JJF(鄂) 113-2024 数字集成电路标准样片校准规范

湖北省地方计量技术规范JJF（鄂）113—2024数字集成电路标准样片校准规范2024-05-14发布2024-09-01实施湖北省市场监督管理局发布JJF（鄂）113－2024数字集成电路标准样片校准规范JJF（鄂）113－2024归口单位：湖北省市场监督管理局主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七〇九研究所武汉大学JJF（鄂）113－2024本规范主要起草人：李轩冕（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）周厚平（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）张明虎（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）梁康（武汉大学）胡勇（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）吴改（武汉大学）丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）曾文仕（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）JJF（鄂）113－2024I （1） （1） （1） （1） （2） （2） （3） （3） （3） （4） （9） （10） （11） （16） （18）JJF（鄂）113－20241数字集成电路标准样片校准规范JJF（鄂）102-2023数字集成电其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。数字集成电路标准样片（以下简称标准样片）是已确定一种或多种参数的专用集成电{地{地标准样片图1标准样片管脚定义图2表1标准样片计量特性参数名标称值最大允许误差测量条件VVOL=VOH=1.5V5.0V5.0VIOL=100uA2.0VIOH=-300uA4.9VIOH=-100uAIOLVOL=1VIOH-10μAVOH=4V-100μA-1mA-10mA-100mAIDD20μAVcc1=2VVcc2=5V200μA2mA20mA200mAtPLH3ns60nstPHL3ns60ns注：标准样片的标准值和测量不确定度以最终校准结果赋值为准。a)环境温度：20℃~28℃;b)相对湿度：3080%;d)其他：周围环境无影响仪器正常工作的机械振动和电磁场干扰。3测量用标准设备应经过法定计量技术机构检定或校准，满足校准使用要求，并在有效6校准项目和校准方法表2校准项目一览表序号校准项目校准方法条款16.2.126.2.236.2.346.2.45IOL6.2.56IOH6.2.67IDD6.2.78tPLH6.2.89tPHL6.2.94数字多b)数字多加载板通道—O<控制端输入端C—接地端通道—O<控制端输入端C—接地端输出端—ODPS标准样片图2VIL/VIH参数校准连接图b)标准样片输入端同时连接电压源与数字多用表，输出端和控制端连接测试系统数JJF（鄂）113－20245+-+-加载板通道—O4—通道—O4—DPS标准样片图3VOL/VOH参数校准连接图控制器控制电压电流源调整负载电流大小直至电流表读取的示值为规定的负载电连，其中一路数字多用表使用电流档与电压电流源和标准样片输出端进行串联，JJF（鄂）113－20246控制器控制电压电流源调整负载电流大小直至电流表读取的示值为规定的负载电6.2.5IOL+-+-加载板通道—O4—通道—O4—DPS标准样片图4IOL/IOH参数校准连接图c)给标准样片IOL校准时，测试系统数字通道给控制端输入的一组数字信号确定IOL电流表读取输出端电流值，该值即为IOL标准值。6.2.6IOH连，其中一路数字多用表使用电流档与电压电流源和标准样片输出端进行串联，JJF（鄂）113－20247c)给标准样片IOH校准时，测试系统数字通道给控制端输入的一组数字信号确定IOH电流表读取输出端电流值，该值即为IOH标准值。6.2.7IDD+-:加载板通道通道标准样片图5IDD参数校准连接图c)给标准样片IDD校准时，测试系统数字通道给控制端输入的一组数字信号确定IDD制器控制电压电流源调整电压大小直至电压表读取的示值为规定的电源电压值，电流表读取此时的电流值，该值即为IDD标准值。b)标准样片输入端与控制端连接测试系统数字通道8数字示波器数字示波器数字通道加载板—O接地端—O数字通道加载板—O接地端—O○— DPS标准样片图6tPLH/tPHL参数校准连接图输入脉冲同相输出脉冲反相输出脉冲ttPLHtPLH图7tPLH波形图9输入脉冲同相输出脉冲tPHL反相输出脉冲tPHL图8tPHL波形图），JJF（鄂）113－2024测量不确定度评定示例的60ns的测量不确定度评定为例，说明数字集成电路测试系统（标准样片法）校准项目的测量不确定度评定的程序。由于校准方法和所用设备相同或近似，其他校准项目电流表实时观测负载电流值，控制器控制电压电流源调整负载电流大小直至电流表读A.2.2测量不确定度来源a)数字多用表测量直流电压的误差引入的不确定度分量uB1：±8.3μV。按B类评定，视为均匀分布，kb)校准结果的分辨力引入的不确定度分量uB2：表A.1VOL重复性数据记录次数12345测量值（V）1.00021.00021.00021.00021.0002次数6789测量值（V）1.00021.00021.00031.00021.0002A.2.4合成标准不确定度A.2.5扩展不确定度IOL校准采用直接测量法，电压电流源使用电压源模式施加一电压值，此时电压表实时观测VOL电压值，控制电压电流源调整电压大小直至电压表读取的示值为规定的Y——标准样片IOL的标准值，mA；I——标准样片IOL的测量值，mA；A.3.2测量不确定度来源a)数字多用表测量直流电流的误差引入的不确定度分量uB1：b)测量回路的泄漏电流引入的不确定度分量uB2：c)由数字多用表测量IOL次数12345测量值（mA）0.99950.99950.99960.99950.9995次数6789测量值（mA）0.99950.99960.99950.99950.9996A.3.4合成标准不确定度A.3.5扩展不确定度tPLH校准采用直接测量法，测试系统数字通道给控制端输入的一组数字信号确定A.4.2测量不确定度来源a)数字示波器测量时间间隔的不准确引入的不确定度分量uB1：b)测量回路对信号的不匹配引入的不确定度分量uB2：c)温度的不稳定引入的不确定度分量uB3：ps；表A.3tPLH重复性数据记录次数12345测量值（ns）60.660.660.660.660.6次数6789测量值（ns）60.760.760.760.760.7A.4.4合成标准不确定度A.4.5扩展不确定度JJF（鄂）113－2024校准原始记录参考格式送校单位：送校单位地址：校准依据：标准样片名称：型号规格：制造商：校准地点：环境温度：℃相对湿度：%校准所使用主要计量器具：名称型号规格出厂编号溯源单位证书编号有效期VIL标称值VIL标准值测量不确定度(k=2)VIH标称值VIH标准值测量不确定度(k=2)VOL标称值VOL标准值测量不确定度(k=2)VOH标称值VOH标准值测量不确定度(k=2)IOLIOL标称值IOL标准值测量不确定度(k=2)IOHIOH标称值IOH标准值测量不确定度(k=2)IDDIDD标称值IDD标准值测量不确定度(k=2)tPLHtPLH标称值tPLH标准值测量不确定度(k=2)tPHLtPHL标称值tPHL标准值测量不确定度(k=2)校准证书内页参考格式校准结果证书编号：XXXXXXXXXXVIL标称值VIL标准值测量不确定度(k=2)VIH标称值VIH标准值测量不确定度(k=2)