CN119403843A 聚合物及其制造方法、感光性树脂组合物、固化物、以及单体化合物及其制造方法 （株式会社日本触媒）

2024.12.20PCT/JP2023/0225962023.06.19WO2023/248976JA2023.12.28聚合物及其制造方法、感光性树脂组合物、本发明提供即使在低温固化条件下也能够中生成乙烯基醚基的有机基团。)所表示的结构23.如权利要求1或2所述的聚合物，其特征在于，其进一步具有含有酸基的结构单元4.如权利要求1～3中任一项所述的聚合物，其特征在于，6.一种聚合物用溶液，其特征在于，其包含权利要求8.一种感光性树脂组合物，其特征在于，其包含：311.一种聚合物的制造方法，其是具有下述式(1)所表示的结构单元(A)以及含有酸基该制造方法包括将包含含有通过酸或热的作用而生成乙烯12.一种聚合物的制造方法，其是具有下述式(1)所表示的结构单元(A)以及含有酸基将包含含有通过酸或热的作用而生成乙烯基醚基的基团的单R8表示直链状或支链状的2价有机基团；R9表示碳原子数114.一种单体化合物的制造方法，其是下述式(a_1)所表示的单体化合物的制造方法，该制造方法包括使含有乙烯基醚基的(甲基)丙烯酸酯化合物与羧酸化合物反应的工4在该反应工序中，相对于该含有乙烯基醚基的(甲基)丙烯酸酯化合物的乙烯基醚基15[0002]感光性树脂组合物在例如用于液晶显示装置或固态成像元件等中的滤色器、油件或电机/电子设备等各种用途中的应用已进行了各种研究，开发出了各用途中所要求的ITO溅射耐性的固化膜的感光性树脂组合物，记载了一种包含重均分子量大于1000的聚合或酚羟基的残基的单体单元；以及具有在末端具有烯键式不饱和键的碳原子数3～16的基中记载了一种至少包含在分子内具有被缩醛保护的乙烯基醚结构的构成成分的负型抗蚀6过制成具有特定结构的聚合物，即使在160℃以下的低温固化条件下也可良好地进行交联78[0054][14]一种单体化合物的制造方法，其是下述式(a_1)所表示的单体化合物的制造9[0061]需要说明的是，将以下记载的本发明的各优选方式2个以上组合而成的方式也是[0068]本发明的聚合物通过具有上述结构单元(A)，即使在低温固化条件也能够提供耐[0073]上述式(1)中，L表示直链状或支链状的2价有机基团。作为L所表示的2价有机基[0082]作为上述直链状或支链状的2价有机基团，例如优选可以举出上述直链状或支链2_等键的基团。2_等[0086]作为上述R1所表示的直链状或支链状的2价有机基团，优选可以举出上述直链状[0087]上述R3和R4所表示的2价饱和脂肪族烃基优选为碳原子数1～1[0091]作为上述对乙烯基醚基进行了缩醛保护的基团，可以举出包含_O_CH(CH3)_O_键团，则在酸或热的作用下，_O_R2脱离，在上述聚合物的侧链中生成乙烯基醚基(_O_CH=2表示碳原子数1～20的有机基团。[0100]上述具有环状结构和链状结构的烃基可以举出由上述环状结构的烃基与链状结。[0112]具有上述结构单元(A)的聚合物例如可以通过将包含可导入上述结构单元(A)的[0113]作为可导入上述结构单元(A)的单体，只要是通过聚合可得到具有上述结构单元上述式(1_1)中的R1所表示的直链状或支链状的2价有机[0122]作为上述式(a)所表示的单体化合物的具体例，例如可以举出(甲基)丙烯酸_2_8表示直链状或支链状的2价有机基团、R9表示碳原子数1～20的有机基团(其中不包括包含(甲基)丙烯酰基的基团)的[0128]本发明的聚合物优选进一步具有含有酸基的结构单元(B)。通过具有上述结构单[0130]具有上述含有酸基的结构单元(B)的聚合物可以通过下述方法得到：1)将包含含元酸酐与上述羟基发生反应而导入酸基(羧基)，由此可以制成具有含有酸基的结构单元[0137]作为上述含有羟基的单体，例如可以举出与后述的作为提供结构单元(D)的单体[0138]作为上述多元酸或多元酸酐，可以举出与后述的含有酸基的化合物同样的化合[0143]相对于上述聚合物的全部结构单元100质量上述结构单元(B)的含有比例优选为0～80质量从显影性良好的方面出发，相对于上述聚合物的全部结构单元100质量%,[0146]作为可导入上述结构单元(C)的单体，例如可以举出在分子内具有含有双键的环烷氧基烷基)丙烯酸酯系单体组成的组中的至少一种单体，从耐溶剂性更进一步优异的方[0147]上述结构单元(C)可以说是来自这样的可导入上述结构单元(C)的单体的结构单[0156]相对于上述聚合物的全部结构单元100质量上述结构单元(C)的含有比例优选(甲基)丙烯酸2,3羟基丙酯等(甲基)丙烯酸羟[0174]相对于上述聚合物的全部结构单元100质量上述结构单元(D)的含有比例优选[0177]上述酸值是通过使用氢氧化钾(KOH)溶液的中和滴定法测定得到的值，是每1g树[0178]上述聚合物的重均分子量优选为1000～100000。从低温[0179]上述重均分子量是通过凝胶渗透色谱法(GPC)利用实施例中记载的方法测定得到[0180]上述聚合物的乙烯基醚当量优选为200～50000g/mol。从固化性和保存稳定性提[0181]上述乙烯基醚当量是指相对于上述聚合物的每1mol乙烯基醚基的聚合物溶液的量。上述乙烯基醚当量可以通过将聚合物溶液的聚合物固体成分的质量(g)除以聚合物的[0183]上述聚合物在侧链中具有聚合性双键的情况下，上述聚合物的双键当量优选为[0185]上述双键当量是相对于上述聚合物的每1mol双键的聚合物溶液的固体成分的质当量可以通过将聚合物溶液的聚合物固体成分的质量(g)除以聚合物的双键量(mol)而求包括将包含含有通过酸或热的作用而生成乙烯基醚基的基团的单体以及含有酸基的单体的结构单元(B)的聚合物的制造方法(聚合物的制造方[0200]上述工序(P1)的聚合优选在碱性化合物的存在下进行。通过在碱性化合物的存在下将上述单体成分进行聚合，可通过含有酸基的单体单元所具有的酸基抑制上述单体选为50℃~100℃。若上述碱性化合物的沸点与涂膜制作后的烧制温度同等或为该温度以乙烯基醚的阳离子聚合和通过与侧链羧酸的缩醛化而进行[0203]上述工序(P1)中，碱性化合物的用量只要是能够抑制乙烯基醚基的生成的用量[0204]另外，下述的具有上述式(1)所表示的结构单元(A)以及含有酸基的结构单元(B)及使含有酸基的化合物与上述工序(Q_1)中得到的聚合物反应的工序(Q_2)的聚合物的制[0207]作为上述工序(Q_1)中的含有通过酸或热的作用而生成乙烯基醚基的基团的单[0214]上述工序(Q_2)中的上述聚合物与含有酸基的化合物的反应优选在碱性化合物的[0216]上述工序(Q_2)中，上述碱性化合物的用量只要能够抑制乙烯基醚基的生成就没合物或醇化合物优选混合1当量以上、更优选混合1～20当量、进一步优选混合1.1～1[0274]相对于聚合物固体成分100质量上述聚合物溶液中的上述极性溶剂的含量优[0275]上述聚合物溶液可以将从聚合时得到的包含上述聚合物的聚合溶液中精制的聚[0278]上述聚合物或聚合物溶液可以与碱性分散剂和/或碱性化合物一起制成聚合物用碱性化合物进行了中和也是本发明的优选方式述残留有在聚合物的制造中使用的碱性化合物的碱[0287]上述环氧当量可以通过将聚合物固体成分的质量(g)除以聚合物中所包含的环氧述极性溶剂的含量优选为10～1000质量份、更优选为20～800质量份、进一步优选为30~液的固体成分总量100质量％中，上述色料分散液中的上述色料的含量优选为1～80质及光聚合引发剂和/或光产酸剂的感光性树脂组合物也是本发明之一。本发明的感光性树[0300]相对于上述感光性树脂组合物的固体成分总量100质量上述聚合物的含量优的固体成分总量100质量％中，上述色料的含量优选为1～80质量％、更优选为5～70质射线等活性能量射线的照射等而进行聚合的具团)的低分子化合物，例如可以举出在分子中具有1个聚合性不饱和基团的单官能的化合[0312]所表示的二季戊四醇六丙烯酸酯的变性物等3官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯2羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2羟基丙酯等含有羟基的(甲基)丙烯酸酯类的反应而得到的[0317]上述聚合性化合物中，从更加提高上述感光性树脂组合优选使用多官能的聚合性化合物。作为上述多官能的聚合性化合物的官能数，优选为3以[0320]相对于上述感光性树脂组合物的固体成分总量100质量上述聚合性化合物的[0323]相对于上述感光性树脂组合物的固体成分总量100质量上述光聚合引发剂的[0334]作为制备本发明的感光性树脂组合物的方法没有特别限制，使用公知的方法即的方法即可，例如可以举出将上述感光性树脂组合物涂布在基材上或在基材上进行成型，通过加热或紫外线等活性能量射线的照射或者它们的组合使其固化而得到将上述感光性树脂组合物涂布在基材上而形成涂膜；工序(2)，对所形成的涂膜进行光照[0339]上述工序(1)中，作为涂布上述感光性树脂组合物而形成涂膜的方法没有特别限[0343]上述工序(3)中，在上述光照射工序后利用显影液进行显影处理，除去未照射部[0344]上述工序(3)中使用的显影液只要溶解上述感光性树脂组合物就没有特别限定，[0351]本发明的聚合物和感光性树脂组合物可适当地用于例如液晶/有机EL/量子点/微[0364]通过将聚合物固体成分的质量(g)除以聚合物中所包含的潜在地含有的乙烯基醚[0366]通过将聚合物固体成分的质量(g)除以聚合物中所包含的环氧基的摩尔数(mol)粘度变化率是将聚合物溶液在40℃保存1周的情况下保存前后的粘度的变化率，表示将保[0375]使用粘度计(VISCOMETERTV_100、东机产业公司制造)在25℃测定感光性树脂组合物的粘度。粘度变化率是将感光性树脂组合物在40℃保存1个月的情况下保存前后的粘[0379]将感光性树脂组合物通过旋涂法涂布在10cm见方的玻璃基板上，进行加热处理(90℃、3分钟)后，通过在距离涂布膜50μm处，隔着设置有30μm的线宽/间隔(lineandspace)的开口部的光掩模利用安装有2.0kW超高压汞灯的UVAligner(大日本科研公司制2[0389]除了将制造例1的乙酸60.0份变更为乙醇46.0份以外，进行与制造例1同样的操反应，得到单体化合物(A_4)。利用1H_NMR对所得到的单体化合物进行确认，结果确认到[0398]除了将制造例4的乙酸30.0份变更为乙醇23.0份以外，进行与制造例4同样的操[0404]除了将制造例7的乙酸32.2份变更为丙酸39.8份以外，进行与制造例7同样的操[0407]除了将制造例7的乙酸32.2份变更为丁酸47.3份以外，进行与制造例7同样的操反应，得到单体化合物(A_10)。利用1H混合后的混合液作为滴加槽(B)。作为引发剂槽，准备将双(2_乙基己基)过氧化二碳酸酯