GBT 47506-2026《洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求》

1洁净室及相关受控环境微振动控制技术要求2规范性引用文件本文件没有规范性引用文件。3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。微振动microvibration影响精密设备或仪器正常运行的振动幅值较低的振动。微振动控制microvibrationcontrol为保证精密设备或仪器正常工作所采取的降低振动影响的方法和措施。容许振动值allowablevalueofvibration保证精密设备或仪器能正常运行的支承位置处最大振动限值。主动隔振措施activevibrationisolationmeasure为减小振源对精密设备或仪器产生振动影响而对振源采取的隔振措施。隔振器vibrationisolator具有隔离和衰减振动功能的支承元件。隔振装置vibrationisolationdevice24一般要求4.1洁净室生产、实验、测量用精密设备及仪器的容许振动值应根据其技术要求确定。典型精密设备及仪器的容许振动值见附录A。5控制方法和措施5.1控制方法洁净室微振动控制方法如下：——洁净室内部和外部振源可通过隔振或传递路径阻隔等方法进行；——洁净室结构可通过增加质量、提高刚度、增加阻尼、设置吸振器等方法进行；—精密设备及仪器可通过被动控制、主动控制、被动和主动混合控制隔振方法进行。5.2控制措施5.2.1振源控制洁净室内部和外部的振源控制采取以下措施：——可设置隔振垫、钢弹簧或空气弹簧等隔振装置隔离洁净室内部和外部的动力设备振动、管道振动；注：电子洁净厂房的动力设备和管道振动控制及隔振措施示例见附录B。——当空调机房、动力站房的动力设备和管道运行产生的噪声较大时，宜铺设浮筑板、采用吸声墙板和吸声吊顶等减小噪声和振动；——动力管道宜在穿过洁净室墙板位置处设置隔振支吊架，在进入洁净室前宜设置柔性接头；——动力管道应控制管道内介质的流速。5.2.2洁净室结构微振动控制洁净室结构微振动控制符合下列规定：——在洁净室内有微振动控制要求的精密设备及仪器区域，宜采用减小柱距、增加梁柱的截面尺寸和楼板厚度、设置剪力墙或支撑等增加刚度和质量的措施；——应根据洁净度要求确定洁净室楼盖结构的气流开孔数量和尺寸；——洁净壁板、高架地板应保证足够刚度。35.2.3精密设备及仪器微振动控制——采用空气弹簧隔振装置时，应对气源和隔振装置进行净化处理；气源的洁净度等级不应低于洁净室要求。6材料要求6.2洁净室内刚性基台、隔振装置与结构的连接材料以及检测和监测传感器与被测物体的固定材料应满足洁净室的相应洁净等级、防静电等要求。6.3洁净室内刚性基台和隔振装置与结构的连接部位、隔振缝、隔振沟的填充和密封材料应满足洁净室的相应洁净等级、防静电等要求。洁净室空态后进行微振动检测以及刚性基台和隔振装置的制作、搬运、安装和调试时，人员着装和行为规范应满足洁净室相应洁净等级要求。7.2.1洁净室内预制刚性基台宜采用结构胶、环氧砂浆等方式与结构可靠连接，连接处应采用环氧涂层封闭。7.2.2洁净室内独立基础与地面之间应填充并密封。7.2.3洁净室内隔振缝、隔振沟应填充并密封。——刚性基台和隔振装置的搬运及安装工具应采用洁净胶带包裹或涂漆等措施进行净化处理。采用气垫船时，气源还应满足相应洁净要求。——打孔或打磨作业前应搭建洁净棚，并配备吸尘装置。——高架地板宜在洁净室外进行切割。高架地板在洁净室内进行切割时，应搭建洁净棚，并配备吸尘装置。48检测和监测洁净室微振动检测和监测符合下列规定。——洁净室的微振动检测宜包括场地环境、空态、静态、动态微振动检测。——当因周边交通量增大、动力设备出现故障、施工等原因导致洁净室的微振动环境改变时，应对洁净室进行微振动检测。——微振动检测结果应形成报告。检测报告应包括测试目的、检测时间、检测设备、检测工况、测点布置、数据分析、结论等内容。——在洁净室动态阶段宜根据精密设备及仪器的微振动控制需求进行监测。—检测和监测的设备及仪器在进入洁净室前应进行洁净处理，并采取措施避免产尘。5(资料性)典型精密设备及仪器容许振动值A.1.1精密设备及仪器的容许振动值通常是以下形式之一：A.2典型精密加工设备容许振动值A.2.1典型精密加工设备的频域1/3倍频程容许振动值见表A.1。表A.1典型精密加工设备的频域1/3倍频程容许振动值1一一2涂布机、填充胶涂布机、硅片&.玻璃真空贴合机、画胶机、液晶机、真空成盒机、蒸镀机等一一3阳极曝光机、i-line彩胶曝光机、研磨机等一4一5一6电子束光刻机等一A.2.2典型精密加工设备的时域容许振动值见表A.2。6表A.2典型精密加工设备的时域容许振动值123高精度机床装配台4597600条线/mm1200条线/mm1800条线/mm2400条线/mm3600条线/mm6000条线/mm5A.3典型计量、检测设备及仪器容许振动值A.3.1典型计量、检测设备及仪器的频域1/3倍频程容许振动值见表A.3。表A.3典型计量、检测设备及仪器的频域1/3倍频程容许振动值1一一2台阶仪等一一31000倍光学显微镜、薄膜量测仪、套刻量测射线光谱型椭圆偏振测量仪、四探针、晶圆自动光学检测设备、电子束缺陷复检设备、掩模版检测设备、晶圆无损检测设备、晶圆自动正面/边缘/背面检测设备、条宽测试一7表A.3典型计量、检测设备及仪器的频域1/3倍频程容许振动值(续)4抛光剖面和刻蚀深度计量设备、无图案晶圆备、三维形貌量测设备、颗粒测试仪、应力仪、线宽测试仪等一5一6子束电子显微镜等一7一表A.4典型计量、检测设备及仪器的时域容许振动值12卧式光学仪、扭簧比较仪、直读光谱分析仪3台式光点反射检流计、硬度计、色谱仪、湿度控制仪一4卧式光度计、阿贝比长仪、电位计、万能测长仪56陀螺仪摇摆试验台、陀螺仪偏角试验台，陀螺仪阻尼试验台一7898表A.4典型计量、检测设备及仪器的时域容许振动值(续)一Ⅱ级天平一I级天平一一一一一一9(资料性)电子洁净厂房动力设备和管道振动控制及隔振措施示例B.1总则—隔振器镀锌，采用环氧树脂、合成橡胶涂层或符合洁净要求的涂层；—垫片、螺母、螺栓等采用不锈钢材料或外表面采用镉涂层。B.2动力设备振动控制及主动隔振措施电子洁净厂房的动力设备振动控制及主动隔振措施如下所述。——风机选用直接驱动系统。距离精密设备及仪器17m以内的重要风机和空调机组的电机与风机不采用皮带传动方式。——设置隔振垫、钢弹簧