蚀刻速率的影响因素及操作

蚀刻速率的影响因素及操作优选蚀刻速率的影响因素及操作影响蚀刻速率的因素比重蚀刻温度ORP数值游离盐酸的量速度（影响蚀刻时间，与速率无关。）药水喷压蚀刻原理蚀刻反应原理：Cu2++Cu=2Cu+蚀刻药水还原：H2O2+Cu++2HCl=H2O+Cu2++2Cl-蚀刻槽内的反应方程式：H2O2+Cu+HCl=CuCl2+H2O速度（影响蚀刻时间，与速率无关。28)to34˚Be(1.增大游离算的浓度可以增大蚀刻值，但也会增大侧蚀值；产品生产过程中，保持产线的ORP大于580mv，可以保持蚀刻的最大蚀刻速率。不同浓度的游离酸的影响ORP数值可提升，使药水的ORP数值一直保持在570mv以上，保持较高的蚀刻速率。（b)式用来计算比水轻的液体。温度40˚Cto55˚C0-3N的游离酸量时，蚀刻速率的增长和游离酸的量成正比；ORP540mvto560mvORP550±20mv28)to34˚Be(1.H2O2+Cu+HCl=CuCl2+H2OORP数值可提升，使药水的ORP数值一直保持在570mv以上，保持较高的蚀刻速率。ORP550±20mv比重对蚀刻速率的影响当比重小于34°Be（1.308）时，蚀刻速率随着比重的增大而变大。当比重大于34°Be时，蚀刻速率随着比重的增大而减小。比重为34°Be时，蚀刻的速率最快为1.02mils/min。{ρ=144.3÷(144.3-ºBe)...(a)或ρ=144.3÷(144.3+ºBe)...(b)式中:ρ——表示溶液的密度（g/ml）；ºBe——溶液的波美浓度；(a)式用来计算比水重的液体；（b)式用来计算比水轻的液体。}现蚀刻工艺的比重设定值为1.30。在现有的条件基础上，提高比重到1.305-1.31之间，可提高单位时间的蚀刻速率。ORP值对蚀刻速率的影响ORP为570mv时，蚀刻速率最大。当ORP大于580mv时，蚀刻速率不在随ORP的改变而改变。产品生产过程中，保持产线的ORP大于580mv，可以保持蚀刻的最大蚀刻速率。蚀刻温度对蚀刻速率的影响蚀刻速率随着温度的升高而变大。蚀刻温度改变的其他影响ORP的数值会随着温度的增加而发生改变。（°C=（°F-32）*5/9）增大蚀刻温度也会增大蚀刻的侧蚀量。温度提高，双氧水、盐酸挥发量大，增加药水的损耗。现蚀刻线的蚀刻槽采用PVC，最高蚀刻温度不宜超过55℃。现工艺温度为54℃。提高温度来提高蚀刻速率的可操作范围很小，只有1℃的操作值。游离盐酸量对蚀刻速率的影响游离酸是指槽内以HCL形式存在的盐酸。增加游离酸的量可以促进蚀刻速率。蚀刻液中必须存在一定的游离酸才能够进行蚀刻液的再生。0-3N的游离酸量时，蚀刻速率的增长和游离酸的量成正比；3-5N的游离酸量时，增长速率变缓。游离盐酸量对蚀刻速率的影响（°C=（°F-32）*5/9）速度（影响蚀刻时间，与速率无关。温度提高，双氧水、盐酸挥发量大，增加药水的损耗。蚀刻液中必须存在一定的游离酸才能够进行蚀刻液的再生。盐酸溶度升高时，蚀刻时间减少，但药水中游离酸的浓度增大，会增大盐酸的挥发量，会腐蚀蚀刻的设备；Cu2++Cu=2Cu+ORP数值可提升，使药水的ORP数值一直保持在570mv以上，保持较高的蚀刻速率。蚀刻温度对蚀刻速率的影响现蚀刻工艺的比重设定值为1.当比重小于34°Be（1.当ORP大于580mv时，蚀刻速率不在随ORP的改变而改变。游离的盐酸还会导致侧蚀值的变化chemcut给的蚀刻参数02mils/min。Cl-提高蚀刻速率的原因CuCl+2Cl-=(CuCl3）2-提高Cl-浓度可显著提高蚀刻速率。氯化铜中发生铜的蚀刻生成的氯化亚铜不溶于水，在铜表面形成膜阻止反应进一步进行过量的Cl-与氯化亚铜络合形成可溶性的络离子（CuCl3）2-从铜表面溶解下来提高蚀刻速率游离的盐酸还会导致侧蚀值的变化增大游离算的浓度可以增大蚀刻值，但也会增大侧蚀值；如果想控制侧蚀值，游离酸的浓度不易过高。不同浓度的游离酸的影响盐酸溶度升高时，蚀刻时间减少，但药水中游离酸的浓度增大，会增大盐酸的挥发量，会腐蚀蚀刻的设备；且随着游离酸浓度增加，氯化铜的溶解度会降低。现蚀刻工艺的游离酸为1.45N。chemcut推荐值为1-2N，其他资料里面游离酸浓度基本为2-3N。槽内的铜离子为180g/L,换算为物质量为3N左右，此时6N的盐酸和4N的盐酸溶液的蚀刻速率基本相同，如果想提升盐酸的量，4N的游离酸为最大值。氯化铜mol浓度6NHCl溶液4NHCl溶液2NHCl溶液水溶液chemcut给的蚀刻参数ORP540mvto560mv游离酸1Nto2N比重32˚Be(1.28)to34˚Be(1.31)温度130˚F(54˚C)实际使用数值ORP550±20mv游离酸1.45N（配槽值）屏显值1.15N比重1.28to1.30温度130˚F(54˚C)其他资料数值ORP>530mv游离酸<6N（2-3N）比重1.300温度40˚Cto55˚C检测方法导线间距在质检分为机器检测和手工检测，一般使用的是手工监测和数据测量值(a)式用来计算比水重的液体；ºBe——溶液的波美浓度；现蚀刻工艺的游离酸为1.15N，可提升至4N，但不建议使用这么高的游离酸值，可暂提升到2N左右。3-5N的游离酸量时，增长速率变缓。28)to34˚Be(1.Cl-提高蚀刻速率的原因增大游离算的浓度可以增大蚀刻值，但也会增大侧蚀值；蚀刻速率随着温度的升高而变大。