吉大传感器原理及应用课件第2章 力传感器

1第二章

力传感器

应变式传感器电感式传感器电容式传感器压电式传感器力传感器指对力学量敏感的一类器件或装置。2金属应变片式传感器金属丝式应变片金属箔式应变片测量电路应变式传感器应用压阻式传感器压阻效应晶向、晶面的表示方法压阻器件第一节

应变式传感器3优点：

①精度高，测量范围广

②频率响应特性较好

③结构简单，尺寸小，重量轻

④可在高(低)温、高速、高压、强烈振动、强磁场及核辐射和化学腐蚀等恶劣条件下正常工作

⑤易于实现小型化、固态化

⑥价格低廉，品种多样，便于选择一、

金属应变片式传感器

金属应变片式传感器的核心元件是金属应变片，它可将试件上的应变变化转换成电阻变化。缺点：具有非线性，输出信号微弱，抗干扰能力较差，因此信号线需要采取屏蔽措施；只能测量一点或应变栅范围内的平均应变，不能显示应力场中应力梯度的变化等；不能用于过高温度场合下的测量。4各种电子秤广泛应用于－5高精度电子汽车衡

动态电子秤电子天平6机械秤包装机吊秤7(一)金属丝式应变片1、应变效应当金属丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值将发生变化，这种现象称为金属的电阻应变效应。设有一根长度为l、截面积为S、电阻率为ρ的金属丝，其电阻R为两边取对数，得等式两边取微分，得

8dr/r为金属丝半径的相对变化，即径向应变为εr。S=πr2dS

/S=2·dr/rεr=–με由材料力学知将微分dR、dρ改写成增量ΔR、Δρ，则金属丝电阻的相对变化与金属丝的伸长或缩短之间存在比例关系。比例系数KS称为金属丝的应变灵敏系数。9物理意义：单位应变引起的电阻相对变化。KS由两部分组成：前一部分（1+2μ）：由材料的几何尺寸变化引起，一般金属μ≈0.3，因此（1+2μ）≈1.6；后一部分：电阻率随应变而引起的（称“压阻效应”）。对金属材料，以前者为主，则KS≈1+2μ；对半导体，KS值主要由电阻率相对变化所决定。实验表明，在金属丝拉伸比例极限内，电阻相对变化与轴向应变成正比。通常KS在1.8～3.6范围内。10电阻应变片结构示意图2、应变片的结构与材料由敏感栅、基底、盖片、引线和粘结剂等组成。（1）敏感栅由金属细丝绕成栅形。电阻应变片的电阻值为60Ω、120Ω、200Ω等多种规格，以120Ω最为常用。应变片栅长大小关系到所测应变的准确度，应变片测得的应变大小是应变片栅长和栅宽所在面积内的平均轴向应变量。bl栅长栅宽11（2）基底和盖片基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，盖片既保持敏感栅和引线的形状和相对位置，还可保护敏感栅。基底的全长称为基底长，其宽度称为基底宽。（3）引线

是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的性能要求：电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数敏感栅材料都可制作引线。（4）粘结剂

用于将敏感栅固定于基底上，并将盖片与基底粘贴在一起。使用金属应变片时，也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。123、主要特性（1）灵敏度系数金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系，用灵敏度系数KS表示。当金属丝做成应变片后，其电阻—应变特性，与金属单丝情况不同。因此，须用实验方法对应变片的电阻—应变特性重新测定。实验表明，金属应变片的电阻相对变化与应变ε在很宽的范围内均为线性关系。即K为金属应变片的灵敏系数。注意，K是在试件受一维应力作用，应变片的轴向与主应力方向一致，且试件材料的泊松比为0.285的钢材时测得的。测量结果表明，应变片的灵敏系数K恒小于线材的灵敏系数KS。原因：胶层传递变形失真，横向效应也是一个不可忽视的因素。

13（2）横向效应及横向效应因数金属应变片由于敏感栅的两端为半圆弧形的横栅，测量应变时，构件的轴向应变ε使敏感栅电阻发生变化，其横向应变εr也将使敏感栅半圆弧部分的电阻发生变化(除了ε起作用外)，应变片的这种既受轴向应变影响，又受横向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应。14

若敏感栅有n根纵栅，每根长为l，半径为r，在轴向应变ε作用下，全部纵栅的变形视为ΔL1半圆弧横栅同时受到ε和εr的作用，在任一微小段长度dl=rdθ上的应变εθ可由材料力学公式求得

每个圆弧形横栅的变形量Δl为纵栅为n根的应变片共有n-1个半圆弧横栅，全部横栅的变形量为ΔL1=nlε15应变片敏感栅的总变形为敏感栅栅丝的总长为L，敏感栅的灵敏系数为KS，则电阻相对变化为令

则

可见，敏感栅电阻的相对变化分别是ε和εr作用的结果。16当εr=0时，可得轴向灵敏度系数同样，当ε=0时，可得横向灵敏度系数横向灵敏系数与轴向灵敏系数之比值，称为横向效应因数H。即

可见，r愈小，l愈大，则H愈小。即敏感栅越窄、基长越长的应变片，其横向效应引起的误差越小。17（3）机械滞后应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其加载特性与卸载特性不重合，即为机械滞后。产生原因：应变片在承受机械应变后，其内部会产生残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化；在制造或粘贴应变片时，如果敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。ΔεΔε1机械应变ε卸载加载指示应变εi应变片的机械滞后

机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关，加载时的机械应变愈大，卸载时的滞后也愈大。所以，通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次，以减少因机械滞后所产生的实验误差。18（4）零点漂移和蠕变

对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻值随时间增加而变化的特性，称为应变片的零点漂移。

产生原因：敏感栅通电后的温度效应；应变片的内应力逐渐变化；粘结剂固化不充分等。如果在一定温度下，使应变片承受恒定的机械应变，其电阻值随时间增加而变化的特性称为蠕变。一般蠕变的方向与原应变量的方向相反。

产生原因：由于胶层之间发生“滑动”，使力传到敏感栅的应变量逐渐减少。这是两项衡量应变片特性对时间稳定性的指标，在长时间测量中其意义更为突出。实际上，蠕变中包含零漂，它是一个特例。19（5）应变极限在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围（一般为10%）时的最大真实应变值。在图中，真实应变是由于工作温度变化或承受机械载荷，在被测试件内产生应力(包括机械应力和热应力)时所引起的表面应变。εlim真实应变εz指示应变εi应变片的应变极限±10%1主要因素：粘结剂和基底材料传递变形的性能及应变片的安装质量。制造与安装应变片时，应选用抗剪强度较高的粘结剂和基底材料。基底和粘结剂的厚度不宜过大，并应经过适当的固化处理，才能获得较高的应变极限。20（6）动态特性应变片的动态特性关系到所能测量的动态应变的频率。当测量频率很高的应变时，需考虑应变片的动态特性。因应变片基底和粘贴胶层很薄，构件的应变波传到应变片的时间很短(估计约0.2μs)，故只需考虑应变沿应变片栅长方向传播时的动态响应。设一频率为f的正弦应变波在构件中以速度v沿应变片栅长方向传播，在t时刻，应变量沿构件分布如图所示。应变片对应变波的动态响应ε0应变片ε1lx1λεx21

设应变波波长为λ，则有λ=v/f。应变片栅长为L，t瞬时应变波沿构件分布为

应变片中点的应变为xt为t瞬时应变片中点的坐标。由应变片测得的应变为栅长l范围内的平均应变εm，其数值等于l范围内应变波曲线下的面积除以l，即22平均应变εm与中点应变εt相对误差δ为可见，相对误差δ的大小只决定于的比值。当l/λ＜＜1时，将级数展开，略去高阶项，可得234、

温度误差及其补偿（1）温度误差

用作测量应变的金属应变片，希望其阻值仅随应变变化，而不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度(包括被测试件的温度)影响很大。由于环境温度变化引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级，从而产生很大的测量误差，称为应变片的温度误差，又称热输出。因环境温度改变而引起电阻变化的两个主要因素：应变片的电阻丝(敏感栅)具有一定温度系数；电阻丝材料与测试材料的线膨胀系数不同。

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设环境引起的构件温度变化为Δt（℃）时，粘贴在试件表面的应变片敏感栅材料的电阻温度系数为αt

，则应变片产生的电阻相对变化为

由于敏感栅材料和被测构件材料两者线膨胀系数不同，当Δt存在时，引起应变片的附加应变，其值为

βe—试件材料线膨胀系数；βg—敏感栅材料线膨胀系数。

相应的电阻相对变化为K——应变片灵敏系数。25温度变化形成的总电阻相对变化：

相应的虚假应变为上式为应变片粘贴在试件表面上，当试件不受外力作用，在温度变化Δt时，应变片的温度效应。用应变形式表现出来，称之为热输出。可见，应变片热输出的大小不仅与应变计敏感栅材料的性能(αt,βg)有关，而且与被测试件材料的线膨胀系数(βe)有关。

26（2）

温度补偿（自补偿法和线路补偿法）①

单丝自补偿应变片由前式知，若使应变片在温度变化Δt时的热输出值为零，必须使即每一种材料的被测试件，其线膨胀系数都为确定值，可以在有关的材料手册中查到。在选择应变片时，若应变片的敏感栅是用单一的合金丝制成，并使其电阻温度系数和线膨胀系数满足上式的条件，即可实现温度自补偿。具有这种敏感栅的应变片称为单丝自补偿应变片。

单丝自补偿应变片的优点是结构简单，制造和使用都比较方便，但它必须在具有一定线膨胀系数材料的试件上使用，否则不能达到温度自补偿的目的。27②双丝组合式自补偿应变片是由两种不同电阻温度系数（一种为正值，一种为负值）的材料串联组成敏感栅，以达到一定的温度范围内在一定材料的试件上实现温度补偿的，如图。这种应变片的自补偿条件要求粘贴在某种试件上的两段敏感栅，随温度变化而产生的电阻增量大小相等，符号相反，即(ΔRa)t=–(ΔRb)t焊点RaRb补偿效果可达±0.45με／℃。28③

电路补偿法

如图，电桥输出电压与桥臂参数的关系为

式中A——由桥臂电阻和电源电压E决定的常数。USCR2R4R1R3E桥路补偿法由上式可知，当R3、R4为常数时，Rl和R2对输出电压的作用方向相反。利用这个基本特性可实现对温度的补偿，并且补偿效果较好，这是最常用的补偿方法之一。

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测量应变时，使用两个应变片，一片贴在被测试件的表面，图中R1称为工作应变片。另一片贴在与被测试件材料相同的补偿块上，图中R2，称为补偿应变片。在工作过程中补偿块不承受应变，仅随温度发生变形。由于R1与R2接入电桥相邻臂上，造成ΔR1t与ΔR2t相同，根据电桥理论可知，其输出电压USC与温度无关。当工作应变片感受应变时，电桥将产生相应输出电压。补偿应变片粘贴示意图R1R230

当被测试件不承受应变时，R1和R2处于同一温度场，调整电桥参数，可使电桥输出电压为零，即上式中可以选择R1=R2=R及R3=R4=R′。当温度升高或降低时，若ΔR1t=ΔR2t，即两个应变片的热输出相等，由上式可知电桥的输出电压为零，即=31

若此时有应变作用，只会引起电阻R1发生变化，R2不承受应变。故由前式可得输出电压为可见，电桥输出电压只与应变ε有关，与温度无关。为达到完全补偿，需满足下列三个条件：

①R1和R2须属于同一批号的，即它们的电阻温度系数α、线膨胀系数β、应变灵敏系数K都相同，两片的初始电阻值也要求相同；

②用于粘贴补偿片的构件和粘贴工作片的试件二者材料必须相同，即要求两者线膨胀系数相等；

③两应变片处于同一温度环境中。此方法简单易行，能在较大温度范围内进行补偿。缺点是三个条件不易满足，尤其是条件③。在某些测试条件下，温度场梯度较大，R1和R2很难处于相同温度点。32根据被测试件承受应变的情况，可以不另加专门的补偿块，而是将补偿片贴在被测试件上，这样既能起到温度补偿作用，又能提高输出的灵敏度，如图所示的贴法。R1R2FFR1R2（b）（a）F图(a)为一个梁受弯曲应变时，应变片R1和R2的变形方向相反，上面受拉，下面受压，应变绝对值相等，符号相反，将它们接入电桥的相邻臂后，可使输出电压增加一倍。当温度变化时，应变片R1和R2的阻值变化的符号相同，大小相等，电桥不产生输出，达到了补偿的目的。(b)图是受单向应力的构件，将工作应变片R2的轴线顺着应变方向，补偿应变片R1的轴线和应变方向垂直，R1和R2接入电桥相邻臂，其输出为构件受弯曲应力构件受单向应力33

另外也可以采用热敏电阻进行补偿。如图所示，热敏电阻Rt与应变片处在相同的温度下，当应变片的灵敏度随温度升高而下降时，热敏电阻Rt的阻值下降，使电桥的输入电压温度升高而增加，从而提高电桥输出电压。选择分流电阻R5的值，可以使应变片灵敏度下降对电桥输出的影响得到很好的补偿。USCR2R4R1R3ERtR534（二）

金属箔式应变片箔式应变片的工作原理基本和电阻丝式应变片相同。它的电阻敏感元件不是金属丝栅，而是通过光刻、腐蚀等工序制成的薄金属箔栅，故称箔式电阻应变片，如图。金属箔的厚度—般为(0.003～0.010)mm，它的基片和盖片多为胶质膜，基片厚度一般为(0.03～0.05)mm。35金属箔式应变片和丝式应变片相比较，其特点：

①金属箔栅很薄，因而它所感受的应力状态与试件表面的应力状态更为接近；当箔材和丝材具有同样的截面积时，箔材与粘接层的接触面积比丝材大，使它能更好地和试件共同工作；箔栅的端部较宽，横向效应较小，因而提高了应变测量的精度。

②箔材表面积大，散热条件好，故允许通过较大电流，因而可以输出较大信号，提高了测量灵敏度。

③箔栅的尺寸准确、均匀，且能制成任意形状，特别是为制造应变花和小标距应变片提供了条件，从而扩大了应变片的使用范围。

④蠕变小，疲劳寿命长。

⑤便于成批生产，而且生产效率高。缺点：电阻值分散性大，有的相差几十Ω，故需要作阻值调整；不适于高温环境下测量；此外价格较贵。36（三）

测量电路电阻应变片的测量线路根据采用的电源不同，分为交流电桥和直流电桥两种。直流电桥比较简单，因此以直流电桥为例分析说明，如图所示。图中E为电桥供电电源，R1、R2、R3、R4为四个桥臂电阻，当电桥的负载电阻Rg为无穷大时，电桥的输出电压Ug为

R2R4R1R3E直流电桥原理图RgACDIgB当Ug=0时，直流电桥处于平衡状态，则有R1R4=R2R3该式说明，电桥平衡时，其相对两臂电阻的乘积相等或相邻两臂电阻的比值相等。37右图为单臂工作电桥，R1为工作应变片，R2、R3、R4为固定电阻，E为电桥供电电源，Ug为电桥的输出电压，负载电阻为无穷大，应变片电阻R1有一增量ΔR1时，电桥的输出电压为

设桥臂比n=R2/R1，根据直流电桥平衡条件R1R4=R2R3，忽略分母中的ΔR1，整理后可得则直流电桥电压灵敏度为

38当n=1，且R1/R2=R3/R4时，单臂工作电桥的输出电压为

可见，当单臂工作电桥的供电电源不变，负载电阻无穷大时，在应变片承受应变引起的电阻变化量ΔR1相对R1＋R2的值可忽略的情况下，电桥输出电压Ug与应变片电阻相对变化呈线性关系，即单臂直流电桥电压灵敏度为常数。

如果在电桥的相临两个桥臂同时接入性能和指标完全相同的工作应变片，一片受拉，另一片受压；或相对两个桥臂同时受拉或受压，则

39如果电桥的四个桥臂都接入性能和指标完全相同的工作应变片，如图，称为全桥电路，全桥电路的输出电压为

可见，全桥电路的电压灵敏度比单臂工作电桥提高4倍。全桥电路和相邻臂工作的半臂电路不仅灵敏度高，而且当负载电阻无穷大时，没有非线性误差，同时还起到温度补偿作用。例1某应变片的电阻R=350Ω,K=2.05,用作应变ε为800μm/m的传感元件。①求ΔR/R和ΔR；②若电桥供电电源电压为E=3V，计算惠斯登全桥电路的输出电压U0。解：ΔR/R=Kε＝800×2.05＝0.00164则ΔR=KεR＝0.00164×200＝0.574Ω40例2一个K＝2.1的350Ω应变片被粘贴到铝支柱(其弹性模量E＝73GPa)上。支柱的外径为50mm，内径为47.5mm。试计算当支柱承受1000kg负荷时电阻的变化。（提示：σ＝εE，σ为测试的应力；ε为应变；E为材料的弹性模量）解：ΔR=KεR＝KRσ/E＝KR(F/S)/E根据几何学，承受力的面积S为因此，对于R=350Ω，K＝2.1，F＝1000kg＝9800N和E＝73GPa，有41（四）应变式传感器应用

金属应变片，除了测定试件应力、应变外，还制造成多种应变式传感器用来测定力、扭矩、加速度、压力等其它物理量。应变式传感器包括两个部分：一是弹性敏感元件，利用它将被测物理量（如力、扭矩、加速度、压力等）转换为弹性体的应变值；另一个是应变片作为转换元件将应变转换为电阻的变化。

柱力式传感器梁力式传感器应变式压力传感器应变式加速度传感器421、柱力式传感器

圆柱式力传感器的弹性元件分为实心和空心两种。柱式力传感器-ε2+ε1截面积SFFF面积S-ε1+ε2b）a）在轴向布置一个或几个应变片，在圆周方向布置同样数目的应变片,后者取符号相反的横向应变，从而构成了差动对。由于应变片沿圆周方向分布，所以非轴向载荷分量被补偿，在与轴线任意夹角的α方向，其应变为：ε1——沿轴向的应变；μ——弹性元件的泊松比。当α=0时当α=90˚时E：弹性元件的杨氏模量432、梁力式传感器等强度梁弹性元件是一种特殊形式的悬臂梁。梁的固定端宽度为b0，自由端宽度为b，梁长为L，粱厚为h。力F作用于梁端三角形顶点上，梁内各断面产生的应力相等，故在对L方向上粘贴应变片位置要求不严。横截面梁双空梁S形弹性元件44各种平行双孔梁45P（b）

（a）应变式压力传感器3、应变式压力传感器测量气体或液体压力的薄板式传感器，如图所示。当气体或液体压力作用在薄板承压面上时，薄板变形，粘贴在另一面的电阻应变片随之变形，并改变阻值。这时测量电路中电桥平衡被破坏，产生输出电压。

圆形薄板固定形式：采用嵌固形式，如图（a）或与传感器外壳作成一体，如图(b)。应变片464、应变式加速度传感器壳体机座aFR1R2m充满硅油基本结构由悬臂梁、应变片、质量块、机座外壳组成。悬臂梁（等强度梁）自由端固定质量块，壳体内充满硅油，产生必要的阻尼。当壳体与被测物体一起作加速度运动时，悬臂梁在质量块的惯性作用下作反方向运动，使梁体发生形变，粘贴在梁上的应变片阻值发生变化。通过测量阻值的变化求出待测物体的加速度。

47二、压阻式传感器是利用硅的压阻效应和微电子技术制成的，是一种新的物性型传感器。优点：灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等。（一）

压阻效应固体材料在应力作用下发生形变时，其电阻率发生变化的现象被称为压阻效应。对半导体材料对金属材料电阻相对变化量π——压阻系数σ——应力E——弹性模量48由于πE一般都比（1+2μ）大几十倍甚至上百倍，因此，引起压阻效应的主要原因是半导体材料电阻相对变化，则上式可近似写成

式中π——压阻系数；E——弹性模量；

σ——应力；ε——应变。上式表明压阻传感器的工作原理是基于压阻效应。扩散硅压阻式传感器的基片是半导体单晶硅。单晶硅是各向异性材料，取向不同其特性不一样。而取向是用晶向表示的，所谓晶向就是晶面的法线方向。49

CZOBAXY11晶体晶面的截距表示（二）晶向、晶面的表示方法结晶体具有多面体的形态，由分子、原子或离子有规则排列而成。多面体的表面由许多晶面围合而成。晶面与晶面相交的直线称为晶棱，晶棱的交点称为晶体的顶点。为了说明晶格点阵的配置和确定晶面的位置，通常引进一组对称轴线，称为晶轴，用X、Y、Z表示。

硅为立方晶体结构，就取立方晶体的三个相邻边为X、Y、Z。在晶轴X、Y、Z上取与所有晶轴相交的某晶面为单位晶面，如图所示。50此晶面与坐标轴上的截距为OA、OB、OC。已知某晶面在X、Y、Z轴上的截距为OAx、OBy、OCz，它们与单位晶面在坐标轴截距的比可写成

p、q、r为没有公约数(1除外)的简单整数。取其倒数得h、k、l也为没有公约数的简单整数。依据上式可知，截距OAx、OBy、OCz的晶面，能用三个简单整数h、k、l来表示。h、k、l称为密勒指数。而晶向是晶面的法线方向，根据规定，晶面符号为(hkl)，晶面全集符号为{hkl}，晶向符号为[hkl]，晶向全集符号为〈hkl〉。51（三）

固态压阻器件1、固态压阻器件的结构原理利用固体扩散技术，将P型杂质扩散到一片N型硅底层上，形成一层极薄的导电P型层，装上引线接点后，即形成扩散型半导体应变片。若在圆形硅膜片上扩散出四个P型电阻，构成惠斯登电桥的四个臂，这样的敏感器件通常称为固态压阻器件，如图所示。

１２３４５７６1N-Si膜片2P-Si导电层粘贴剂硅底座引压管Si保护膜7引线

52USCR－ΔR+ΔRT恒流源供电ACDBR－ΔR+ΔRTR+ΔR+ΔRTR+ΔR+ΔRTE2、测量桥路及温度补偿为减少温度影响，压阻器件一般采用恒流源供电。假设电桥中两个支路的电阻相等，即RABC=RADC=2（R+ΔRT），故有因此，电桥的输出为

可见，电桥输出与电阻变化成正比，即与被测量成正比，与恒流源电流成正比，即与恒流源电流大小和精度有关。但与温度无关，因此不受温度的影响。但是，压阻器件本身受到温度影响后，要产生零点温度漂移和灵敏度温度漂移，因此必须采取温度补偿措施。IUSC=IΔR53（1）零点温度补偿零点温度漂移是由于四个扩散电阻的阻值及其温度系数不一致造成的。一般用串、并联电阻法补偿，如图。其中，RS是串联电阻；RP是并联电阻。串联电阻主要起调零作用；并联电阻主要起补偿作用。

R2R4R1R3USC温度漂移的补偿RPBCDARSEDi计算RS、RP的方法54设R1′,R2′,R3′,R4′与R1″,R2″,R3″,R4″为四个桥臂电阻在低温和高温下的实测数据，RS′,RP′与RS˝、RS˝分别为RS、RP在低温与高温下的欲求数值。根据以上四式可计算出RS′,RP′,RS˝,RP˝。从而，计算出常温下RS、RP的数值。计算出RS、RP后，那么，选择该温度系数的电阻接入桥路，便可起到温度补偿的作用。根据低温与高温下B、D两点的电位相等的条件设RS、RP的温度系数α、β为已知，则55（2）灵敏度温度补偿它是由于压阻系数随温度变化而引起的。温度升高时，压阻系数变小；温度降低时，压阻系数变大，说明传感器的灵敏度系数为负值。补偿灵敏度温漂采用在电源回路中串联二极管的方法：温度升高时，因为灵敏度降低，这时如果提高电桥的电源电压，使电桥的输出适当增大，便可以达到补偿的目的。反之，温度降低时，灵敏度升高，如果使电源电压降低，电桥的输出适当减小，同样可达到补偿的目的。因为二极管PN结为负温度特性，温度每升高1℃时，正向压降约减小(1.9～2.5)mV。将适当数量的二极管串联在电桥的电源回路中，如图。电源采用恒压源，当温度升高时，二极管的正向压降减小，于是电桥的桥压增加，使其输出增大。只要计算出所需二极管的个数，将其串入电桥电源回路，便可以达到补偿的目的。56根据电桥的输出，应有若传感器低温时满量程输出为USĆ，高温时为USC˝，则ΔUSC=USĆ–USC˝而ΔR/R可根据常温下传感器的电源电压与满量程输出计算，从而可以求出ΔUSC。此值便是为了补偿灵敏度随温度下降，桥压需要提高的数值ΔE。当n只二极管串联时，可得n·θ·ΔT=ΔE式中θ——二极管PN结正向压降的温度系数，一般为-2mV/℃；n——串联二极管的个数；ΔT——温度的变化范围。用这种补偿方法时，必须考虑二极管正向压降的阈值，硅管为0.7V，锗管为0.3V。因此，要求恒压源提供的电压应有一定的提高。57稳压源+－+－R1R2R3R4ACBDRFrA1A2IoI1I21mA输出放大及转换应变电桥（3－19）mARr（4－20）mA恒流源

下图是扩散硅差压变送器典型的测量电路原理图。组成：应变桥路、温度补偿网络、恒流源、输出放大及电压一电流转换单元等58第二节

电感式传感器（变磁阻）自感式传感器气隙型自感传感器螺管型自感传感器自感线圈的等效电路测量电路自感式传感器应用差动变压器结构原理与等效电路误差因素分析测量电路应用电涡流式传感器InductiveTransducer/sensor59定义：是一种利用线圈自感或互感的变化实现非电量电测的装置，是一种机电转换装置。感测量：位移、振动、压力、应变、流量、比重等。种类：根据转换原理，分自感式和互感式两种；根据结构型式，分气隙型、面积型和螺管型。优点：①结构简单、可靠，测量力小衔铁为(0.5～200)×10-4N时，磁吸力为(1~10)×10-4N。②分辨力高机械位移：0.1μm，甚至更小；角位移：0.1角秒。输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm。③重复性好，线性度优良在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。不足：存在交流零位信号，不宜于高频动态测量。

60一、自感式传感器

有气隙型和螺管型两种结构。（一）气隙型自感传感器组成：线圈1，衔铁3和铁芯2等。图中点划线表示磁路，磁路中空气隙总长度为lδ。传感器运动部分与衔铁相连，衔铁移动时lδ发生变化，引起磁路的磁阻Rm变化，使电芯线圈的电感值L变化；只要改变气隙厚度或气隙截面积就可以改变电感。0.5lδ123x(a)气隙式(b)变截面式61电感传感器的基本工作原理演示气隙变小，电感变大，电流变小F62N：线圈匝数；Rm：磁路总磁阻(铁芯与衔铁磁阻和空气隙磁阻)气隙式自感传感器，因为气隙较小(lδ为0.1～1mm)，所以，认为气隙磁场是均匀的，若忽略磁路铁损，则磁路总磁阻为

l1：铁芯磁路总长；l2：衔铁的磁路长；S：隙磁通截面积；

S1：铁芯横截面积；S2：衔铁横截面积；μ1：铁芯磁导率；μ2：衔铁磁导率；μ0：真空磁导率，μ0=4π×10-7H／m；

lδ：空气隙总长。由磁路基本知识知，线圈自感为63由于自感传感器的铁芯一般在非饱和状态下，其磁导率远大于空气的磁导率，因此铁芯磁阻远较气隙磁阻小，所以上式可简化为可见，自感L是气隙截面积和长度的函数，即L＝f(S,lδ)如果S保持不变，则L为lδ的单值函数，构成变隙式自感传感器；若保持lδ不变，使S随位移变化，则构成变截面式自感传感器。其特性曲线如图。L=f（S）L=f（lδ）lδLSL=f(lδ)为非线性关系。当lδ＝0时，L为∞，考虑导磁体的磁阻，当lδ＝0时，并不等于∞，而具有一定的数值，在lδ较小时其特性曲线如图中虚线所示。如上下移动衔铁使面积S改变，从而改变L值时,则L＝f(S)的特性曲线为一直线。64rx螺旋管铁心单线圈螺管型传感器结构图l（二）

螺管型自感传感器工作原理是基于线圈磁力线泄漏路径上的磁阻的变化。属于大气隙传感器，分单线圈和差动式两种结构形式。组成：螺管线圈和圆柱形铁芯。传感器工作时，通过改变磁芯在线圈中的相对位置，引起螺管线圈自感量的变化。当用恒流源激励时，假定线圈内磁场强度是均匀的，且磁芯插入线圈的长度小于线圈本身的长度，则此时线圈的输出的自感量为65L——线圈的自感量；N——线圈的匝数；rc——磁芯半径；r——线圈的平均半径；l——螺管线圈长度；lc——磁芯插入线圈的长度；μr——铁心相对磁导率。根据传感器灵敏度的定义，可得单线圈螺管型自感传感器灵敏度或可见，在线圈和磁芯长度一定时，自感相对变化量与磁芯插入长度的相对变化量成正比，但由于线圈内磁场强度的不均匀性，实际单线圈螺管型自感传感器的输出特性并非线性。而差动螺管型自感传感器较单线圈螺管型的非线性有所改善。66为了提高灵敏度与线性度,常采用由两个线圈组成的差动螺管式自感传感器。图(b)中H=f(x)曲线表明：为了得到较好的线性,铁芯长度取0.6l时,则铁芯工作在H曲线的拐弯处,此时H变化小。这种差动螺管式自感传感器的测量范围为(5～50)mm,非线性误差在0.5％左右。

2lcΔlc2l线圈Ⅱ线圈Ⅰr0.80.60.40.20.20.40.60.8-0.80.80.41.2-1.2-0.4xH（）INl差动螺旋管式自感传感器(a)结构示意图(b)磁场分布曲线x(l)(a)(b)67

综上所述，螺管式自感传感器的特点：

①结构简单，制造装配容易；

②由于空气间隙大，磁路的磁阻高，因此灵敏度低，但线性范围大；

③由于磁路大部分为空气，易受外部磁场干扰；

④由于磁阻高，为了达到某一自感量，需要的线圈匝数多，因而线圈分布电容大；

⑤要求线圈框架尺寸和形状必须稳定，否则影响其线性和稳定性。

68（三）自感线圈的等效电路实际传感器中包括：铜损电阻（Rc）N为线圈匝数，lcp为平均每匝长度d为线径、ρc为导线电阻率CLRcRe涡流损耗电阻（Re）并联分布电容（C）由线圈绕组的分布电容及电缆引线电容组成。并联电容后，传感器的灵敏度提高了。因此在测量中若需要改变电缆长度时，则应对传感器的灵敏度重新校准。69（四）测量电路1、交流电桥实际应用中，交流电桥常和差动式自感传感器配合使用,这样既提高了灵敏度，又改善了线性度，如图。Z1、Z2为工作臂，即线圈阻抗，R1、R2为电桥的平衡臂

电桥平衡条件：设Z1=Z2=Z=RS+jωL；R1=R2=R

RS1=RS2=RS；L1=L2=LE为桥路电源，ZL是负载阻抗。工作时，Z1=Z+ΔZ和Z2=Z-ΔZZLR1R2Z2Z1L1L2RS1RS2交流电桥原理图USCE70其输出电压幅值

当ZL→∞时输出阻抗为自感线圈的品质因数。教材中有误71①桥路输出电压Usc包含与电源E同相和正交两个分量。在实际测量中，只希望有同相分量，如能使或Q值比较大，均能达到此目的。但在实际工作时，△RS/RS一般很小，所以要求线圈有高的品质因数。当Q值很高时，Usc＝；

②当Q值很低时，自感线圈的电感远小于电阻，电感线圈相当于纯电阻(ΔZ＝ΔRs)，交流电桥即为电阻电桥。例如，应变测量仪，此时输出电压Usc=。

该电桥结构简单，其电阻R1、R2可用两个电阻和一个电位器组成，调零方便。

72Z1Z2USCE/2E/2E变压器电桥原理图I2、变压器电桥平衡臂为变压器的两个副边，当负载阻抗为无穷大时，流入工作臂的电流为

初始Z1=Z2=Z=RS+jωL，故平衡时，USC=0。双臂工作时，设Z1=Z–ΔZ，Z2=Z+ΔZ，相当于差动式自感传感器的衔铁向一侧移动，则同理反方向移动时73可见，衔铁向不同方向移动时，产生的输出电压Usc大小相等、方向相反，即相位互差180º，可反映衔铁移动的方向。但是，为了判别交流信号的相位，需接入专门的相敏检波电路。

优点：变压器电桥与电阻平衡电桥相比，元件少，输出阻抗小，桥路开路时电路呈线性；缺点：变压器副边不接地，易引起来自原边的静电感应电压，使高增益放大器不能工作。

变压器电桥的输出电压幅值输出阻抗为(略去变压器副边的阻杭，它远小于电感的阻抗)74（五）自感式传感器的应用主要应用于测量位移和尺寸，也可以测量能够转换为位移量的其他参数，如力、压力、压差、张力、加速度、扭矩、应变等。轴向自感式传感器

压力传感器75二、差动变压器(DifferentialTransformerSensor)（一）结构原理与等效电路分气隙型和差动变压器两种。目前多采用螺管型差动变压器，可测量1—100mm范围内的机械位移。其基本元件有衔铁、初级线圈、次级线圈和线圈框架等。初级线圈作为差动变压器激励用，相当于变压器的原边，而次级线圈由结构尺寸和参数相同的两个线圈反相串接而成，相当于变压器的副边。螺管形差动变压器根据初、次级排列不同有二节式、三节式、四节式和五节式等形式。次级次级骨架初级衔铁次级次级初级76321212112(a)(b)(c)(d)12112差动变压器线圈各种排列形式1初级线圈；2次级线圈；3衔铁3三节式的零点电位较小，二节式比三节式灵敏度高、线性范围大，四节式和五节式改善了传感器线性度。77在理想情况下(忽略线圈寄生电容及衔铁损耗)，差动变压器的等效电路如图。初级线圈的复数电流值为～～～e2R21R22e21e22e1R1M1M2L21L22L1

e1初级线圈激励电压L1,R1初级线圈电感和电阻M1,M1分别为初级与次级线圈1,2间的互感L21,L22两个次级线圈的电感R21,R22两个次级线圈的电阻I1ω—激励电压的角频率；

e1—激励电压的复数值；由于Il的存在，在次级线圈中产生磁通Rm1及Rm2分别为磁通通过初级线圈及两个次级线圈的磁阻，N1为初级线圈匝数。78N2为次级线圈匝数。因此空载输出电压在次级线圈中感应出电压e21和e22，其值分别为其幅数输出阻抗或79副Ⅰ0e2e2e21e22x副Ⅱ原线圈

铁芯向右移，输出与e22

同极性；铁芯向左移，输出与e21同极性；输出电压的幅值取决于线圈互感即衔铁在线圈中移动的距离X。e2与e1的相位由衔铁的移动方向决定。80（二）

误差因素分析1、激励电源电压幅值与频率的影响激励电源电压幅值的波动，会使线圈激励磁场的磁通发生变化，直接影响输出电势。差动变压器激励频率的选择至少要大于衔铁运动频率的10倍，即可测信号频率取决于激励频率，一般在2kHz以内，另外还受到测量系统机械负载效应的限制。2、温度变化的影响在周围环境温度变化时，会引起差动变压器线圈电阻及导磁体磁导率的变化，从而导致输出电压、灵敏度、线性度和相位的变化。当线圈品质因数较低时，这种影响更为严重。在这方面采用恒流源激励比恒压源激励有利。适当提高线圈品质因数并采用差动电桥可以减少温度的影响。813、零点残余电压当差动变压器的衔铁处于中间位置时，由于对称的两个次级线圈反向串接，理论上其输出电压为零。但实际上，当使用桥式电路时，差动输出电压并不为零，总会有零点几mV到数十mV的微小的电压值存在，不论怎样调整也难以消除，我们把零位移时差动变压器输出的电压称为零点残余电压。零点残余电压使得传感器输出特性不过零点。0e2x-xe20如图是扩大了的零点残余电压的输出特性。零点残余电压的存在造成零点附近的不灵敏区；零点残余电压输入放大器内会使放大器末级趋向饱和，影响电路正常工作等。821基波正交分量2基波同相分量3二次谐波4三次谐波5电磁干扰ee1e20e2012345(a)残余电压的波形(b)波形分析tt图中e1为差动变压器初级的激励电压，e20包含基波同相成分、基波正交成分，二次及三次谐波和幅值较小的电磁干扰等。

83零点残余电压产生原因：①基波分量。由于差动变压器两个次级绕组不可能完全一致，因此它的等效电路参数（互感M、自感L及损耗电阻R）不可能相同，从而使两个次级绕组的感应电势数值不等。又因一次线圈中铜损电阻及导磁材料的铁损和材质的不均匀，线圈匝间电容的存在等因素，使激励电流与所产生的磁通相位不同。

因此，使得两个次级线圈中的感应电势不仅数值不等,相位也存在误差。因相位误差所产生的零点残余电压，无法通过调节衔铁的位移来消除。可见，无论衔铁如何移动都不可能使合成电势为零。

84零点残余电压产生原因：②高次谐波。高次谐波分量主要由导磁材料磁化曲线的非线性引起。由于磁滞损耗和铁磁饱和的影响，使得激励电流与磁通波形不一致产生了非正弦(主要是三次谐波)磁通，从而在次级绕组感应出非正弦电势。另外，激励电流波形失真，因其内含高次谐波分量，这样也将导致零点残余电压中有高次谐波成分。

85消除零点残余电压方法：1．从设计和工艺上保证结构对称性▲要求提高衔铁等重要零件的加工精度，两次级线圈绕法要完全一致，必要时对两次级线圈进行选配，把电感和电阻值十分接近的两线圈配对使用。▲磁性材料必须经过适当处理，以消除内部残余应力，并使其磁性能的均匀性及稳定性较好。▲结构上可采用磁路调节机构结构，以提高磁路的对称性。▲由高次谐波产生的因素可知，磁路工作点应选在磁化曲线的线性段。

86消除零点残余电压方法：2．选用合适的测量线路

选用合适的测量线路可减小零点残余电压输出。如采用相敏检波电路，可使经相敏检波后衔铁反行程时的特性曲线由1变到2，如图。这样的测量电路不仅可以鉴别衔铁移动方向，而且可以把衔铁在中间位置时，因高次谐波引起的零点残余电压消除掉。e2+x-x210相敏检波后的输出特性873．采用补偿线路①由于两个次级线圈感应电压相位不同，并联电容可改变其一的相位，也可将电容C改为电阻，如图(a)。由于R的分流作用将使流入传感器线圈的电流发生变化，从而改变磁化曲线的工作点，减小高次谐波所产生的残余电压。图(b)中串联电阻R可以调整次级线圈的电阻分量。

～e1e2CR～e1e2CR(a)(b)调相位式残余电压补偿电路88②并联电位器W用于电气调零，改变两次级线圈输出电压的相位，如图所示。电容C(0.02μF)可防止调整电位器时使零点移动。～e1e2CR1R2W电位器调零点残余电压补偿电路89R或L补偿电路～e1e2L0W～e1e2R0W(a)(b)③接入R0(几百kΩ)或补偿线圈L0(几百匝)。绕在差动变压器的初级线圈上以减小负载电压，避免负载不是纯电阻而引起较大的零点残余电压。电路如图。

90（三）测量电路差动变压器的输出电压为交流，它与衔铁位移成正比。用交流电压表测量其输出值只能反映衔铁位移的大小，不能反映移动的方向，因此常采用差动整流电路和相敏检波电路进行测量。1、差动整流电路根据半导体二极管单向导通原理进行解调的。91全波整流电路和波形图～e1RRcabhgfdeUSC衔铁在零位以下eabttteabttteabtecdtUSCtecdUSCUSCecd衔铁在零位以上衔铁在零位(b)(a)在f点为“＋”，则电流路径是fgdche

(参看图a)。反之，如f点为“–”，则电流路径是ehdcgf。922、相敏检波电路图为二极管相敏检波电路。图中UR为参考电压，其频率与U0相同，相位与U0同相或反相，并且UR>>U0，即二极管的导通与否取决于UR，工作原理：(1)衔铁在中间位置时，U0=0，电流表中无读数。(2)若衔铁向上移动：信号电压U0上正下负为正半周，假定参考电压UR极性为左正右负，此时D1、D2截止，而D3、D4导通，信号电流方向为

B→R→mA→FE→D3G→D4C电流表的极性是上正下负同理负半周结果相同(3)当被测量方向变化使衔铁下移时，输出电压U0

的相位与衔铁上移时相反。93（四）应用测量振动、厚度、应变、压力、加速度等各种物理量。1.差动变压器式加速度传感器用于测定振动物体的频率和振幅时其激磁频率必须是振动频率的十倍以上，才能得到精确的测量结果。可测量的振幅为(0.1～5)mm，振动频率为(0～150)Hz。

稳压电源振荡器检波器滤波器(b)(a)～220V加速度a方向a输出1211弹性支承2差动变压器942.微压力变送器将差动变压器和弹性敏感元件（膜片、膜盒和弹簧管等）相结合，可以组成各种形式的压力传感器。～220V1接头2膜盒3底座4线路板5差动变压器6衔铁7罩壳V振荡器稳压电源差动变压器相敏检波电路1234567这种变送器可分档测量(–5×105～6×105)N/m2压力，输出信号电压为(0～50)mV，精度为1.5级。

953.液位测量沉筒式液位计将水位变化转换成位移变化，再转换为电感的变化，差动变压器的输出反映液位高低。964.电感测厚仪L1、L2是电感器传感器的两个线圈作为两个桥臂；四只二极管D1-D4组成相敏整流器；RP1调零电位器，RP2调电流表M满度；

被测厚度正常时电桥平衡无电流，被测厚度变化时电流M表方向偏转根据电流方向确定衔铁移动方向。97三、电涡流式传感器

由法拉第电磁感应原理可知：一个块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作用切割磁力线运动时，导体内部会产生一圈圈闭和的电流，这种电流叫电涡流，这种现象叫做电涡流效应。根据电涡流效应制作的传感器称电涡流传感器;

电涡流传感器能够对被测量进行非接触测量;

形成电涡流必须具备两个条件：

①存在交变磁场

②导电体处于交变磁场中98工作原理

把一个扁平线圈置于金属导体附近，当线圈中通以交变电流I1时，线圈周围空间产生交变磁场H1，当金属导体靠近交变磁场中时，导体内部就会产生涡流I2，这个涡流同样产生反抗H1的交变磁场H2。99电涡流传感器的应用

电涡流传感器目前主要应用于测位移、振动、转速、测厚度、测材料、测温度、电涡流探伤。特点：做非接触式测量。应用（1）测厚：低频透射式涡流厚度传感器高频反射式涡流厚度传感器（2）测转速（3）测振动（4）电涡流探伤100第三节

电容式传感器优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。电容器是电子技术的三大类无源元件(电阻、电感和电容)之一，利用电容器的原理，将非电量转换成电容量,进而实现非电量到电量的转化的器件或装置，称为电容式传感器，它实质上是一个具有可变参数的电容器。101各种电容式传感器电容式接近开关电容式指纹传感器电容式变送器差压传感器102一、工作原理与类型（一）工作原理用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时，其电容C为

S—极板相对覆盖面积；δ—极板间距离；εr—相对介电常数；ε0—真空介电常数，ε0

＝8.85pF/m；ε—电容极板间介质的介电常数。δ、S和εr中的某一项或几项有变化时，就改变了电容C0、δ或S的变化可以反映线位移或角位移的变化，也可以间接反映压力、加速度等的变化；εr的变化则可反映液面高度、材料厚度等的变化。

Sδε103（二）类型变极距型传感器变面积型传感器变介质型传感器1041、变极距型电容传感器

图中极板1固定不动，极板2为可动电极(动片)，当动片随被测量变化而移动时，使两极板间距变化，从而使电容量产生变化，其电容变化量ΔC为δ2变极距型电容传感器1C-δ特性曲线C0—极距为时的初始电容量。ΔδC0δδCΔC1052、变面积型电容传感器

变面积型电容传感器中，平板形结构对极距变化特别敏感，测量精度受到影响。而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，成为实际中最常采用的结构，其中线位移单组式的电容量C在忽略边缘效应时为l—外圆筒与内圆柱覆盖部分的长度；r2、r1—圆筒内半径和内圆柱外半径。

当两圆筒相对移动Δl时，电容变化量ΔC为这类传感器具有良好的线性,大多用来检测位移等参数。

1063、变介电常数型电容传感器

变介电常数型电容式传感器大多用来测量电介质的厚度、液位，还可根据极间介质的介电常数随温度、湿度改变而改变来测量介质材料的温度、湿度等。若忽略边缘效应，单组式平板形厚度传感器如下图，传感器的电容量与被厚度的关系为

C1C2C3Cεδxδ动片厚度测量107若忽略边缘效应，单组式平板形线位移传感器如下图，传感器的电容量与被位移的关系为

l平板形C1C2C3CC4a、b、lx:固定极板长度和宽度及被测物进入两极板间的长度；δ:两固定极板间的距离；δx、ε、ε0:被测物的厚度和它的介电常数、空气的介电常数。

lx108若忽略边缘效应，圆筒式液位传感器如下图，传感器的电容量与被液位的关系为

液位传感器hC1CC2可见，传感器电容量C与被测液位高度hx成线性关系。

2r12r2hx109例：某电容式液位传感器由直径为40mm和8mm的两个同心圆柱体组成。储存灌也是圆柱形，直径为50cm，高为1.2m。被储存液体的εr＝2.1。计算传感器的最小电容和最大电容以及当用在储存灌内传感器的灵敏度(pF/L)解：pF110二、转换电路（一）

电容式传感器等效电路L包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感：r由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成；C0为传感器本身的电容；Cp为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容；Rg是极间等效漏电阻，它包括极板间的漏电损耗和介质损耗、极板与外界间的漏电损耗介质损耗，其值在制造工艺上和材料选取上应保证足够大。C0CpRgLrCeReLreCe供电电源频率为谐振频率的1/3~1/2111将电容式传感器接入交流电桥的一个臂(另一个臂为固定电容)或两个相邻臂，另两个臂可以是电阻或电容或电感，也可是变压器的两个二次线圈。其中另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有较高的灵敏度和稳定性，且寄生电容影响极小、大大简化了电桥的屏蔽和接地，适合于高频电源下工作。而变压器式电桥使用元件最少，桥路内阻最小，因此目前较多采用。（二）测量电路1、电桥电路特点：①高频交流正弦波供电；

②电桥输出调幅波，要求其电源电压波动极小，需采用稳幅、稳频等措施；

③通常处于不平衡工作状态，所以传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增大，且在要求精度高的场合应采用自动平衡电桥；

④输出阻抗很高(几MΩ至几十MΩ)，输出电压低，必须后接高输入阻抗、高放大倍数的处理电路。

112交流电桥的多种形式1132、二极管双T形电路电路原理如图(a)。供电电压是幅值为±UE、周期为T、占空比为50％的高频方波。若将二极管理想化，则当电源为正半周时，电路等效成典型的一阶电路，如图(b)。其中二极管VD1导通、VD2截止，电容C1被以极其短的时间充电、其影响可不予考虑，电容C2的电压初始值为UE。根据一阶电路时域分析的三要素法，可直接得到电容C2的电流iC2如下：C2UE(b)ＵｏRRRLC2C1VD1VD2iC1iC2++－＋±UE(a)C1C1C2UERLRLRRRR++++iC1iC2i’C1i’C2正半周负半周114同理，负半周时电容C1的平均电流:

在［R＋（RRL）/（R＋RL）］C2<<T/2时, 电流iC2的平均值IC2可以写成下式：

故在负载RL上产生的电压为

115电路特点：①线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响；②电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定；③输出阻抗为R，而与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点；④适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器。

1163、差动脉冲调宽电路又称差动脉宽(脉冲宽度)调制电路利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器得到对应被测量变化的直流信号。右图为差动脉冲调宽电路原理图，图中C1、C2为差动式传感器的两个电容，若用单组式，则其中一个为固定电容，其电容值与传感器电容初始值相等；A1、A2是两个比较器，Ur为其参考电压。R2双稳态触发器VD1VD2A1A2ABR1C1C2uABFQQUr差动脉冲调宽电路G117tuAuAuBuBuABuABUFUFUGUGUrUrUrUr-U1U1T1U1-U10000000000T2U1U1U1U1T1T2ttttttttt(a)(b)差动脉冲调宽电路各点电压波形图U0118UAB经低通滤波后，得到直流电压U0为UA、UB—A点和B点的矩形脉冲的直流分量；T1、T2—分别为C1和C2的充电时间；U1—触发器输出的高电位。C1、C2的充电时间T1、T2为设R1＝R2＝R，则

因此，输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。Ur—比较器的参考电压。119

设电容C1和C2的极间距离和面积分别为

、

和S1、S2，将平行板电容公式代入上式，对差动式变极距型和变面积型电容式传感器可得

可见差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容式传感器，并具有理论上的线性特性。这是十分可贵的性质。在此指出：具有这个特性的电容测量电路还有差动变压器式电容电桥和由二极管T形电路经改进得到的二极管环形检波电路等。

另外，差动脉冲调宽电路采用直流电源，其电压稳定度高，不存在稳频、波形纯度的要求，也不需要相敏检波与解调等；对元件无线性要求；经低通滤波器可输出较大的直流电压，对输出矩形波的纯度要求也不高。

1204、运算放大器式电路其最大特点是能够克服变极距型电容式传感器的非线性。其原理如图将Cx=代入上式得-A～uoCCxu∑运算放大器式电路原理图负号表明输出与电源电压反相。显然，输出电压与电容极板间距成线性关系，这就从原理上保证了变极距型电容式传感器的线性。这里是假设放大器开环放大倍数A=∞，输入阻抗Zi=∞，因此仍然存在一定的非线性误差，但一般A和Zi足够大，所以这种误差很小。121三、主要性能、特点和设计要点（一）

主要性能1、

静态灵敏度是被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比。对于变极距型其静态灵敏度kg为

可见其灵敏度是初始极板间距的函数，同时还随被测量而变化。减小δ可以提高灵敏度。但δ过小易导致电容器击穿（空气的击穿电压为3kV／mm）。可在极间加一层云母片（其击穿电压大于

103kV/mm）或塑料膜来改善电容器耐压性能。

122灵敏度取决于r2/r1，r2与r1越接近，灵敏度越高。虽然内外极筒原始覆盖长度与灵敏度无关，但不可太小，否则边缘效应将影响到传感器的线性。另外，变极距型和变面积型电容式传感器可采用差动结构形式来提高静态灵敏度，一般提高一倍。例如，对变面积型差动式线位移电容式传感器，其静态灵敏度为

对于圆柱形变面积型电容式传感器，其静态灵敏度为可见，与单组式相比灵敏度提高了一倍。变面积型和变介电常数型电容式传感器在忽略边缘效应时，其输入被测量与输出电容量呈线性关系，因而其静态灵敏度为常数123

显然，输出电容∆C与被测量之间是非线性关系。只有当(∆δ/δ<<1时，略去各非线性项后才能得到近似线性关系为C＝C0(∆δ/δ)。由于δ取值不能大，否则将降低灵敏度，因此变极距型电容式传感器常工作在一个较小的范围内（1cm至零点几mm），而且∆δ最大应小于极板间距δ的1/5～1/10。2、非线性对变极距型电容式传感器，当极板间距变化时，其电容量的变化：124可见，差动式的非线性得到很大改善，灵敏度也提高了一倍。如果电容式传感器输出量采用容抗XC=1/(ωC)，那么被测量∆δ就与∆XC成线性关系，不需要满足∆δ<<δ这一要求了。在忽略边缘效应时，变面积型和变介电常数型（测厚除外）电容式传感器具有很好的线性，但实际上由于边缘效应引起极板或极筒间电场分布不均匀，导致非线性问题仍然存在，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。

采用差动形式，并取两电容之差为输出量∆C125（二）

特点1．受温度影响极小电容式传感器的电容值仅取决于电极的几何尺寸，一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。2．结构简单，适应多种场合，具有平均效应这种传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度；可做得体积很小，易于实现某些特殊要求的测量；电容式传感器一般用金属作电极、以无机材料作绝缘支承，因此能工作在高温、低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可承受很大的温度变化，承受高压力、高冲击、过载等；能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。当被测试件不允许采用接触测量时，电容传感器可完成测量任务。电容式传感器在采用非接触测量时，具有平均效应，可减小工件表面粗糙度等对测量的影响。1263．动态响应好电容式传感器由于极板间的静电引力很小，（约几个10-5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几MHz的频率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小