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飞秒激光加工系统应用前景广阔我国技术研究取得新突破

飞秒激光加工系统,指利用飞秒级超短脉冲激光实现精密微纳加工的设备。飞秒激光加工系统具备可实现非线性加工、加工精度高、热影响区极小、‌材料适应性广等优势,在航空航天、半导体制造、科学研究、生物医疗、光纤传感等众多领域拥有广阔应用前景。

飞秒激光加工系统主要由功率放大模块‌、飞秒激光光源‌、精密运动与扫描系统、谐波发生器‌、辅助模块、控制系统等组件构成。飞秒激光光源为飞秒激光加工系统核心组件,可利用飞秒光纤激光器发射飞秒级脉冲种子光。近年来,随着国家政策支持以及本土企业持续发力,我国飞秒光纤激光器市场国产化进程不断加快,这将为飞秒激光加工系统行业发展提供有利条件。

根据新思界产业研究中心发布的《2026-2031年飞秒激光加工系统行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,飞秒激光加工系统在众多领域拥有广阔应用前景,主要包括航空航天、半导体制造、科学研究、生物医疗、光纤传感等。在航空航天领域,飞秒激光加工系统可用于发动机涡轮叶片气膜孔加工过程中;在半导体制造领域,其可用于晶圆划片环节;在科学研究领域,其可用于新材料开发过程中;在生物医疗领域,其可用于加工微流控芯片以及生物组织切片。

全球飞秒激光加工系统市场主要参与者包括美国UpTekSolutions公司、美国相干公司(Coherent)、瑞士Posalux公司、立陶宛‌WorkshopofPhotonics公司等。美国相干公司为全球较早布局飞秒激光加工系统行业研发及生产赛道的企业,其推出的ChameleonVision-S/LegendEliteFHE-1K飞秒激光加工系统已在材料科学领域获得广泛应用。

在本土方面,受技术壁垒高、生产成本高等因素限制,我国飞秒激光加工系统市场国产化程度极低。近年来,我国企业及相关科研机构不断加大对于飞秒激光加工系统的研究,已取得众多新进展。2026年1月,哈尔滨工业大学郑州高等研究院成功研制出200W三波段飞秒激光加工系统,加工精度达到微米级别,未来有望在半导体制造领域获得应用。

新思界行业分析人士表示,飞秒激光加工系统作为一种高精度激光系统,在众多领域有所应用。未来随着市场需求逐渐释放,飞秒激光加工

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