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文档简介

一、单选题(只有一个正确答案)解析:泡沫剂发泡体积大,适合在低压和中低压系统(如真空2.真空泵在启动前,必须检查的油位应在?D.油窗最底部C.氢气A.增加真空度解析:质量流量计通过测量气体分子与传感元件碰撞产生的力6.真空计(如麦氏真空计)在测量前需要校准,目的是为了?B.修正漏气误差C.冷却水中断9.真空冷冻干燥(冻干)的原理是?B.物料表面结壳(硬化)C.真空破坏阀(放气阀)解析:真空破坏阀(放气阀)在紧急情况下可向系统通入大气C.麦氏真空计(热偶规/电离规需校准)解析:在极高真空(10^-3Pa以上)范围内,麦氏真空计是常用的绝对真空计,C.等于管径D.随意15.真空泵润滑油变质(变色、变稠)的主要原因是?A.油位过高A.粗抽泵解析:许多有机溶剂(如酒精、乙醚)蒸汽对真空泵油有很强的溶解能力,会导致C.螺杆泵解析:真空压力表专门设计用于测量负压(低于大气压),其零点刻度对应大气压。C.距离解析:溅射过程主要取决于气压(决定气体电离)、功率(决定电子能量)和靶极33.真空泵油起泡的原因是?A.油品太稀解析:油中混入水分或轻质挥发性液体(如制冷剂)进入泵腔34.真空系统中,真空计规管(探头)的位置应安装在哪?A.泵油乳化A.先开泵,后开阀解析:应缓慢打开破坏阀(放气阀),让空气在泵停止运转后进入系统,防止泵油B.泵体转动阻力过大(卡死)C.用嘴吹气41.真空度测量的基本单位是?解析:压力衰减法只能判断系统是否有泄漏(定性判断),而不能确定泄漏的具体C.泄水阀开启C.压强变化C.放气阀A.氦气B.氮气C.氩气解析:卤素检漏仪通常检测含卤素元素的气体(如氟利昂),氦气常用于质谱检漏,A.吸附力正常52.真空度达到10^-5Pa量级时,通常需要使用什么C.粗真空解析:U型管压力计结构简单,适用于粗真空(约10^2~10^5Pa)的压力测量。A.压缩空气A.真空泵转速C.聚四氟乙烯59.真空泵油变黑通常表示泵?60.使用真空计(如热偶真空计)测量时,如果指针满偏,说明?A.泄漏极小B.被测容器的容积和材质A.干燥速度变快B.尽量短且粗B.泵内机械摩擦声A.油扩散泵A.空气C.氢气B.最大真空度A.加压保压C.不变B.气密性C.耐压强度(通常指破坏压力)B.均匀且适量C.任何位置C.调节流速二、多选题(有2个以上正确答案)1.真空计按其测温(压)原理不同可分为哪几类?A.热传导真空计解析:真空计的种类繁多,其中热传导真空计(如皮拉尼计)、粘度真空计(如转2.下列属于绝对真空计的是?A.油增压泵4.旋片式真空泵启动前需检查哪些部位?5.罗茨真空泵的主要特点包括?7.下列属于油扩散泵特点的有?C.耗油量大油量大,且对前级泵的压强要求较严格(背压影响大)。8.真空阀门按结构可分为哪几类?解析:真空密封方式多样,包括法兰(带O型圈)、金属波纹管密封、金丝密封解析:粪便检漏(尼龙丝法)通常用于粗真空定性检查。氦质11.下列属于耐真空橡胶的有?C.丁基橡胶A.压力下降法(保压法)解析:压力下降法(保压)适用于正压检漏;升压法适用于真空检漏;皂泡法适用13.获得真空的方法主要有哪些?解析:真空系统通常由真空泵(动力)、阀门(控制)、测量仪表(监控)和真空室(工作容器)组成。解析:吸附泵(如分子筛吸附泵)依靠吸气剂吸附气体,启动17.分子泵在运行时,应注意?18.真空冷阱的作用是?20.下列关于扩散泵油的说法,正确的有?A.化学稳定性好解析:扩散泵油需要高饱和蒸汽压(作为工作介质)和极低的饱和蒸汽压(作为工作气体),以保证在高速喷射时能实现高真空。颜色和粘度是解析:高真空下保护零件不被氧化,同时减少气体对热量的吸收(对流),有利于B.陶瓷C.氧化物24.真空包装机的主要功能是?25.下列关于磁控溅射的特点,正确的有?A.溅射速率高D.能沉积金属和化合物薄膜解析:压缩式真空计(如麦氏计)可以测量极宽的量程(从粗真空到极高真空),解析:巡检应覆盖水冷系统、润滑系统、密封系统和运行状态(发热)。28.下列关于冷泵(分馏冷阱)的使用,说法正确的有?B.从低真空端(泵前)充气B.橡胶解析:橡胶(普通丁腈等)在长时间高真空下会有放气现象。氟橡胶(Viton)和A.粗真空解析:低真空通常指$10^{5}$Pa到$10^{-1}$Pa;高真空通常指$10^{-1}$PaA.靶材带正电解析:在溅射中,靶材接负高压(阴极),因此带负电。气体分子在电场中被电离,正离子撞击阴极(靶材)溅射出原子沉积在基片上。C.油质变质34.下列哪种真空阀具有自锁功能?B.电磁真空阀35.使用真空泵时,如果发现泵油乳化(变白),通常是因为?36.下列关于真空检漏仪(氦质谱检漏仪)的使用,说法正确的有?C.接管解析:视镜玻璃如果破裂会造成危险,属于非受压元件38.超高真空系统($10^{-9}$Pa级)通常使用什么泵?39.真空系统中的“前级泵”的主要作用是?B.维持主泵入口的压强A.气体流速A.氦气B.氩气C.氟利昂象包括?A.基底温度44.真空室(罐)在检修后进行检漏时,常用的封堵方法有?A.气压法解析:大多数真空规管(如电离规、热导规)不通大气会损坏,且校零操作各异。A.U型管压力计C.热偶真空计解析:气镇阀开启是正常功能。油液变白(乳化)通常是因为冷却水系统泄漏导致解析:离子镀(如磁控溅射)是通过气体放电产生等离子体,解析:精密部件(如光学镜片、电子元件)可能怕水或被强碱B.产生放电现象(辉光放电)C.真空度极低(接近大气压)解析:在低真空到高真空过渡区容易产生不稳定放电(辉光)读数跳变。读数剧烈波动也可能意味着系统未密封 (灯丝烧断)。56.下列属于真空系统密封件(O型圈)常见的失效形式的有?A.老化变硬D.发生蠕变热阴极磁控),而是将磁场集中以形成“跑道”效应。B.冷阱内需加装吸附剂(如活性炭)解析:真空计测量的是压力值,其准确度直接影响工艺过程的控制和产品质量,因8.机械泵转动时,严禁打开排气阀(挡油板)。解析:机械泵转动时,排气阀(挡油板)应处于关闭状态以防止泵油污染真空系统;解析:溅射速率直接决定了单位时间内沉积到基片上的靶材物质质量,速率越高,18.离子溅射沉积过程中,离子束流的大小可以直接调节膜层的生长速率。进行细检漏(如氦质谱检漏),因此粗检漏不是最后一步。解析:超高真空环境(如10^-7Pa以下)需要借助特殊的泵(如钛升华泵、分子解析:蝶阀的阀板转动角度决定了气流通路的截面积,角度越大(接近90度)截46.真空计(如麦氏真空计、电离真空计)的使用必须严格遵循其量程范围,严禁解析:真空计如果超出量程使用(如在常压下开启电离真空计),会损坏高灵敏度49.真空镀膜设备在抽真空过程中,前级真空泵的极限真空度必须高于扩散泵(或分子泵)所需的启动真空度。解析:前级真空泵(如机械泵)必须先将系统抽至扩散泵或分的低压(通常为几帕),才能启动高真空泵,否则高真空泵无法工作或损坏。解析:水流置换法(示踪法

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