CN114981945B 等离子涂覆系统和用于对工件进行涂覆的方法 （塞梅孔公司）

2022.07.06PCT/EP2020/0863512020.12.16WO2021/139977DE2021.07.15CN202358880U,2012.08.01US2010139557A1,2010.06.10US6443686B1,2002.09.03等离子涂覆系统和用于对工件进行涂覆的本发明涉及一种用于将工件(30)保持在处发明的目的是允许精确调节工件(30)的位置的一支承元件(22)和高度可调节的第二支承元件支承元件(22)的枢转轴线X布置成与第二支承元2保持装置(10)，所述保持装置(10)用于在等离子沉积过程期间将所述用于所述托盘(72)的高度可调节的第一支承元件(22)和高度可调节的第二支承元件其中，支承元件(22、48)中的每个支承元件包括至少其中，相应的所述第一肢部元件和相应的所述第二肢部并且其中，所述第一支承元件(22)的枢转轴线(X)布置成与所述第二支承元件(48)的保持装置(10)在所述第一位置中布置在所述处理室的内部并且在所述第二位置中至少部其中，所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)包括至少一个轴向弹簧(38)，所述轴向弹簧(38)用于在所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)的所所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)包括调节元件(54)，所述调节元所述调节元件(54)设计成改变所述第一肢部元件与所述第二肢部元件之间的枢转角并且其中，径向弹簧(42)布置成在所述第一肢部元件和/或所述第二肢部元件与所述所述第一肢部元件是叉状的并且具有第一叉状延伸部和第二叉并且其中，所述第二肢部元件接合在所述第一叉状延伸部与所述第二叉状延伸部之所述托盘(72)在横向于竖向方向的侧向方向上能够至少部分地进行侧3所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)的至少所述第一肢部元件和所述所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)除了包括所述第一肢部元件和所述第二肢部元件之外还包括第三肢部元件和第四其中，所述第三肢部元件和所述第四肢部元件联接成能够并且其中，所述第三肢部元件和所述第四肢部元件的枢转轴其中，所述保持装置(10)布置成能够在至少一个滚子(16)上移待涂覆的所述工件(30)在根据权利要求1至11中的任一项所述的等离子涂覆系统的处理室中布置在所述保持装置(10)的所述托盘(72并且在所述工件(30)布置在所述托盘(72)上时通过等离13.一种用于在等离子沉积过程期间将工件(30)保持在处理室中的保持装置(10)，所用于所述托盘(72)的高度可调节的第一支承元件(22)和高度可调节的第二支承元件其中，支承元件(22、48)中的每个支承元件包括至少其中，相应的所述第一肢部元件和相应的所述第二肢部其中，所述第一支承元件(22)的枢转轴线(X)布置成与所述第二支承元件(48)的枢转并且其中，所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)包括至少一个轴向弹簧(38)，所述轴向弹簧(38)用于在所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)的4[0002]用于保持工件的装置用于接纳工件，使得工件被保持在处理室中的特定位置[0004]DE10156615B4公开了一种基底保持台，该基底保持台包括具有剪刀式机构的台支承元件中的每个支承元件包括至少一个第一肢部元件和至少一个第二肢部元件，其中，5[0011]第一支承元件和第二支承元件相对于彼此定位成使得第一支承元件的枢转轴线[0013]可以不同地设计第一支承元件和/或第二支承元件的高度可调节性。根据有利的且因此以便改变第一肢部元件和第二肢部元件相对于[0016]在优选的实施方式中，第一支承元件和/或第二支承元件包括至少一个轴向弹簧元件，该轴向弹簧元件用于在第一支承元件和/或第二支承元件的枢转轴线的方向上施加6弹簧元件的相反的弹簧作用，可以特别有利地减小第一肢部元件和/或第二肢部元件与杆簧元件在轴向方向上对锥形元件进行作用并且另一方面锥形元件使肢部元件和杆元件相此实现轴向弹簧元件在锥形元件上的稳固和居中定位。肢部元件可以优选地包括锥形孔，使得肢部元件与杆元件之间在径向方向和轴向方向上的间隙减小至特定程度。特别优选形状以镜像对称的方式彼此相对地定向并且轴向弹簧元件和锥形元件从两个相反侧部向部元件和/或第二肢部元件与杆元件之间径向地作用。径向弹簧元件借助于预加载来减小7可以例如与叉状臂之间的距离相适应，使得宽度优选地为距离的至少95并且特别优选地为距离的至少98由此叉状臂与第二肢部元件之间的间隙最小化。叉状臂例如提供的第一肢部元件和第二肢部元件以可枢转的方式联接在两个相互间隔开侧向调节部段可以以可移动的方式连接至第一支承元件和/或第二支承元件或固定部段。沿侧向方向滚动的所述滚子可以使可侧向调节部段与滚子一起以线性方式移动。优选地，[0023]根据优选的实施方式，第一支承元件和/或第二支承元件的至少第一肢部元件和外，支承元件可以以可枢转的方式附接至的并且可以侧向移动的托盘也可以由石墨构成。8的大的温度波动。如果在两次涂覆过程之间处理室内的温度降低并且/或者如果将保持装的第一方面的特征产生的上述优点也适用于本发明的该[0030]在优选的实施方式中，第一支承元件和/或第二支承元件除了包括第一肢部元件件的枢转轴线布置成与第一肢部元件和第二肢部元件的枢转轴线平行并且相距一定距离。三肢部元件和第四肢部元件相对于第一肢部元件和第二肢部元件以镜像对称的方式布置，9[0046]图1示出了用于保持工件的装置10的第一示例性实施方式，该装置在下面被称为承元件22以可枢转的方式附接至下部结构12和托叉状部的两个外侧部上附接在杆元件34上(参见图4)，并且另一方面在纵向肢部元件26的外侧部上附接在纵向紧固轴36上(参见图2)。轴向夹持单元37在杆元件34上和在纵向紧固轴36上沿轴向方向对纵向肢部元件的铰接连接部[0055]第二支承元件48包括被设计成镜像对称的两个横向支承单元52、以及调节元件[0056]两个螺钉58以沿轴向方向彼此间隔开的方式沿着横向枢转轴线Y附接成使得：在每种情况下，两个叉状延伸部28b经由一个螺钉58以可枢转的方式联接至一个单个延伸部纹螺母66的运动在调节元件54的旋转期间是相反的并且两个螺纹螺母66朝向彼此移动或承元件48以可枢转的方式附接至下部结构12和托的一个偏心杆的旋转可以因此将搁置在偏心杆86上的支承板92相对于紧固板82沿横向方互连接，横向紧固杆62和纵向紧固杆36以可旋转的方式安装在紧固块18a、18b中(参见图于高度调节的方向平移地移位，并且因此可以使横向肢部元件56的铰接连接部弯曲或伸[0068]图5示出了具有轴向夹持单元37的两个纵向肢部元件26中的一个纵向肢部元件的线X的方向上施加力。两个轴向夹持单元37在两侧夹持叉状件并且使杆元件34在纵向肢部[0069]图6示出了纵向肢部元件26内部的径向弹簧42的布置结构，更具体地示出了单个向支承单元24之间和横向支承单元52之间的间隔以及对第一支承元件22的运动的阻尼导[0073]涂覆系统20被设计用于热丝活化CVD涂覆方法。纤丝96附接在两个相互平行的平[0074]图7示出了由保持装置10保持在纤丝96的两个平面之间的一排工件30。导引凹槽位于配装位置中并且为此目的在拉离基部上滚动离开涂覆系统20。为了对工件30进行涂XY