CN119440122A 一种半导体设备气体输送方法及系统 （江苏大壹半导体科技有限公司）

本发明公开了一种半导体设备气体输送方体管道获取半导体设备传输的所有气体的同距体设备气体输送方法中仅考虑气体的流量稳定管道内气体流速的影响导致传输的气体纯度发2将用于半导体设备气体输送的管道记为气体管道；基于气体管道基于气体管道获取半导体设备传输的所有气体的低速纯度线DS、常规将气体管道的材质记为管道材质，获取气体管道中直径最大的管道，的横截面为圆形，纯度测试管道的长度等于半导体设备气体传输时最长的气体管道的长将半导体设备传输的所有气体分别记为传输气体CQ1至传输气体CQh；使用纯度分析方对于任意一个传输气体CQ，将纯度测试管道的两端分别记为测试进口以及测试出口，采样直径的值记为k；将半导体设备中能够对传输气体CQ进行传输的最大速率记为速率在纯度测试管道内壁任取一条垂直于纯度测试管道的横截面且长度等于管道长度的测试管道的外壁中以基准子线JZk1为采样孔的直径开启最小采样孔，将最小采样孔的中点3将纯度测试管道内传输气体CQ的速率调整为速率SLmax，当测试入口的将纯度测试管道内传输气体CQ的速率调整为速率SLmin，当测试入口的纯度线DSk1规纯度线CGk1对于任意一个传输气体CQ，将纵坐标相同的一组低速纯度线DS、常规纯选检测距离分别记为KX1至KXp并将传输气体CQ记为纯度不稳气体；将气体管道中分别距离对于KX1至KXp中的任意一个KXp1，当横坐标为KXp1对应的同距离纯度线组中仅有B区低及B区低速纯度均处于常规纯度线CG以外时，将KXp1对应的纯度检测点记为变速不稳检测对所有传输气体CQ进行分析，并将所有传输气体CQ记为纯度稳48.一种半导体设备气体输送系统，用于实现权利要求1_7任意一项所述的一种半导体输送纯度分析模块将用于半导体设备气体输送的管道记为气体管道；输送检测获取模块用于当不同的气体在半导体设备内进行输送时，基于低速纯度线输送纯度检测模块用于当半导体设备进行气体输送时，5[0002]半导体设备气体输送主要涉及气体的供应、净化、控制和监测，以确保半导体6将半导体设备传输的所有气体分别记为传输气体CQ1至传输气体CQh；使用纯度分除以采样直径的值记为k；将半导体设备中能够对传输气体CQ进行传输的最大速率记为速在纯度测试管道内壁任取一条垂直于纯度测试管道的横截面且长度等于管道长为基准子线JZ1至基准子线JZk；对于基准子线JZ1至基准子线JZk中的任意一个基准子线口的传输气体CQ的输入速率以及测试出口的传输气体CQ的输出速率均保持在速率SLnor时，在纯度测试管道的外壁中以基准子线JZk1为采样孔的直径开启最小采样孔，将最小采样孔7低速纯度线DSk1基于对基准子线JZk1的分析方法对基准子线JZ1至基准子线JZk进行分析，并在纯获取所有传输气体CQ对应的所有低速纯度线DS、常规纯度线CG以及高速纯度线度线CG以及高速纯度线GS在气体管道内设置纯有可选检测距离分别记为KX1至KXp并将传输气体CQ记为纯度不稳气体；将气体管道中分别对于KX1至KXp中的任意一个KXp1，当横坐标为KXp1对应的同距离纯度线组中仅有B当输送气体未被记为纯度稳定气体时，将输送气体在输送前的纯度记为额定纯8[0015]本发明的有益效果：本发明首先将用于半导体设备气体输送的管道记为气体管9送纯度分析模块包括输送纯度分析单元，输送纯度分析单元配置有输送气体纯度分析策在后续分析时方便采样孔的打开以及气体纯将半导体设备传输的所有气体分别记为传输气体CQ1至传输气体CQh；使用纯度分除以采样直径的值记为k；将半导体设备中能够对传输气体CQ进行传输的最大速率记为速在纯度测试管道内壁任取一条垂直于纯度测试管道的横截面且长度等于管道长为基准子线JZ1至基准子线JZk；对于基准子线JZ1至基准子线JZk中的任意一个基准子线口的传输气体CQ的输入速率以及测试出口的传输气体CQ的输出速率均保持在速率SLnor时，在纯度测试管道的外壁中以基准子线JZk1为采样孔的直径开启最小采样孔，将最小采样孔的长度为40mm，则在纯度测试管道的外部中基准子线JZk1所在的位置开启直径为40mm的最小采样孔，并向最小采样孔的中点对应的测试直径中进行的A区、B区以及C区进行气体采低速纯度线DSk1基于对基准子线JZk1的分析方法对基准子线JZ1至基准子线JZk进行分析，并在纯输速率A下的气体的纯度所处的区间与传输速率B下的气体的纯度所处的区间变化较大时，获取所有传输气体CQ对应的所有低速纯度线DS、常规纯度线CG以及高速纯度线有可选检测距离分别记为KX1至KXp并将传输气体CQ记为纯度不稳气体；将气体管道中分别标的最高点以及最低点分别为99.99%以及99.9%，B区低速纯度为99.8%，B区高速纯度为对于KX1至KXp中的任意一个KXp1，当横坐标为KXp1对应的同距离纯度线组中仅有B纯度线组进行分析后，所有未被记为纯度稳定气体的传输气体CQ均含有对应的纯度检测当输送气体未被记为纯度稳定气体时，将输送气体在输送前的纯度记为额定纯样孔的直径为采样直径的采样孔记为最小采样孔；将纯度测试管道的长度记为管道长度，将管道长度除以采样直径的值记为k；将半导体设备中能够对传输气体CQ进行传输的最大速率记为速率SLmax，将半导体设备中能够对传输气体CQ进行传输的最小速率记为速率SLnor为小于等于速率SLmax且大于等于速率SLmi步骤S1022，在纯度测试管道内壁任取一条垂直于纯度测试管道的横截面且长度至远依次记为基准子线JZ1至基准子线JZk；对于基准子线JZ1至基准子线JZk中的任意一个当测试入口的传输气体CQ的输入速率以及测试出口的传输气体CQ的输出速率均保持在速步骤S1027，基于对基准子线JZk1的分析方法对基析时获取到可选检测距离时，将所有可选检测距离分别记为KX1至KXp并将传输气体CQ记为测点；当横坐标为KXp1对应的同距离纯度线组中仅有B区高速纯度处于常规纯度线CG以外中B区高速纯度以及B区低速纯度均处于常规纯度线CG以外时，将KXp1对应的纯度检测点记气体管道内的输送气体进行定时采样，当采样得到的输送气体的纯度与额定纯度不相等气体管道内的输送气体进行定时采样，当采样得到的输送气体的纯度与额定纯度不相等的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件件产品的形式体现出来，该计