CN112947061B 控制系统、控制方法、计算机程序产品和处理系统 （东京毅力科创株式会社）

US2003003607A1,2003.0第二调整部利用包含调整后的模型参数的值的2决定部，其基于记载有对基板进行处理时的条件的方案，决定第一控制信号生成部，其利用由所述决定部决定的特征量生成部，其在比第一周期长的每个第二周期内，生成第二控制信号生成部，其利用由所述决定部决定的所述控第一调整部，其调整所述模型所含的模型参数的值，使得对第二调整部，其调整所述第二控制信号生成部所使用的所述第一控制信号生成部利用被所述第二调整部调整后的所述控制参数的值生成所所述第一调整部对于由所述决定部决定的多个所述模型，分别调整所述所述第二调整部调整所述第二控制信号生成部所使用的所述控制参数的使用了包含由所述第一调整部决定的所述模型参数的值的所述模型的所述模拟部的输出所述决定部基于所述方案对多个所述控制算法所述第二调整部对于由所述决定部决定的多个所述控制算法，分别调整所调整部决定的所述模型参数的值的所述模型的所述模拟部的输出值算出的评价值接近目值算出的评价值最接近目标值的组合决定为调整后的控制算法和控制所述第一控制信号生成部利用由所述第二调整部决定的所述控制算法和所述控制参3所述决定部基于所述方案对所述控制参数的初始值所述第一控制信号生成部利用由所述决定部决定的所述控制算法和所述控制参数的所述决定部将由所述第二调整部调整后的所述控制参数的值决定为所述控制参数的所述决定部基于被所述第二调整部调整后的所述控制参数的值的历史述历史记录的倾向的值推定为所述控制参数所述第一控制信号生成部利用由所述决定部决定的所述控制算法和由所述决定部推所述方案中记载有使用等离子体对所述基板进行处理时所述处理装置为使用等离子体对所述基板进行所述模拟部利用所述模型模拟所述处理装置内的等离通过决定部，基于记载有对基板进行处理时的条件的方案，决定与通过第一控制信号生成部，利用所决定的所述控制算法，基于所述测通过特征量生成部，在比第一周期长的每个第二周期内，生成表征在每个通过第二控制信号生成部，利用所决定的所述控制算法，基于利通过第一调整部，调整所述模型所含的模型参数的值，使得对应通过第二调整部，调整所述控制算法所含的控制参数的值，使得对于后的所述模型参数的值的所述模型的所述模拟部的输出值算出的评价值接近目标值的工在将所生成的所述控制信号输入给所述处理装置的工序中4通过决定部，基于记载有对基板进行处理时的条件的方案，决定与通过第一控制信号生成部，利用所决定的所述控制算法，基于所述测通过特征量生成部，在比第一周期长的每个第二周期内，生成表征在每个通过第二控制信号生成部，利用所决定的所述控制算法，基于模拟通过第一调整部，调整所述模型所含的模型参数的值，使得对应通过第二调整部，调整所述控制算法所含的控制参数的值的处理含调整后的所述模型参数的值的所述模型的所述模拟部的输出值算出的评价值接近目标在将所生成的所述控制信号输入给所述处理装置的处理中决定部，其基于记载有对所述基板进行处理时的条件的方案，第一控制信号生成部，其利用由所述决定部决定的特征量生成部，其在比第一周期长的每个第二周期内，生成第二控制信号生成部，其利用由所述决定部决定的所述控5第一调整部，其调整所述模型所含的模型参数的值，使得对第二调整部，其调整所述第二控制信号生成部所使用的所述第一控制信号生成部利用被所述第二调整部调整后的所述控制参数的值生成所67离子体稳定点火的匹配电路的常数发生最适变化的方法对于每个处理装置都不同。另外，处理装置内的消耗部件的尺寸误差或组装误差，变更使匹配电路的常数发生变化的方法8[0035]上部电极喷头部件12构成为将来自气体供给部20的1种以上的气体供给至处理空气体出口12c。气体供给部20和气体扩散室12b经由气体入口12a而流体连通。气体扩散室12构成为经由气体扩散室12b和多个气体出口12c将1种以上的气体从气体入口12a供给到部20也可以包含对1种以上的处理气体的流量进行调制或脉冲化的1个以上的流量调制设部30构成为经由匹配电路32将第一RF信号从RF生成部31供给到上部电极喷头部件9子材料工艺，用于生成等离子体的RF谱的频率优选为100[kHz]～3[GHz]、更优选为200二RF信号等)的振幅进行脉冲化或者调制。振幅调制可以包括在打开状态与关闭状态之间[0042]排气系统40例如可以与设置于腔室10的底部的排气口10e连接。排气系统可以包[0044]图2是表示第一实施方式的控制系统200的一个例子的图。控制系统200具有决定二调整部206。向处理装置100供给由第一控制信号生成部202生成的用于对控制对象进行所含的可变更的电路常数(例如可变容量等)的控[0045]决定部201保持有例如图3所示那样的控制表2010。图3是表示第一实施方式的控[0046]控制算法是用于基于由设置于处理装置100的各种传感器测得的测定值生成控制[0047]模型用于模拟处理装置100的状态。在本实施方式中，模型是用于模拟处理装置[0048]从对方案的选择和施行等进行控制的上一级装置输入方案ID时，决定部201从控[0049]第一控制信号生成部202利用从决定部201输出的控制算202例如利用下述的式(1)所示的任意数学式生成[0052]模拟部204利用从决定部201输出的模型和模型参数的初始值，模拟处理装置100[0055]第二控制信号生成部203利用从决定部201输出的控制算[0058]第一调整部205调整模拟部204所使用的模型的模型参数的值，使得从处理装置[0060]在上述式(4)中，e1为评价函数，Δym为第m种测定值和与该测定值对应的模拟部定值对应的来自模拟部204的输出值的差变小，包含调整后的模型参数的值的模型的状态[0064]第二调整部206对于使用了包含调整后的模型参数的值的模型的模拟部204的输部205调整模型参数的值结束后，对于使用了包含调整后的模型参数的值的模型的模拟部[0067]第二调整部206调整第二控制信号生成部203所使用的控制算法所含的控制参数所生成的控制信号的模拟部204的输出值的生成、评价值E2的计算以及控制参数的值的变数的模型的状态接近目标状态。包含调整后的模型参数的值的模型为与处理装置100的状[0069]第二调整部206将调整后的控制参数向第一控制信号生成部202和第二控制信号生成部203输出。第一控制信号生成部202利用包含从第二调整部206输出的调整后的控制[0070]第二控制信号生成部203利用包含从第二调整部206输出的调整后的控制参数的[0071]另外，第二调整部206利用调整后的控制参数的值更新控制表2010内的控制参数[0074]首先，决定部201从控制表2010中提取与从上一级装置输入的方案ID相对应的控控制算法和控制参数的初始值向第一控制信号生成部202和第二控制信号生成部203输出。[0075]第一控制信号生成部202利用从决定部201输出的控制算法和控制参数的初始值制信号生成部203将所生成的控制信号输入给模拟部204(S102)。处理装置100根据所输入置100输出的测定值和与该测定值对应的来自模拟控制信号生成部203输出。第一控制信号生成部202利用包含从第二调整部206输出的调整[0083]控制系统200利用例如图6所示那样的构成的计算机90实现。图6是表示实现控制系统200的功能的计算机90的一个例子的图。计算机90具有CPU(中央处理器，Central[0085]辅助存储装置94例如为HDD(硬盘驱动器，HardDiskDrive)或者SSD(固态驱动[0086]通信I/F95经由LAN(局域线路将CPU91所生成的数据向处理装置[0087]CPU91经由输入输出I/F96控制键盘等输入装置和显示器等输出装置。CPU91经由输入输出I/F96获取从输入装置输入的信号并向CPU91发送。另外，CPU91经由输入输出I/盘，PhasechangerewritableDisk)等光学记录介质、MO(磁光盘，Magneto_Optical于与测定值对应的模拟器204的输出值生成控制信号，将所生成的控制信号输入给模拟部变小。第二调整部206调整第二控制信号生成部203所使用的控制算法所含的控制参数的值，使得对于使用了包含调整后的模型参数的值的模型的模拟部204的输出值算出的评价法基于由设置于处理装置100的测定器测得的测定值生成控制信号，上述控制信号用于控法，基于利用模型模拟处理装置100的状态的模拟部204的输出值即与测定值对应的输出数的值，使得对于使用了包含调整后的模型参数的值的模型的模拟部204的输出值算出的板W进行处理时的条件的方案，决定与对基板W进行处理的处理装置100对应的模型和控制得对于使用了包含调整后的模型参数的值的模型的模拟部204的输出值算出的评价值接近[0096]另外，上述的实施方式的处理系统1具有对基板W进行处理的处理装置100和控制对基板W进行处理时的条件的方案，决定与对基板W进行处理的处理装置100对应的模型和控制算法。控制算法是基于由设置于处理装置100的测定器测得的测定值生成控制信号的信号生成部203利用由决定部201决定的控制算法，基于与测定值对应的模拟部204的输出信号生成部203所使用的控制算法所含的控制参数的值，使得对于使用了包含调整后的模于生成向处理装置100供给的控制信号的控制算法和控制参数的初始值的标记。在本实施[0102]第二控制信号生成部203利用从决定部201输出的控制算法和控制参数的初始值[0103]模拟部204对于从决定部201输出的每个模型，将基于从第二控制信号生成部203输出的控制信号的输出值向第一调整部205和第二调整部整部205将评价值E1最小的组合决定为调整后的模型存储于控制表2010的单个表2013中的模型最小的组合决定为调整后的控制算法和控制参[0107]并且，第二调整部206将所决定的控制算法和控制参数的值向第一控制信号生成更新与所决定的控制算法相对应而存储于控制表2010的单个表2013中的控制参数的初始的模型和模型参数的值的组合中，将测定值和与测定值对应的模拟部204的输出值的差最调整部206对于由决定部201决定的多个控制算法，分别调整第二控制信号生成部203所使用的控制算法所含的控制参数的值，使得对于使用了包含由第一调整部205决定的模型参合决定为调整后的控制算法和控制参数的值。第一控制信号生成部202利用由第二调整部入的方案ID相对应的单个表2022内存储2个以上的调整后的控制参数的值。与方案ID相对应，存储于单个表2022中的调整后的控制参数的值的数为1以下时，决定部201从控制表2010(参照图3)提取与方案ID相对应的控制参数且，决定部201将符合所提取的多个控制参数的值的变化倾向的值推定为控制参数的初始[0116]例如图10所示，决定部201决定对按照时间序列排列的调整后的控制参数的值50[0120]图11是表示第四实施方式的控制系统200的一个例子的图。本实施方式的控制系[0121]保持部207保持由设置于处理装置100的各种传感器在每个第一周期(例如数微少在第一装置2000与第二装置2001之间调整部205也可以基于模拟部204的输出值算出特征量，并调整模型所含的模型参数的值，使得所算出的特征量与由特征量生成部208生成的特征装置2001和处理装置100通过总线连接，从而确保第二装置2001与处理装置100之间的带