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US2022063022A1,2022.03.03一种耦合多种激光的异步复合抛光方法及本发明提供了一种耦合多种激光的异步复2述待抛光构件的表面粗糙度大于或等于3μm时，采用超快激光对所述待抛光构件的表面进步骤S4、根据所述第二检测结果和预设粗糙度进行采用红外皮秒激光对所述待抛光构件的表面进行抛光，脉冲宽度为8ps，激光功率为采用红外连续激光对所述待抛光构件的表面进行抛光，激光功率为200每完成一次抛光后将所述待抛光构件旋转90°。5.一种耦合多种激光的异步复合抛光装置，用于实现如权利要求1_4任一项所述的耦所述第二激光抛光模块(3)用于实现连续激光所述第三激光抛光模块(4)用于实现短脉冲激光所述表面粗糙度检测模块(5)用于检测待抛光构件的表面二激光抛光模块(3)、所述第三激光抛光模块(4)和所述表面粗糙度检测模块(5)均位于所3粗糙度检测模块(5)包括激光共聚焦显微镜或粗糙4[0004]本发明解决的问题是如何提供一种能够兼顾较大的表面粗糙度降低率以及较小当所述待抛光构件的表面粗糙度大于或等于3μm时，采用超快激光对所述待抛光构件的表590°。6[0034]图7为本发明实施例中Stavax_ESR马氏体模具钢耦合多种激光的异步复合抛光的[0035]图8为本发明实施例中Stavax_ESR马氏体模具钢经过耦合多种激光的异步复合抛7当所述待抛光构件的表面粗糙度大于或等于3μm时，采用超快激光对所述待抛光构件的表[0045]本发明实施例通过检测待抛光构件的表面粗糙度，获取待抛光构件的表面粗糙[0048]根据待抛光构件的表面粗糙度选择不同的抛光工艺路线能够实现获得较大的表8[0051]当待抛光构件的表面粗糙度大于或等于3μm时，采用超快激光对所述待抛光构件90°。9[0067]图3为本发明实施例提供的耦合多种激光的异步复合抛光方法的示意图，针对表机制(连续激光抛光)和浅表层熔化机制(短脉冲激光抛光)之后，充分利用不同机制的特通过表面粗糙度检测模块5判断待抛光构件的表面粗糙度，然后根据表面粗糙度的检测结第一聚焦场镜23后形成第一聚焦光斑；所述第二激光抛光模块3包括红外连续光纤激光器第二聚焦场镜33后形成第二聚焦光斑；所述第三激光抛光模块4包括红外纳秒光纤激光器[0087]第一激光抛光模块2、第二激光抛光模块3和第三激光抛光模块4射出的激光焦距激光抛光模块4在光路上的设计是完全独立的，可以根据待抛光构件的材料选择不同的工[0094]1.3、采用所述红外连续激光对所述待抛光构件的表面进行抛光，激光功率为[0097]图8为Stavax_ESR马氏体模具钢经过本实施例耦合多种激光的异步复合抛光方法

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