CN113221489B 用于提取集成电路器件的器件模型参数的方法和装置 （上海概伦电子股份有限公司）

用于提取集成电路器件的器件模型参数的本申请涉及一种用于提取集成电路器件的电路器件的测试数据集；提供提取条件设置界面，所述提取条件设置界面包括多个提取条件件设置界面的多个提取条件域中的至少一个提于所述用户输入设置或选择的提取条件变量生板从所述测试数据集中筛选对应的测试数据以数据集对所述集成电路器件的器件模型进行拟2提供针对所述集成电路器件的测试数据集，所述测试数据集包括在多组提供提取条件设置界面，所述提取条件设置界面包括多个提取条件域，接收用户输入，所述用户输入用于对所述提取条件设置界面的多至少基于所述用户输入设置或选择的提取条件变量生成一个提取条及对于所述多个提取条件域中未被用户输入所设置或选择的提取条件域将所述预设提取条件变量与所述用户设置或选择的提取条件变量定义测试数据集包括所述测试数据集的多个电流-电压曲线中的一部分电流-电压曲线和/提供针对所述集成电路器件的测试数据集，所述测试数据集包括在多组3接收用户输入，所述用户输入用于选择提取条件模板，所述提利用所述提取条件模板从所述测试数据集中筛选符合所述一组提取条件变量的一组自定义测试数据集包括所述测试数据集的多个电流-电压曲线中的一部分电流-电压曲线提供针对所述集成电路器件的测试数据集，所述测试数据集包括在多组提供提取条件设置界面，所述提取条件设置界面包括多个提取条件域，接收用户输入，所述用户输入用于对所述提取条件设置界面的多至少基于所述用户输入设置或选择的提取条件变量生成一个提取条及4提供针对所述集成电路器件的测试数据集，所述测试数据集包括在多组接收用户输入，所述用户输入用于选择提取条件模板，所述提利用所述提取条件模板从所述测试数据集中筛选符合所述一组提取条件变量的一组5[0002]半导体和集成电路技术的持续发展使得集成电路计算机辅助设计(CAD)或电子设计自动化(EDA)平台的重要性愈发突出。EDA平台的一个基础性功能是器件模型的参数提取，也即基于一些标准器件模型来提取以特定集成电路制程制造的半导体器件的模型参[0003]BSIM模型是由美国加州大学伯克利分校开发的金属氧化物场效应晶体管[0006]本申请的一个目的在于提供一种用于集成电路器件的器件模型参数提取方法和6[0011]图1示出了根据本申请一个实施例的4个电流-电压曲线(具体为输出特性曲线)的[0013]图3示出了根据本申请一个实施例的用于提取集成电路器件的器件模型参数的方[0014]图4示出了根据本申请一个实施例的用于提取集成电路器件的器件模型参数的方的工作经验和软件使用习惯、公司的参数提取要求等因素而进行差异化的参数提取操作。7预先保存的一组参数提取条件即可。这使得参数提取处理的标准化和可复用性成为可能，[0019]MOSFET晶体管是集成电路中最常用的器件之一，因此在本[0020]表1示出了一种用于描述MOSFET晶体管特性的BSIM模型BSIM4.6.4标准的一些主8获得的。在一些实施例中，测试条件可以是集成电路器件的不同尺寸(例如不同的沟道长而差别仅在于沟道宽度的两个集成电路器件可以认为是同一集成[0027]1)当Vds＝-0.05V时，在不同的体偏电压Vb于线性区是因为Vds(即漏源电压)＝-0.[0028]2)当Vds＝-Vdd(Vdd是某个具体的电源电压值)时，在不同的体偏电压Vbs下漏源[0029]3)当体偏电压Vbs＝0时，在不同的栅极电压Vgs下漏源电流Ids随漏源电压Vds变9[0031]图1示出了根据本申请一个实施例的4个电流-电压曲线(具体为输出特性曲线)的示意图，其中这4个电流-电压曲线测试时对被测器件施加的体偏电压不同，分别为-众多的多组测试条件下测试得到的电流-电压曲线数量相当多，由此形成的测试数据集的设置界面，并且将操作人员通过该提取条件设置界面输入条件变量组合成提取条件模板，如模板名称，该自定义模板标识可以与提取条件模板相互关联并且存储。自定义模板标识可以使得与其关联的提取条件模板更容易识别。例如，图2所示的提取条件设置界面中的[0044]图3示出了根据本申请一个实施例的用于提取集成电路器件的器件模型参数的方组测试条件下对所述集成电路器件进行测试得到的多个电流-电压曲线，其中每组测试条[0046]在步骤304，提供提取条件设置界面，所述提取条件设置界面包括多个提取条件取条件域中的至少一个提取条件域进行设置或选[0048]在步骤308，至少基于所述用户输入设置或选择的提取条件变量生成一个提取条件模板，并且利用所述提取条件模板从所述测试数据集中筛选对应的电流-电压曲线以生[0052]在一些实施例中，所述集成电路器件的器件模型是选自下述组中的一种器件模[0055]在一些实施例中，所述自定义测试数据集包括所述测试数据集的多个电流-电压[0056]图4示出了根据本申请一个实施例的用于提取集成电路器件的器件模型参数的方组测试条件下对所述集成电路器件进行测试得到的多个电流-电压曲线，其中每组测试条[0059]在步骤406，利用所述提取条件模板从所述测试数据集中筛选符合所述一组提取用计算机可执行指令和/或包含在处理器控制代码中来实现，例如在诸如磁盘、CD或DVD-ROM的载体介质、诸如只读存储器(固件)的可编程的存储器或者诸如光学或电子信号载体可以由上述硬件电