CN113614518B 产品检查方法及产品检查装置 （优志旺电机株式会社）

2021.09.07PCT/JP2020/0134992020.03.25WO2020/196690JA2020.10.01本发明提供一种通过光测定来进行高速且~1300nm具有连续的光谱的超晶格光从脉冲光源(1)出射，并以一脉冲中的波长与经过时间的关系成为1对1的方式被伸长元件(2)脉冲拉伸而(7)的良好与否判断程序(43)根据输出数据计算2伸长工序，通过伸长元件使出射的脉冲光的脉冲所述伸长工序利用阵列波导衍射光栅将脉冲光分割成各波长的光，所述判断工序为如下工序，根据所述输出数据计算出所述产品的特所述判断工序为如下工序，根据来自所述受光器的输出数据中的一脉冲内的所述判断工序为如下工序，通过将基于来自所述受光器的输出在所述出射工序中出射的宽频带的脉冲光是至少在1100nm以上且1200nm以下的波长在所述出射工序中出射的宽频带的脉冲光是至少在1000nm以上且1300nm以下的波长在所述伸长工序中进行了脉冲伸长的脉冲光的时间相对于波长的变化的斜率为每所述照射工序是从一侧以与所述产品同等以上的大小的图案照射所述脉冲光伸长元件，使从脉冲光源出射的脉冲光的脉冲宽度以3所述伸长元件，利用各个光纤对利用阵列波导衍射光栅将脉冲光分所述判断单元是如下单元，根据来自所述受光器的输出数据计算出所述所述判断单元是如下单元，基于来自所述受光器的输出数据中的一脉冲内的所述判断单元是如下单元，基于来自所述受光器的输出数据中的一脉冲内的所述脉冲光源是出射脉冲光的光源，所述脉冲光是至少在1100nm以上且1所述脉冲光源是出射脉冲光的光源，所述脉冲光是至少在1000nm以上且1所述伸长元件是在时间相对于波长的变化的斜率为每1nm10皮秒以上的状态下进行脉所述产品是片剂，所述照射光学系统从一侧以与片剂同等以上的4衍射光栅的以往的分光测定中，需要与进行测定的波段一致地使衍射光栅的姿势变化(波高灵敏度的测定，需要使扫描变慢或多次进行扫描而增多入射到受光器的光的总量(光5将基于来自所述受光器的输出数据中的一脉冲内的规定时刻的值而计算出的规定的波长的脉冲光是至少在1100nm以上且1200[0028]另外，为了解决上述课题，在所述出射工序中出射的宽频带的脉冲光是至少在长的脉冲光的时间相对于波长的变化的斜率为每1nm16来自所述受光器的输出数据中的一脉冲内的规定时刻的值而计算出的规定的波长的光特长的变化的斜率为每1nm10皮秒以上的状态下进行脉冲时间波长唯一性的时间性分光，因此即使在短时间内也能够使足够量的光入射到受光器。[0053]另外，若伸长元件是以相对于波长的时间的变化的斜率为每1nm成为10皮秒以上7[0058]图2是表示基于伸长元件的脉冲伸长的概略图，是示意性地表示脉冲伸长后的一[0068]图1是实施方式的产品检查装置的概略图。实施方式的产品检查装置是在各种产自相位调制等非线性效应而宽频带化的现象作为超连续光(以下，简称为SC光)而被公知。8至少在1000～1300nm左右的波长频带内连续的光[0073]伸长元件2是使从脉冲光源1出射的SC光的脉冲宽度伸长的元件。从脉冲光源1出若确定从脉冲的初期t1起的经过时间而取得光的强度，则其强度成为特定的波长的强度。[0077]这样的经过时间和波长的唯一性在根据来自受光器3的输出随时间变化由分光光9[0083]照射光学系统5成为从上方照射伸长SC光的结构，作为配置工具6使用接受板6[0085]受光器3被设置在接收来自被伸长SC光照射的产品P的透射光的位置。受光器3使[0086]判断单元4是对来自受光器3的输出数据进行处理来进行产品良好与否的判断的v161上什么都不配置的状态下照射伸长脉冲光而使其入射到受光器3而预先取得的，作为常v1/V1S1。[0097]在进行PLSR的情况下，对目标成分的量已知的多个样品(判断模块433是将由光谱量化模块432求出的量化值Q与基准值进行比较来判断良好与否的[0109]来自受光器3的输出通过AD转换器7成为数字信号，作为输出数据D被输入到判断[0114]在上述实施方式中，脉冲光源1出射在1100nm以上且1200nm以下的波长频带内连能够容易地对具有近红外区域的吸收光谱的多种产品[0116]另外，在伸长元件2以时间相对于波长的变化的斜率成为每1nm10皮式进行脉冲伸长的方面，从波长分辨率的观点出发具有提高良好与否判断的质量的意义。[0117]另外，受光器3设置于接收透过产品的光的位置这一点在通过吸收光谱来判断产从受光器3预估产品的区域中的一部分发出的光进行光电转换而得到的数据，也反映了产断单元4具备的良好与否判断程序43与第一实施方式不同。第二实施方式是基于来自受光器3的输出数据进行良好与否判断，但是不进行第一实施方式那样的光特性的计算而进行光器3的输出数据不进行光特性的计算而通过化学计量法进行评价而取得值的直接评价模v123定为合格品的情况下的吸收光谱(基准吸收光谱)，光谱计算模块431计算出吸收光谱S2之后，判断模块433也可能存在通过将该吸收光谱S2与基准吸收光谱进行比较来进行良好与[0129]第三产品检查装置具备将判断单元4判断为不良品的产品从生产线排除的排除机[0131]旋转滚筒62是与旋转滚筒62同心且绕水平的旋转轴621旋转的机构。虽然省略了[0136]控制部在从判断单元4输出为不良品的主旨的输出时，在释放不良品的位置将吸器3的输出数据的处理中取平均来进行良好与否的判断。能够在不停止移动的情况下进行[0143]分支元件52将来自脉冲光源1的光路分割为测定用光路和参照用光路。在测定用支而在参照用光路前进的光直接入射。该光(参照光)是用于不经过对象物P而入射到参照31输入作为相同时刻的V1v1/V1长元件2的特性不变化，在测定环境不同的情况(例如温度条件、背光条件等不同的情况)阵列波导衍射光栅(AWG)24将脉冲光分割成各波长的光，利用各个光纤25对各波长的光进[0153]阵列波导衍射光栅24通过在基板241上形成各功能波导242～246而构成。各功能[0154]平板波导243、244是自由空间，通过入射侧波导245入射的光在入射侧平板波导考虑在制造中或完成后根据本申请发明进行良好与否[0159]另外，作为脉冲光源1，除了出射SC光的光源以外，还可以采用ASE(Amplified