CN115165317B 一种获取光学计量系统入射光的光斑信息、测量焦面及拟合波段的方法 （上海精测半导体技术有限公司）

一种获取光学计量系统入射光的光斑信息、本发明涉及一种获取光学计量系统入射光动过程中多次采集光斑的反射光以获取多组与通过统一标准的测试方式与评价方式得到光斑尺寸与位置，不再依赖光斑图像的人为主观评2步骤1，获取标准测试样件，所述标准测试样件上设置有包括特征图形结构的待测区所述移动为多次等步距移动或者连续移动，并且每次采集所述光斑基于多组所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数确定所述可靠测试获取数据评估基准值，获取所述数据评估基准值包括所述待测区域的中心区域时获取所述测量值或者所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信基于所述数据评估基准值设置第一阈值范围，所述测量值貌参数测量值的可信度评价参数的值在所述第一阈值范围内对应的所述标准测试样件的获取一阶导数的值，所述获取一阶导数的值包括：基于所线或剩余多组所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数曲线的一阶导数曲3基于所述数据评估基准值设置第一阈值范围，所述测量值貌参数测量值的可信度评价参数的值在所述第一阈值范围内对应的所述标准测试样件的获取一阶导数的值，获取一阶导数的值包括获取多组所述一阶导数的值为所述多组所述测量值的曲线的一阶导数曲线的值或所述多组所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数曲线的一阶导数曲线的值，设置第二阈值范将所述第一可靠测试区间和所述第二可靠测试区间的重合区间作为测区域与所述可靠测试区间在所述标准测试样件的移动所述步骤4还包括基于所述待测区域的尺寸和所述可靠测试区间确定所述光斑的位步骤3''，采用权利要求1至10中任一项所述的获取45[0003]目前评价光斑尺寸与位置的常用方式是通过CCD相机对准系统直接得到光斑的图[0005]根据本发明的第一方面，提供了一种获取光学计量系统入射光的光斑信息的方6述反射光的偏振幅值比以及所述反射光的相位比中至[0017]基于多组所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数确定所述可靠所述待测区域的中心区域时获取所述测量值或者所述特征图形结构的形貌参数测量值的的形貌参数测量值的可信度评价参数的值在所述第一阈值范围内对应的所述标准测试样数曲线或剩余多组所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数曲线的一阶导剩余多组所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数曲线的一阶导数曲线的的形貌参数测量值的可信度评价参数的值在所述第一阈值范围内对应的所述标准测试样曲线或多组所述特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数7所述一阶导数的值为所述多组所述测量值的曲线的一阶导数曲线的值或所述多组所述特[0027]将所述第一可靠测试区间和所述第二可靠测试区间的重合区间作为可靠测试区[0029]所述步骤4还包括基于所述待测区域的尺寸和所述可靠测试区间确定所述光斑的最小尺寸的光斑对应的垂向距离，由所述最小尺寸的光斑对应的垂向距离得到测量焦面，8[0040]图1为本发明提供的一种获取光学计量系统入射光的光斑信息的实施例的流程[0042]图3为本发明提供的标准测试样件上的待测区域与光斑相对X/Y向移动的实施例[0048]图1为本发明提供的一种获取光学计量系统入射光的光斑信息的方法的流程图，[0049]步骤1，获取标准测试样件，标准测试样件上设置有包括特征图形结构的待测区移动过程中多次采集光斑的反射光以获取多组与特征图形结构相关的测量参数的测量值，9测区域内部，系统的数据接收端接收到的信息完全来自光与待测区域内部结构作用的信[0062]本发明提供的实施例1为本发明提供的一种获取光学计量系统入射光的光斑信息[0063]步骤1，获取标准测试样件，标准测试样件上设置有包括特征图形结构的待测区移动过程中多次采集光斑的反射光以获取多组与特征图形结构相关的测量参数的测量值，把标准测试样件上的待测区域锁定在量测系统焦面[0071]如图3所示为本发明实施例提供的标准测试样件上的待测区域与光斑相对X/Y向[0077]在一种可能的实施例方式中，获取光学计量系统入射光的光斑信息的方法还包量值的可信度评价参数的值在第一阈值范围内对应的标准测试样件的移动区间为可靠测导数曲线或剩余多组特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数曲线的一阶导数或者特征图形结构的形貌参数测量值的可信度评价参数的值在第一阈值范围内对应的标的值为多组测量值的曲线的一阶导数曲线的值或多组特征图形结构的形貌参数测量值的及周期确定移动次数，最终得到可靠测试区间在标准测试样件的移动方向上的长度为移动采集光斑反射光的时间间隔，得到可靠测试区间在标准测试样件的移动方向上的长度为[0090]在一种可能的实施例方式中，步骤4还包括基于待测区域的尺寸和可靠测试区间确定光斑的位置：以标准测试样件的两个相互正交的移动方向相反的方向分别为x轴正方[0091]在本发明提供的一种具体实施例中，选取反映关键尺寸参数测量可信度的值：[0093]光斑尺寸=待测区域在标准测试样件的移动方向上的长度一可靠测试区间在标准[0097]本发明提供的实施例2为本发明提供的一种获取光学计量系统测量焦面的方法的进行扫描量测来寻找出光斑尺寸最小的垂向测试面，在线更新该量测系统的最佳测试焦面的方法的相关技术特征可参考获取光学计量系统入射光的光斑信息的方法的相关技术[0104]本发明提供的实施例3为本发明提供的一种获取光学计量系统拟合波段的方法的[0107]步骤3''，采用本发明实施例提供的一段的方法的相关技术特征可参考获取光学计量系统入射光的光斑信息的方法的相关技术现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定[0115]这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或其他可编