CN119407618A 一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法 （名正(浙江)电子装备有限公司）

一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方保证在整个打磨过程中打磨盘与晶圆均有良好2S2：根据预设控制策略调整打磨推杆的初始给S3：按照预设策略中的打磨盘转速进行打磨作业2.根据权利要求1所述的一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，其特征在S32：通过采集打磨盘与待加工晶圆之间的压力变化以及打磨盘的转速变化，并结合S34：通过结合晶圆在不同时间点的打磨状态影响系数以及打磨推杆的驱动电机设备3.根据权利要求2所述的一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，其特征在通过公式计算获得晶圆自开始打磨到第i个时其中，i为晶圆自开始打磨后按照固定时间间隔的一次数据后到第i个时间点的数据采集总次数，为晶圆自开始打磨后的第i个时间点的表面温4.根据权利要求3所述的一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，其特征在通过公式计算获得晶圆自开始打磨3深度，为的标准值，f(x)为定义函数，若f(x)≥1，则令f(x)=xf(x)=1，ta为晶圆自开始打磨后第1次数据采集的时间点，ti为晶圆自开始打磨后第i次5.根据权利要求4所述的一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，其特征在通过将晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨状态影响系数ki与预设的打磨状态影响系数阈值ko1进行比对；6.根据权利要求5所述的一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，其特征在通过公式计算获得晶圆自开始打磨的第其中，jly为第i个时间点打磨推杆预设的给进距离，dy为打磨推杆驱动电机第i个时数值的取值范围对打磨推杆给进距离的影响基于测试获7.根据权利要求6所述的一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，其特征在8.根据权利要求7所述的一种基于压力传感的晶圆研磨抛光加工调节方法，其特征在4通过将晶圆打磨状态影响系数与预设的打磨状态影响系数阈值5[0015]S31：首先采集晶圆在打磨时的状态数据，其中包括晶圆在打磨过程中的表面温6[0018]S34：通过结合晶圆在不同时间点的打磨状态影响系数以及打磨推杆的驱动电机[0020]通过公式计算获得晶圆自开始打磨到第i个时间点的表面温度离散系数ri；[0024]通过公式计算获得晶圆自开始f(x)=xf(x)=1，ta为晶圆自开始打磨后第1次数据采集的时间点，ti为晶圆自开始打磨后第i次[0027]通过将晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨状态影响系数ki与预设的影响系数阈值ko1进行比对；7[0031]通过公式计算获得晶圆自开始打磨的第i个时间点调整后的打磨推杆给进距离数值的取值范围对打磨推杆给进距离的影响基于测试获[0034]通过公式计算获得晶圆成品的质量损失系数;变化以及打磨盘的转速变化参数，可以计算获得晶圆在不同时间点的打磨状态影响系数，响系数与预设的影响系数进行比对，即可对是否需要调整打磨推杆的给进距离做出判断，8圆自开始打磨到第i个时间点的表面温度离散系数ri等数据，多元化的数据提高对晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨状态影响系数计算结果的准确性与可靠性，并为后续调整[0044]（4）本发明通过将晶圆自开始打磨的第的打磨状态影响系数阈值ko1进行比对，通过此种比对方法，可以结合当前时间点的打磨[0045]（5）本发明通过将晶圆打磨状态影响系数与预设的打磨状态影响系数阈值9[0059]S31：首先采集晶圆在打磨时的状态数据，其中包括晶圆在打磨过程中的表面温[0062]S34：通过结合晶圆在不同时间点的打磨状态影响系数以及打磨推杆的驱动电机[0066]通过公式计算获得晶圆自开始打磨到第i个时间点的表面温度离散系数ri；[0068]通过上述技术方案，本实施例提供了晶圆自开始打磨到第i个时间点的表面温度[0072]通过公式计算获得晶圆自开始颜色深度，fcp为fci的标准值，上述标准值可根据经验数据中可允许的误差选择设定，f(x)为定义函数，若f(x)≥1，则令f(x)=x，否则，令f(x)=1，ta为晶圆自开始打[0074]通过上述技术方案，本实施例提供了晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨状态公式可计算获得晶圆自开始打磨后第1次数据采集的时间点到第i次数据采集的第i个时间点的打磨状态影响系数就越大，说明晶圆当前时间点受到的打磨状态影响较磨的第i个时间点的打磨状态影响系数就越小，说明晶圆当前时间点受到的打磨状态影响[0075]那是因为当晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨厚度、研磨浆颜色深度以及晶息以及晶圆自开始打磨到第i个时间点的表面温度离散系数ri等数据，多元化的数据提高对晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨状态影响系数计算结果的准确性与可靠性，并为[0078]通过将晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨状态影响系数ki与预设的[0081]通过上述技术方案，本实施例通过将晶圆自开始打磨的第i个时间点的打磨状态[0083]通过公式计算获得晶圆自开始打磨的第i个时间点调整后的打磨推杆给进距离数值的取值范围对打磨推杆给进距离的影响基于测试获[0085]通过上述技术方案，本实施例提供了圆自开始打磨的第i个时间点调整后的打磨[0087]通过公式计算获得晶圆成品的质量损失系[0089]通过上述技术方案，本实施提供了晶圆成品的质量损失系数，可通过公式计算获得，显然，当晶圆打磨后的平整度与