2025 电子气体 砷化氢

GB/T26250—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体砷化氢与相比除结构

GB/T26250—2010《》,GB/T26250—2010,

调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

———(1,20101);

更改了砷化氢应符合的技术要求见第章年版的第章

———(4,20103);

更改了采样的要求见第章年版的

———(5,20104.1.2);

更改了纯度计算方法见年版的

———(6.1,20104.2);

更改了氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷磷化氢含量的测定方法见年版的

———+、、、、、(6.2,2010

4.4、4.5、4.6、4.8);

增加了乙烷乙烯锗烷硅烷硫化氢含量的测定方法见

———、、、、(6.2);

更改了水分含量的测定方法见年版的

———(6.3,20104.7);

更改了尾气处理的要求见年版的

———(6.4,20104.3);

更改了金属元素的测定方法见年版的

———(6.5,20104.9);

删除了颗粒的测定年版的

———(20104.10);

更改了检验规则见第章年版的

———(7,20104.1);

更改了标志包装运输及贮存的要求见第章年版的

———、、(8,20105.1);

更改了安全信息的内容见年版的

———(8.3,20105.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位玉门大洋天庆石化有限责任公司昊华气体有限公司西南分公司上海栎智半导

:、、

体科技有限公司全椒南大光电材料有限公司上海亿钶气体股份有限公司北京普瑞分析仪器有限公

、、、

司浙江省标准化研究院中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司福建恒申电子材料科技有限公司

、、()、、

中昊光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司联雄投

、、、

资上海有限公司上海市计量测试技术研究院杭州新世纪混合气体有限公司沈阳中复科金压力容

()、、、

器有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司宿州伊维特新材料有限公司北京睿信捷

、、、

环保科技有限公司上海凡伟仪器设备有限公司西南化工研究设计院有限公司

、、。

本文件主要起草人马彬淇马杰潘华杰任如孙建叶凯乔洋董建平沈峰史兰崔雯

:、、、、、、、、、、、

赵赛迪吕磊刘丹孙福楠郭琼赖晓峰王见见依俊廷杜雨桐黄辉李春华杨金山鲍光强

、、、、、、、、、、、、、

王大为李明常侠牛迪谈益强尹乐乐赵洁何波唐中伟周鹏云唐霞梅

、、、、、、、、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2010,。

Ⅰ

GB/T26250—2025

电子气体砷化氢

1范围

本文件规定了电子用砷化氢的技术要求采样检验规则标志包装运输贮存描述了相应的试

、、、、、、,

验方法提供了砷化氢的安全信息

,。

本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB/T7144

铝合金无缝气瓶

GB/T11640

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法

GB/T28727

大容积钢质无缝气瓶

GB/T33145

电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T34972

气体分析采样导则

GB/T43306

气瓶安全技术规程

TSG23

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

4技术要求

砷化氢的技术要求应符合表的规定

1。

1

GB/T26250—2025

表1技术要求

项目要求

砷化氢纯度摩尔分数-2

(AsH3)()≥99.9999×10

氧氩含量摩尔分数-6

(+)(O2+Ar)()<0.05×10

氮含量摩尔分数-6

(N2)()<0.1×10

一氧化碳含量摩尔分数-6

(CO)()<0.05×10

二氧化碳含量摩尔分数-6

(CO2)()<0.05×10

甲烷含量摩尔分数-6

(CH4)()<0.05×10

乙烷含量摩尔分数-6

(C2H6)()<0.1×10

乙烯含量摩尔分数-6

(C2H4)()<0.1×10

锗烷含量摩尔分数-6

(GeH4)()<0.1×10

硅烷含量摩尔分数-6

(SiH4)()<0.1×10

硫化氢含量摩尔分数-6

(H2S)()<0.1×10

磷化氢含量摩尔分数-6

(PH3)()<0.1×10

水分含量摩尔分数-6

(H2O)()<0.1×10

杂质总含量摩尔分数-6

()≤1×10

金属元素含量供需双方商定

5采样

砷化氢的采样应符合的规定

GB/T43306。

6试验方法

警告———本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况使用者应采取适当的安全和健康防护

,

措施

。

61砷化氢纯度

.

611杂质总含量

..

杂质总含量按公式计算

(1):

x=x+x+x+x+x+x+x+x+x+x+x+x

13123456789101112…………(1)

式中

:

x杂质总含量摩尔分数

13———();

x氧氩含量摩尔分数

1———(+)();

x氮含量摩尔分数

2———();

x一氧化碳含量摩尔分数

3———();

x二氧化碳含量摩尔分数

4———();

x甲烷含量摩尔分数

5———();

2

GB/T26250—2025

x乙烷含量摩尔分数

6———();

x乙烯含量摩尔分数

7———();

x锗烷含量摩尔分数

8———();

x硅烷含量摩尔分数

9———();

x硫化氢含量摩尔分数

10———();

x磷化氢含量摩尔分数

11———();

x水分含量摩尔分数

12———()。

612砷化氢纯度

..

砷化氢纯度按公式计算

():

2-

x=-x×2×2

(1001310)10…………(2)

式中

:

x砷化氢纯度摩尔分数

———()。

62氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷乙烷乙烯锗烷硅烷硫化氢磷化氢含量的测定

.+、、、、、、、、、、

621测定方法

..

按规定的方法测定砷化氢中氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷乙烷乙烯锗烷

GB/T28726+、、、、、、、、

硅烷硫化氢磷化氢含量可采用其他等效的方法测定当对测定结果有异议时以本文件规定的方

、、。。,

法为仲裁方法

。

622预分离柱

..

6221预分离柱长约内径约的不锈钢管内装粒径为的

...Ⅰ:0.6m、3mm316L,0.18mm~0.25mm

碳分子筛或采用其他等效预分离柱

,。

6222预分离柱长约内径的不锈钢管内装粒径为的高分

...Ⅱ:4m、3mm316L,0.18mm~0.25mm

子聚合物乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或采用其他等效预分离柱

(),。

623色谱柱

..

6231色谱柱长约内径约的不锈钢管内装粒径为的

...Ⅰ:1.5m、3mm316L,0.18mm~0.25mm5A

分子筛或其他等效色谱柱该柱用于测定氧氩氮一氧化碳和甲烷含量

,。+、、。

6232色谱柱长约内径内涂乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物的毛细柱或其他等

...Ⅱ:30m、0.32mm,

效色谱柱该柱用于测定二氧化碳含量

。。

6233色谱柱长约内径内涂键合硅胶的毛细柱或其他等效色谱柱该柱用于测

...Ⅲ:0.8m、1mm、,。

定硫化氢含量

。

6234色谱柱长约内径约的不锈钢管内装粒径为的高

...Ⅳ:3.0m、2mm316L,0.18mm~0.25mm

分子聚合物乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或其他等效色谱柱该柱用于测定乙烷乙烯锗烷

(),。、、、

硅烷磷化氢含量

、。

624标准样品

..

标准样品中组分含量为-6-6摩尔分数平衡气为高纯氦应符合的

1×10~5×10(),,GB/T4844

规定

。

63水分含量的测定

.

按的规定执行可采用或其他等效的方法测定当对

GB/T5832.3。GB/T5832.1、GB/T5832.2。

3

GB/T26250—2025

测定结果有异议时以规定的方法为仲裁方法

,GB/T5832.3。

64尾气处理

.

测定时应有砷化氢尾气处理措施以防止砷化氢对环境的污染

,,。

65金属元素含量的测定

.

按的规定执行

GB/T34972。

7检验规则

砷化氢产品应逐一检验并验收当检验结果均符合表的规定时判该产品合格当检验结果有

。1,。

任何一项指标不符合表的规定时则判该产品不合格

1,。

8标志包装运输贮存及安全信息

、、、

81标志

.

811砷化氢出厂时应有产品质量合格证其内容至少应包括

..,:

产品名称生产厂名称危险化学品生产许可证编号

———,,;

生产日期或批号以及保质期

———,;

充装质量

———(kg);

本文件号及砷化氢的纯度

———。

812包装容器上应涂刷电子气体砷化氢字样

..“”。

813砷化氢的包装标志应符合的规定颜色标志应符合的规定标签应符合

..GB190,GB/T7144,

的规定

GB15258、GB/T16804。

82包装运输及贮存

.、

821采用钢质气瓶时应符合所有部分或的规定采用铝合金气瓶时应

..,GB/T5099()GB/T33145。,

符合的规定

GB/T11640。

822砷化氢的充装及贮运应符合的规定充装及贮运的安全管理条例见危险

..GB/T14193、TSG23,《

化学品安全管理条例特种设备安全监察条例

》《》。

823宜使用进行内表面处理的气瓶处理后的气瓶应符合本文件的规定瓶阀出气口连接方式宜使

..,。

用

DISS632、CGA350。

824应防止泄漏和瓶口被污染

..。

825砷化氢产品应存放在阴凉干燥通风的库房内不应暴晒远离热源

..、、,,。

83安全信息

.

砷化氢的安全信息见附录

A。

4

GB/T26250—2025

附录A

资料性

()

安全信息

A1基本信息

.

A11化学式中文名砷化氢英文名

..:AsH3;:;:Arsine。

A12相对分子质量按年国际相对原子质量计算

..:77.93(2022)。

A13号危险货物编号

..CAS:7784-42-1;UN:2188。

A14物理性质沸点熔点临界温度临界压力相对蒸气

..。:-62.5℃;:-116.9℃;:99.9℃;:6.6MPa;

密度空气蒸气压

(=1):2.69(25℃);:1.515MPa。

A15燃烧极限体积分数

..():3.9%~77.8%。

A16毒性剧毒半数致死浓度大鼠吸入LC

..:,:50(4hr)=89mg/kg。

A2危险性说明

.

砷化氢是剧毒气体吸入致命可能致癌长时间或反复接触可能对器官造成损伤同时也是极易

,,,。

燃的液化气体砷化氢遇热可能爆炸

。。

A3操作注意事项

.

A31生产过程严格密闭操作提供局部通风和全面通风操作人员经过专门培训严格遵守操作

..,。,

规程

。

A32操作人员穿戴适当的个人防护装备如耐腐蚀防化手套职业眼面部防护具佩戴长管呼吸器或

..。,

者动力送风过滤式呼吸器等自给式压缩空气呼吸器和化学防护服现场配备自给式正压呼吸器和气密

。

式化学防护服

。

A33使用不易产生火花的机械设备和工具

..。

A34设备接地使用防爆型的通风系统和设备

..,。

A4紧急情况应对措施

.

A41切断气源若不能切断气源则不熄灭泄漏处的火焰

..。,。

A42消防人员佩戴空气呼吸器穿全身防火防毒服在上风向灭火将容器从火场移至空旷处喷

..,,。。

水保持火场容器冷却

。

A43灭火剂选用雾状水泡沫干粉不使用水泡沫和酸碱灭火剂

..、、。、。

A44如果误吸入砷化氢迅速脱离现场至空气新鲜处保持呼吸道通畅如呼吸困难给氧如呼吸

..,,。,。

停止心跳停止立即进行心肺复苏术并就医

、,,。

A45眼睛接触立即分开眼睑用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗并就医

..:,10min~15min,。

A46皮肤接触如发生冻伤用温水复温忌用热水或辐射热不要揉搓就医

..:,38℃~42℃,,。。

A5泄漏处理处置

.

A51消除所有点火源

..。

A52根据气体的影响区域划定警戒区无关人员从侧风上风向撤离至安全区

..,、。

A53应急处理人员佩戴内置正压自给式呼吸器穿气密性化学防护服

..,。

A54有液化气体泄漏注意防冻伤

..,。

5

GB/T26250—2025

A55不接触或跨越泄漏物

..。

A56切断泄漏源

..