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安徽省地方计量技术规范白光干涉轮廓仪校准规范引言...........................................45、、67、、8校准结果的表达.............................................................. 8 9 24测量标准及其他设备名称技术要求1微纳米台阶高度标准样板2微纳米线间隔标准样板3单晶硅超光滑样块校准前首先检查外观和各部分相互作用，确定没有影响计量特性因素后再进行校垂直（Z）方向示值误差使用白光干涉轮廓仪对微纳米台阶高度标准样板的台阶高度直接测量后得出。如图5所示，选取微纳米台阶高度标准样板的中心测量线作为台。Hj——台阶高度单次测量值，μm；45H——台阶高度测量结果，μm；H——台阶高度测量结果，μm；H0——台阶高度标准样板的标准值，μm。6水平（X、Y）方向示值误差使用白光干涉轮廓仪对微纳米线间隔样板的线间隔直图6微纳米线间隔样板有效测量区域选择示意图P－线间隔尺寸实测值；Pi－m个周期线间隔第i次测量结果P——线间隔测量结果，μm；=P-P0（7）P——线间隔测量结果，μm；s——白光干涉轮廓仪水平（X、Y）方向示值重复性，μm； 8=Ra-Ra（9）aRa——表面粗糙度测量结果，nm；Ra0——单晶硅超光滑样块有效区域表面粗糙度，nm。Ra——表面粗糙度测量结果，nm；H——台阶高度测量值，μm；H0——台阶高度标准样板的标准值，μm。A.5.1垂直方向测量重复性引入的标准不确定度u1(H)123412345实测值/μm6789实测值/μmHj——台阶高度单次测量数据，μm； H——台阶高度测量平均值，μm；A.5.2垂直方向测量分辨力引入的标准不确定度u2(H) 不确定度分量ui不确定度来源不确定度分量值台阶高度测量值引入的不确定度分量垂直方向测量重复性引入的不确定度垂直方向测量分辨力引入的不确定度（忽略不计）台阶高度标准值引入的不确定度分量u2温度变化导致台阶高度样板尺寸变化引入的不确定度b）实验室名称和地址；h）如果与校准结果的有效性和应用有关时，应对被校样品的抽样程序进行j）本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明；p）未经实验室书面批准，不得部分复制证书的声明。校准结果1垂直（Z）方向示值误差测量不确定度：2垂直（Z）方向示值重复性3水平（X、Y）方向示值误差测量不确定度

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