第2混合比混合。第1混合比及第2混合比均表示混合前的硫酸含有中包含的过氧化氢浓度高于第2SPM中包含的过氧度调整为非常高的温度(约190℃~约220℃)，所以，具有虽然比第1SPM差但[0204]从衬底W排出的第1SPM流入到第1排液配管152而并非回收配管156。从衬底W排出浓度相对较高且污染物质的含量较少的第2SPM被引导至回收配管156，与过氧化氢水再次过使与第1护罩143不同的第2护罩144承接第2SPM，可以减少所回收的SPM中包含的污染物[0209]在该衬底处理例中，第1SPM的供给停止时从衬底W排出的第1SPM由第1护罩143承第1护罩143从与衬底W直接对向的状态切换成第2护罩144与衬底W直接对向的状态。由此，可以防止第2护罩144被污染物质的含量较多的第1液的硫酸浓度都随着衬底W的处理片数增加而减少。硫酸浓度的降低率是硫酸含有液的比可以减少将第1循环槽22及第2循环槽51内的硫酸含有液更换为新的硫酸的频度、或向第1[0214]在本实施方式中，在第1储液部11及第2储液部12分别通过第2及第1循环加热器[0219]图11是从水平方向观察本发明的第2实施方式的第1硫酸含有液供给装置209所得[0220]第2实施方式的第1硫酸含有液供给装置209与第1实施方式的第1硫酸含有液供给[0221]另外，第1储液部211与第1实施方式的第1储液部11的不同点在于废除了第1循环沿第1循环槽22及第1循环配管23循环的硫酸含[0222]回收到回收槽21的SPM作为硫酸含有液贮存在回收槽21。从衬底W排出的SPM在沿处理承杯111、回收配管156及回收导出配管26流动的过程中一边冷却一边回收到回收槽[0223]贮存在回收槽21的硫酸含有液通过第1送液装置29的驱动而经由移送配管28输送液通过与第1循环配管23的管壁的热平衡，可以保持为高于室温(约23℃~约25℃)但低于贮存在回收槽21的硫酸含有液的第4温度(约40℃~约60℃)。[0224]第1硫酸含有液供给装置209中包含的第3储液部213包含第3循环槽(第3槽)222、[0225]在第3循环槽222连接着第1导液配管31的下游端。第1储液部211中第4温度(例如[0226]在第3循环槽222连接着朝向第2硫酸含有液供给装置10(第2储液部12)延伸的第2238。第4捕获过滤器237是用来捕捉并去除沿第2导液配管231流通的硫酸含有液中包含的相对较小的异物的过滤器。第4捕获过滤器237将未由第3捕获过滤器37完全去除的异物去[0228]在第2导液配管231，在开闭阀238与第4捕获过滤器237之间分支连接着回流配管240。回流配管240的下游端向第3循环槽222延伸。在回流配管240的中途部介装有回流阀环槽222汲取的硫酸含有液沿第2导液配管231流动到分支位置242，并从该分支位置242通的硫酸含有液通过第2导液配管231供给至第2储液[0230]第3循环加热器224在第2导液配管231的中途部介装在第5送液装置232的上游第3循环加热器224将沿第3循环槽222及第3循环配管223循环的硫酸含有液加热(第3加热以将调整为第1温度的硫酸含有液输送到第2储循环槽22及第1循环配管23循环的硫酸含有液具有相对较低的温度(约40℃至约60℃)。因[0234]像第1实施方式这样，高1循环配管23流通时，担心随着高温(约120℃~约130℃)的硫酸含有液继37的过滤性能降低而无法在第1储液部良好地捕获硫酸含有液[0235]在第2实施方式中，通过第3捕获过滤器37的硫酸含有液的温度相对较低(约40~循环槽222及第3循环配管223循环。沿第3循环槽222及第3循环配管223循环的硫酸含有液通过第3循环加热器224加热。在第3储液部213及第2储液部12分别通过第3循环加热器224[0237]另外，由于使用第3循环加热器224及第2循环加热器52两者加热硫酸含有液，所[0238]图12是从水平方向观察本发明的第3实施方式的第1硫酸含有液供给装置309所得[0239]第3实施方式的第1硫酸含有液供给装置309的第1储液部311与第1实施方式的第1硫酸含有液供给装置9的第1储液部11的不同点在于，废除了第1循环加热器24。在其它部[0240]如上所述，回收到回收槽21的SPM远低于供给至衬底W的SPM的温度(约190℃~约循环配管23循环的硫酸含有液通过与第1循环配管23的管壁的热平衡而可以保持为高于室温(约23℃~约25℃)但低于贮存在回收槽21的硫酸含有液的温度(约40℃~约60℃)。而[0242]在第3实施方式中，由于通过第3捕获过滤器37的硫酸含有液的温度相对较低(约[0243]以上，对本发明的3个实施方式进行了说明，但本发明也可以进而其它的方式实也可以还具备将沿第1循环槽22及第1循环配管23循环的硫酸含有液冷却的冷却器401。冷器401的冷却温度的设定，也可以使沿第1循环槽22及第1循环配管23循环的硫酸含有液降低到室温(约23℃~约25℃)或小于室温的低温。[0245]图13是用来说明捕获过滤器(第3捕获过滤器37)的过滤性能的由热影响所引起的(微小颗粒))。如果将通过捕获过滤器的硫酸含有液的温度设为低于贮存在回收槽的硫酸