CN114952898B 设备制造装置、设备制造方法、教学位置调整方法及计算机可读取记录介质 （佳能特机株式会社）

201811560350.82018.12.20JP2015032617A,2015.02.16WO2010082490A1,2010.07.22机器人的动作，在上述机器人手部设置有标记上述机器人的动作的控制的多个教学位置相关定位置的状态下，基于使用上述标记部测定出2及上述控制部包括存储部，上述存储部存储与用于上述机器人的上述控制部基于在上述机器人手部设置在规定位置的状态下测定出的与上述机器人手部的位置相关的信息，分别对上述存储部中存储的与上述多个教学位置相关的信息中上述多个腔室包括进行对第1被搬送体的处理的处理室、收纳第2被搬送体的第2被搬在上述通道室设置有测定机构，上述测定机构用于测定上述规定位置信息取得阶段，将上述机器人手部设置于规定位置教学位置补正阶段，基于在上述位置信息取得阶段取得的与上述机器人手部的于上述规定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少两个设置于上述规定位置的状态下测定出的上述机器人手部的位置偏移量取得阶段，基于在上述初始位置存储阶段存储于上述存储部的上述第1信息和在3上述设备制造方法还包括位置偏移量取得阶段，在上述位置偏述存储部中存储的与该教学位置相关的信息以及在上述机器人手部设定于该规定位置的状态下测定出的与上述机器人手部的位置相关的信息，取得上述机器人手部的位置偏移定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少位置信息取得阶段，将上述机器人手部设置于规定位置教学位置补正阶段，基于在上述位置信息取得阶段中取得的与上述机手部设置于上述规定位置的状态下测定出的上述机器人上述位置偏移量取得阶段，基于在上述初始位置存储阶段存储于上述存储部的上述第1信述规定位置的位置的其他多个上述教学位置相关的信息中的至少两个进上述教学位置调整方法还包括位置偏移量取得阶段，在上于上述存储部中存储的与该教学位置相关的信息以及在上述机器人手部设定于该规定位415.一种计算机可读取的记录介质，记录有用于使计算机执行设备制造装置中的教学上述教学位置调整方法是权利要求8至14中任一项所述的5器人手臂或机器人手时，为了这样的机器人能够将基板或掩模搬送到正确的目标位置，在搬送动作开始前进行用于示教机器人的搬送动作的起点和步骤（搬送轨道）的教学[0006]与通过教学作业而被示教的机器人手的待机位置以及搬送位置相关的信息被存6施方式以及实施例例示性地表示本发明的优选的结构，本发明的范围并不限定于这些结[0021]图1的生产线例如用于智能手机用的有机EL显示装置的显示面板的制造。在智能手机用的显示面板的情况下，例如在全尺寸（约1500mm×约1850mm）或半切割尺寸（约中央的搬送室13。7掩模贮存腔室12的其他的盒中的新的掩模搬送到室15在基板10的流动方向上将来自上游侧的基板10向成膜机组1传递，该缓冲室16用于将在该成膜机组1中完成了成膜处理的基板10向下游侧的其他成膜机组传递。搬送室13的机[0034]机器人14包括设置在搬送室13的底面的基座部21、从基座部21向铅垂方向或Z轴[0035]机器人手臂部23能够具有多个手臂经由关节部以能够相互转动的方式连结的构8[0037]具有这样的构造的本发明的机器人14通过调节以轴部22为中心的第1手臂231的器人14的搬送动作的程序的存储部251、和执行存储于该存储部251的程序来控制机器人14的处理器252。作为计算机，可以使用通用的个人计算机，也可以使用嵌入式计算机或PLC位置以及搬送位置）相关的信息。控制部25基于存储部251所存储的与教学位置相关的信[0043]升降驱动部221设置于机器人14的基座部21，通过包含旋转电机的滚珠丝杠机构9位置相关的信息作为教学位置的信息存储在控制部25的存储部25器人14设置在成膜机组1时或者为了维护而将机器人手臂部23或机器人手部24除去或更换14的机器人手臂部23和/或机器人手部24旋转或伸缩，但也可以通过使用设置于各教学位器识别设置在移动到目标位置的机器人手部24上的标志，得到该教学位置的坐标值的方[0057]在进行机器人14的最初的设置或者机器人手臂部23/机器于使机器人手部24移动到该教学位置的命令向各关节部的驱动部以及升降驱动部221下的位置偏移，在基板或掩模的搬送过程中与生产线的其他装置等碰撞的可能性进一步变中收纳使用前后的掩模的位置、在通道室15以及缓冲室16中交接基板的位置等多个位置，[0067]在机器人14的机器人手部24设置有用于测定机器人手部24的旋转角或机器人手机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角。[0068]标记部241以能够测定以贯穿机器人手部24的假想轴线为中心的旋转角或旋转角[0073]本发明的机器人系统30的检测机构31通过检测机器人手部24的标记部241，能够[0074]检测机构31在原点位置设置在与标记部241相对应的位置，以在将机器人手部24[0075]检测机构31例如优选为在标记部241包含多个单独的标记的情况下能够拍摄单独等，机器人手部24也不能移动到碰撞前的原点位置通过检测机构31再次检测出标记部在存储部251中的Z轴方向的基准位置信息和与碰撞后的Z轴方向的位置有关的信息而得手部24的标记部241的位置，计算机器人手部24的基准位置，并将其预先存储在控制部25手部24再次设置到原点位置的控制之后，通过检测机构31再次检测出标记部241的偏移的[0081]这样的标记部241的位置检测方法也能够应用于标记部241为沿着机器人手部24[0083]在将机器人手部24设置在原点位置之后，利用作为检测机构31的相机312对在机作为机器人手部24的基准位置的信息存储在控制部25的存储部2人手部24设置在原点位置的控制之后，利用相机312对机器人手部24的线状标记2412进行测定的与位置相关的信息和预先存储在存储部251中的与基准位置相关的信息，计算机器针对其他多个教学位置的再教学作业，仅通过教学位置的确认作业就能够使装备再运转，[0090]以下，对基于机器人手部24的原点位置处的位置偏移量来调整成膜机组1内的其[0093]之后，在由于在搬送过程中由于与成膜机组1的其他部分的碰撞等而在机器人14[0094]控制部25根据与机器人手部24的再次测定的位置相关的信息和预先存储在控制部25的存储部251中的与基准位置相关的信息，计算碰撞前后的机器人手部24的位置偏移14动作，由此确认机器人手部24是否能够通过教学位置的补正而与成膜机组1的其他部分[0099]在本实施例中，