ALD工序FMEA培训考核试卷

ALD工序FMEA培训考核试卷基本信息：[矩阵文本题]*姓名：________________________部门：________________________员工编号:________________________岗位：________________________一、单项选择题（共15题，每题3分，合计45分）1.

PFMEA完整中文名称是（）[单选题]*A.设计失效模式及后果分析B.过程潜在失效模式及后果分析(正确答案)C.设备故障分析D.产品检测分析2.

ALD工序SPC膜厚标准管控范围为（）[单选题]*A.3nm-5nm(正确答案)B.6nm-8nmC.10nm-15nmD.20nm-25nm3.

生产过程中承载盒内异物清理频次为每（）一次[单选题]*A.1hB.2h(正确答案)C.3hD.4h4.

车间洒水控尘、维持洁净度要求每班（）次[单选题]*A.1B.2C.3(正确答案)D.45.

吸盘脏污会产生哪种硅片不良（）[单选题]*A.吸盘印、表面黑点(正确答案)B.方阻异常C.印刷水纹印D.舟印6.

膜厚检测数值超出规格，第一时间操作是（）[单选题]*A.正常流转生产B.通知工艺暂停下传硅片(正确答案)C.直接报废硅片D.自行调整机台工艺7.

搬运花篮的标准操作是（）[单选题]*A.单手拎花篮侧边B.双手握住花篮两端端面(正确答案)C.拖拽花篮底部D.单手托住硅片区域8.

清洁镊子、工装使用的擦拭材料为（）[单选题]*A.干无尘布B.酒精无尘布(正确答案)C.普通纸巾D.湿抹布9.

返工硅片（）放反会导致后道丝网印刷虚印、水纹印[单选题]*A.厚度B.线痕方向(正确答案)C.颜色D.批次10.

设备安全门被屏蔽时，系统会（）[单选题]*A.无任何提示B.推送预警信息给对应负责人(正确答案)C.自动清空数据D.整机断电停机11.

处理掉片连续误报警，应检查（）是否存在碎渣，脏污[单选题]*A.感应器(正确答案)B.传输皮带电机C.工艺腔D.源瓶管路12.

卫生清扫完毕后，班长拍照打卡至（）[单选题]*A.工艺群B.5S工作群(正确答案)C.设备群D.人事群13.

三甲基铝等危化品管道阀门仅允许（）操作[单选题]*A.生产操作工B.持证设备人员(正确答案)C.品质巡检D.车间班长14.

人工补片擦碰相邻硅片会造成（）[单选题]*A.硅片划伤、脏污(正确答案)B.膜厚超标C.洁净度上升D.无任何不良15.

DFMEA代表的含义是（）[单选题]*A.过程失效分析B.设计失效模式及后果分析(正确答案)C.车间安全分析D.工装失效分析二、多项选择题（共10题，每题4分，合计40分；少选得部分分，错选、多选不得分）1.

ALD工序工艺卫生重点管控区域包含（）*A.机外卫生(正确答案)B.传输皮带(正确答案)C.机内腔体(正确答案)D.吸盘、镊子工装(正确答案)2.

机台、皮带、吸盘脏污会引发哪些电池不良（）*A.硅片污染B.吸盘印(正确答案)C.硅片黑点颗粒物(正确答案)D.EL黑斑、效率下降(正确答案)3.

来料及上料操作不当造成的失效后果有（）*A.崩边、烧焦片流入导致卡堵掉片(正确答案)B.花篮坠落产生批量碎片(正确答案)C.徒手接触硅片留下手指印脏污(正确答案)D.膜厚均匀性提升4.

洁净度、车间温湿度超标带来的不良有（）*A.EL黑斑(正确答案)B.EL十字假隐裂(正确答案)C.电池转换效率降低(正确答案)D.硅片缺角5.

PFMEA开展的三大核心目的是（）*A.识别生产潜在失效与失效后果(正确答案)B.制定消除、降低失效发生的管控措施(正确答案)C.完整留存全过程文件记录(正确答案)D.取消全部人工检验工序6.

ALD工序现场安全潜在失效模式包含（）*A.屏蔽设备安全连锁装置(正确答案)B.机台运行时人员进入腔体(正确答案)C.未按要求穿戴全套劳保用品(正确答案)D.危化品管道发生泄漏(正确答案)7.

镊子、返工收纳盒不规范会造成哪些问题（）*A.镊子污染硅片产生脏污(正确答案)B.收纳盒碎屑造成硅片崩边(正确答案)C.线痕方向错乱引发印刷不良(正确答案)D.机台温度异常8.

下列属于人工操作引发的失效模式有（）*A.人工补片擦伤硅片(正确答案)B.返工片线痕摆放颠倒(正确答案)C.花篮违规搬运坠落(正确答案)D.定期擦拭吸盘海绵垫9.

ALD岗位安全劳保用品包含（）*A.安全帽(正确答案)B.高温手套(正确答案)C.防砸安全鞋(正确答案)D.普通拖鞋10.

PFMEA分析需要关注的关键要素有（）*A.工序功能、潜在失效模式(正确答案)B.失效后果、严重度(正确答案)C.失效起因、发生频度率(正确答案)D.探测或防止将失效传递到后续(正确答案)三、判断题（共5题，每题3分，合计15分，正确打√，错误打×）1.

ALD吸盘海绵垫出现脱胶、硅渣残留，交接班无需处理可继续生产。[判断题]*对错(正确答案)2.

返工片收纳盒底部需要铺垫珍珠棉，防止硅片磕碰脏污。[判断题]*对(正确答案)错3.

机台安全门处理故障后，必须按下复位按钮才