CN119439496A 一种基于dmd矢量衍射的偏振像差补偿方法 （长春理工大学）

一种基于DMD矢量衍射的偏振像差补偿方体涉及基于DMD矢量衍射的偏振像差补偿技术领DMD在矢量衍射下偏振像差传输模型，并基于所述偏振像差传输模型对含DMD的长波红外偏振光导在DMD偏振像差和偏振度最小情况下的最佳衍和偏振度最小情况下的最佳衍射级次和DMD的最佳入射角输入设计含DMD的长波红外偏振光学系2S5、将DMD偏振像差和偏振度最小情况下的最佳2.根据权利要求1所述的基于DMD矢量衍射的建模方式选择序列模式下的US_MEMS.dll；将满足全视场光线在一次和二次像面的落点位DMD反射后的光线出射角变为入射角，判断此入射角度是否与仿真计算得到的衍射角度保组与投影物镜组拼接在一起满足光瞳衔接原则，从而实现整个含DMD的长波红外偏振光学3.根据权利要求2所述的基于DMD矢量衍4.根据权利要求3所述的基于DMD矢量衍射的偏振像差补偿方S31、通过：将DMD等效成二维的闪耀光S32、计算所述二维的闪耀光栅中衍射光的衍射效S33、对保留衍射级次下的DMD进行偏振像差和偏3入射角的筛选条件为：确定的最佳入射角需要保证经DMD调制后的衍射光束空间方位角与入射光束空间方位角大小一致且经DMD调制后的衍射光束高度角小于长波红外偏振光学系6.根据权利要求5所述的基于DMD矢量衍射的偏振4[0001]本发明属于光学信息和偏振像差处理技术领域，具体涉及基于DMD矢量衍射的偏[0002]DMD数字微镜阵列是在半导体硅片上制造的方形微镜阵列，通过静电驱动来控制[0003]以往的各项研究均未深入探究衍射与偏振像差之间的关联，所构建的DMD偏振[0004]为了解决上述内容提到的在过往针对含有DMD的红外偏振成像光学系统的设计引发的偏振像差改变量，在相关研究进程中缺失了对DMD衍射特性影响偏振像差这一方面的剖析的技术问题中的至少一项，本发明提供一种基于DMD矢量衍射的偏振像差补偿方[0005]所述方法基于含DMD的长波红外偏振光学系统，所述光学系统包括望远物镜组、述偏振像差传输模型对含DMD的长波红外偏振光学系统进行仿真分析，对仿真结果进行补设计含DMD的长波红外偏振光学系统的设5次和二次像面的落点位置精确到1/2像元以内的约束条件写入到优化评价函数中，并且把高度角之后的望远物镜组与投影物镜组拼接在一起满足光瞳衔接原则，从而实现整个含表示系统最大强度透射率，Tmin表示系统最小强度透射率，TS表示DMD的s光振幅反射系的衍射光束空间方位角与入射光束空间方位角大小一致且经DMD调制后的衍射光束高度角小于长波红外偏振光学系统中投影物镜组的[0010]进一步，所述通过倾斜投影物镜组与镜片镀膜来补偿光学系统的偏振像差具体针对矢量衍射条件下DMD偏振像差追迹过程与标量衍射条件下不同，提出了矢量衍射—偏振光琼斯矢量理论的偏振像差分析方法，构建了DMD衍射条件下的偏振像差分析[0012]提出了通过倾斜投影物镜与镜片镀膜的偏振像差补偿方法，补偿了由DMD的衍射6射高度角下的各衍射级次反射方位角与衍射高度述偏振像差传输模型对含DMD的长波红外偏振光学系统进行仿真分析，对仿真结果进行补设计含DMD的长波红外偏振光学系统的设角度的方式来补偿系统中的偏振像差。而DMD的建模方式选择序列模式下的US_MEMS.dll，7因此将光学系统中的投影物镜组光路倒置进行设计，使得从DMD反射后的光线出射角变为的设计，最后将设置DMD入射方位角和高度角之后的望远物镜组与投影物镜组拼接在一起[0019]DMD在各衍射级次([0023]构建长波红外偏振光学系统中DMD在矢量衍射下偏振像差传输模型，所述偏振像表示系统最大强度透射率，Tmin表示系统最小强度透射率，TS表示DMD的s光振幅反射系8[0025]以具体实例对步骤S3进行说明：系统的光波波长为8~12μm，所选用的DMD像元为角下的各衍射级次反射方位角与衍射高度角关系示位角应与入射光束空间方位角一致；经DMD调制后的衍射光束高度角应小于投影物镜组的;[0028]结合上述边界条件，综合考虑DMD面上的偏振像差和偏振度的大小，最终确定在9刻线方向入射的TE偏振光和电场矢量平行于光栅刻线方向入射的TM偏振光的衍射效率与[0039]图中短线条的长度表示二向衰减值，短线条的方向表示二向衰减中最大透射使得投影物镜组的最大透射轴与DMD偏振像差最大透射轴正交，即对投影物镜组整体进行