CN118111582B 一种负温度传感器、制备方法以及检测装置 （武汉大学）

JPH02186601A,1990.07.20US2017219440A1,2017.08.032所述电极层采用磁控溅射法在氩气氛围中制备得到，具体参数包括，射频功率600~4.根据权利要求1所述的负温度传感器，其特征在于，所述结合层为厚度50~100nm的所述第一触点和所述第二触点分别设置在基材和所述地线和所述信号线分别与所述第一触点和所述第二触点连接，所述3[0002]航空航天产业是中国的优势产业，发动机在航空航天军[0014]本发明也提供了一种负温度传感器的制备方法，包括在基材表面依次制备传感4为2h～10h，靶材与基底间距为2cm～7cm，制备的传感层为氮化物时通入气体为氩气和氮第一引出孔后与所述检测器连接并接地，所述信号线穿过第二引出孔后与所述检测器连5[0036]图8示出了实施例6的负温度传感器在测量频率为10kHz下不同温度时的电容变[0037]图9示出了实施例6的负温度传感器在测量频率为10kHz下不同温度时的介电常[0045](1)采用磁控溅射法，在不锈钢板SS1表面沉积厚度为12.4μm的LiNbO3形成传感积厚度6.7μm的AlCrNbSiTiTaY形成电极层，具体参数包括，射频功率700W，气体压强1.55Pa，沉积温度60℃,沉积时间30min，靶基距离78mm；同时，在电极层沉积最初始的[0050](1)采用磁控溅射法，在不锈钢板SS2表面沉积厚度为12.4μm的LiNbO3形成传感6[0055](1)采用磁控溅射法，在不锈钢板SS3表面沉积厚度为12.4μm的LiNbO3形成传感1(c)所示，图2(a)～图2(b)也示出了实施例3的电极层的C、O元素分布。可以看出[0060]为了进一步判断结合层以及沉积制备电极层对于传感器性能的影响，在实施例1~实施例3的制备过程的步骤(1)在不锈钢板表面沉积得到传感层后刷涂银浆后烘干得到~3的传感器在测试完超声性能后，使用清洗剂如丙酮、乙醇和水等将银浆去除后，再在LiNbO3传感层上依次沉积结合层和电[0061]测试了实施例与相对应的对比例的超声信号评价了传感器的性能，结果如图3所7外壳9的负温度传感器置于高低温交变箱12的待测介质11中，设置温度依次为-60℃、-20值几乎无变化，即所制备的传感器具有负温度稳定性，然而出现了声时延迟现象，从8积厚度6.7μm的AlCrNbSiTiTaY形成电极层，具体参数包括，射频功率700W，气体压强1.55Pa，沉积温度60℃,沉积时间30min，靶基距离78mm；同时，在电极层沉积最初始的[0075]随后测试了本实施例的负温度传感器的超声信号随温度变化的性能，结果如图7所示。可见从环境温度从-60℃升至140[0078](1)采用磁控溅射法，积厚度9.7μm的AlCrNbSiTiTaY形成电极层，具体参数包括，射频功率700W，气体压强1.55Pa，沉积温度60℃,沉积时间30min，靶基距离73mm；同时，在电极层沉积最初始的9以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，