《集成电路测试》课件 二、晶圆烘烤实施

项目11晶圆测试工艺【任务实施】晶圆烘烤实施1.领料确认01任务领取与确认测试员需严格按照领班安排和晶圆烘烤任务工单，准确领取所需的晶圆烘烤物料，并对所领物料进行初步的确认工作，确保物料准备无误。02随件单详细核对领取物料后，必须与随件单逐一核对物料的具体规格、批号及领取数量，同时仔细检查花篮中的晶圆排列顺序和晶圆印章批号是否完全对应。03晶圆至高温花篮测试员到达工位后，需依次小心取出花篮内的晶圆，并严格按照晶圆的片号，准确放入高温花篮对应的晶圆槽内，完成精准转移。04高温花篮入烘箱晶圆完全转移至高温花篮后，将高温花篮平稳放入烘箱中准备烘烤。此步骤需确保花篮放置稳固，避免后续烘烤过程发生意外。05安全操作防范在烘烤前后取放高温花篮时，操作人员必须佩戴专用的高温手套以防止严重烫伤。此外，取放和转移高温花篮时，务必使用专用工具进行妥善处理。晶圆转移至高温花篮将高温花篮放入烘箱中【任务实施】晶圆烘烤实施2.参数设置02030104在进行参数设置前，必须严格参照晶圆烘烤任务工单或随件单上的工艺与技术要求，明确本次烘烤任务所需达到的目标温度和持续的时间标准。操作盘准确输入参数输入完毕后，切勿直接启动设备，应仔细再次核对显示屏上的温度和时间参数，防止因人为输入错误导致晶圆烘烤质量不达标或损坏。启动前状态确认完成烘烤参数设置及多重复核后，还需全面检查烘箱门的密封状态及设备整体运行指示灯，确认所有外部与内部条件均满足后，方可准备进入设备运行阶段。参数二次复核依据工单设定测试员需在高温烘箱的操作盘上进行精确操作，将确认好的烘烤温度和时间数据准确输入到系统中，确保设定值与工单要求完全一致。设置烘烤参数【任务实施】晶圆烘烤实施4．晶圆测试站点作业--打点站与烘烤站作业3.设备运行02040103检验重点在于仔细检查晶圆表面的墨点状态，确认其是否已经正常完全固化，同时借助强光等观察有无开裂现象，确保最终的烘烤质量符合标准。烘箱加温烘烤烘烤程序顺利结束后，操作人员需规范安全地打开高温烘箱门，小心取出高温花篮并平稳放置在专用的工序桌上，准备进行后续细致的质量检验工作。墨点质量仔细检查取出花篮准备检查当温度和时间参数设置完成且经确认无误后，高温烘箱正式开始自动加温程序，对内部的晶圆执行既定的烘烤工艺，期间需保持设备稳定运行监控。当晶圆墨点质量检查全部完成并确认合格无异常后，操作人员需要将完成高温烘烤的晶圆依次、妥善、轻柔地导回常温花篮中，以便顺利流转至下一道工序。晶圆导回常温花篮检查晶圆墨点质量【任务实施】晶圆烘烤实施4.结批02030104所有烘烤与检验流程完成后，操作人员必须使用专用的晶圆镊子，小心谨慎地从高温花篮中依次夹取晶圆，操作时需平稳，避免对晶圆表面造成物理划伤或结构损坏。批号与片号核对各项信息核对确认无误后，需依次将晶圆精准、平稳地放入常温花篮中对应编号的晶圆槽中，始终保证晶圆在常温花篮内的排列顺序与初始工艺规范要求严格保持一致。填写单据完成结批本批次所有晶圆全部完成烘烤并经过二次确认无任何异常情况后，操作员需如实详尽填写随件单上的相关信息，详细记录本次烘烤操作的具体情况，正式完成晶圆烘烤结批。放入常温花篮槽内高温花篮晶圆夹取在夹取晶圆的