CN113838837B 一种半导体器件及其制备方法 （深圳市时代速信科技有限公司）_第1页
CN113838837B 一种半导体器件及其制备方法 （深圳市时代速信科技有限公司）_第2页
CN113838837B 一种半导体器件及其制备方法 （深圳市时代速信科技有限公司）_第3页
CN113838837B 一种半导体器件及其制备方法 （深圳市时代速信科技有限公司）_第4页
CN113838837B 一种半导体器件及其制备方法 （深圳市时代速信科技有限公司）_第5页
已阅读5页，还剩20页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

测试焊盘设置在芯片边缘而导致的探针分布复2两个所述有源区之间的无源区；所述源极焊盘分别与所述第一源极和所述第二源极连接，3.根据权利要求1所述的半导体器件，其特征在于，所述有源区包括至少一个子有源极焊盘和所述接地通孔在所述衬底上的正投影无交在衬底上形成半导体层，所述半导体层上划分有两个相间3将所述漏极焊盘与所述漏极连接，将所述栅极焊盘与所述栅极连接45所述漏极焊盘的漏极焊盘窗口和用于露出所述栅极焊盘的栅极焊盘窗口的第二开口和用于露出所述栅极焊盘窗6[0030]下文陈述的实施方式表示使得本领域技术人员能够实践所述实施方式所必需的这些概念和应用属于本公开和随附权利要求的[0034]本文中使用的术语仅用于描述特定实施方式的目的，而且并不意图限制本公7[0037]然后，在该衬底100上沉积半导体层200，沉积的方式可以是通过化学气相沉积[0038]该半导体层200上划分有两个相间隔的有源区201，以及位于有源区201外围的无在有围绕有源区201设置的无源区202。半导体层200上的有源区201和无源区202可以通过层或多层，设置时应当结合器件类型进行合理选择，例如绝缘栅型场效应晶体管（MIS[0040]在相间隔的两个有源区201上连接设置有第二源极240，第二源极240包括依次连属部243可以是在同一工艺步骤中同步制作，本领域技术人员应当能够根据实际情况进行[0041]源极焊盘250分别与第一源极210和第二源极240连接，源极焊盘250与第二源极8两个有源区201上连接设置有第二源极240，第二源极240包括依次连接的第一金属部241、201，第二金属部242位于两个有源区201之间的无源区202；源极焊盘250分别与第一源极正投影与源极焊盘250在衬底100上的正投影具有交叠区域时，第二金属部242形成于欧姆分别落在欧姆金属层244在衬底100上的正投影和互连金属层245在衬底100上的正投影内；第二源极240的欧姆金属层244在衬底100上的正投影和互连金属层245在衬底100上的正投9分别为第一源极210和第二源极240，以便于在两个有源区201之间连接设置第二源极240，[0048]由于第二源极240需要通过第一金属部241和第二金属部242分别连接两个有源区间的最小间距L3小于栅极230与切割道250窗口、用于露出漏极焊盘260的漏极焊盘260窗口和用于露出栅极焊盘270的栅极焊盘栅极焊盘270窗口在栅极焊盘270上的正投影位于栅极焊盘27使得下方的金属能够从窗口内露出，这样一来，可以将与漏极220连接的金属在漏极焊盘出的部分作为栅极焊盘270，将与第一源极210和第二源极240分别连接的金属在源极焊盘二开口的开口面积小于漏极焊盘260窗口的开口面积，第三开口的开口面积小于栅极焊盘二源极240，第二源极240包括依次连接的第一金属部241、第二金属部242和第三金属部[0057]由于在相间隔的两个有源区201上连接设置有第二源极240，第二源极240包括依

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 信息产业

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论