CN119407632A 一种玻璃晶圆加工装置及其使用方法 （新台佳光电有限公司）_第1页
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文档简介

本发明公开了一种玻璃晶圆加工装置及其动研磨电机，驱动研磨电机上安装有固定传动弧杆，驱动弧杆的另一端固定连接有防堵塞刮210.根据权利要求1_9任意一项所述一种玻璃晶圆加工装置的使用方法，其特征在于，3S3、而驱动研磨电机在带动研磨盘贴合于玻璃晶板和研磨遮挡台下降移动，这时驱动液泵的启动会通过抽液管将储存腔内的研磨液抽出，S4、而下降后的研磨遮挡台则能够阻挡喷洒管喷出4所述储存固定组件安装于所述旋转凸台的下方，所述储存固定组件包括固定底56当驱动研磨电机带动研磨盘升高后，所述喷洒管喷出的研磨液能够冲击在研磨盘底部上，S3、而驱动研磨电机在带动研磨盘贴合于玻璃晶圆主体上时还会带动支撑柱杆、7下降提供动力。驱动气缸102上安装有活塞推杆103，活塞推杆103的一端上安装有摇摆臂8用于支撑玻璃晶圆主体302和固定玻璃晶圆主体302，使玻璃晶圆主体302在研磨时不会出[0029]如图1图4所示，旋转凸台301的一侧固定有驱动弧杆304，用于支撑防堵塞刮板305和带动防堵塞刮板305旋转，从而使旋转凸台301转动时能够带动防堵塞刮板305旋转，驱动弧杆304的另一端固定连接有防堵塞刮板305，用于刮动渗透滤膜404，避免渗透滤膜[0032]如图1图5所示，旋转凸台301与旋转圆盘306之间还转动连接有固定输送气框[0035]具体地，固定底框401上还开凿有负压气腔406，多个固定气管311均与负压气腔9406相连通，用于方便气体的流动和抽出，从而使旋转凸台301与旋转圆盘306之间产生负研磨液的输送，抽液管409的另一端插设于储存腔402内，使研磨液能够从储存腔402内抽S3、而驱动研磨电机201在带动研磨盘203贴合于玻璃晶圆主体302上时还会带动

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