CN119440149A 一种多单晶炉冷却水循环系统控制方法 （华东交通大学）_第1页
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文档简介

本发明提供一种多单晶炉冷却水循环系统2步骤S1，基于传感器模块得到的参数信息，建立晶体生步骤S2，基于非支配排序遗传算法对多目标函数进行步骤S3，根据目标炉内温度，计算单晶炉的冷却水入口步骤S4，风机根据温度调节系数对冷却器进行温度控对于多个单晶炉中的第一个单晶炉，建立晶体生长速度与炉内温度;;;;3;;;;;;Kn=h1Rn+h2En；和h2为线性组合系数；;;4;n列的元素；遍历Pareto最优解集合，通过计算赋权矩阵中各元素与最优解和最劣解之间的距离，采用下式计算赋权矩阵中各元素与最优解和最表示pmn与最优解J之间的距离，D,表示pmn与最劣解J;之间的距离；;将接近指数Rm最大的最优解作为多目标函数的最终求解结果，从最终求解结果中得出第一个单晶炉的目标炉内温度Tt1和目标对于第一个单晶炉，计算第一个单晶炉的冷却水入口温度与目标炉内的;;设计的模糊规则表，将和Avi作为输入，将温度调节系数5;6[0001]本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种多单晶炉冷却水循环系统控制方有的冷却水循环系统多采用单路进水后到达冷却区域，冷却完成后从出水口循环至进水78;T=(Ii,Tm,V);;;其中，M为第a个专家对第n个优化目标的打分值，Ta为第a个专家的权威系9;数，m=1,2,…,t；;;;Kn=h1Rn+h2En；和h2为线性组合系数；;;将赋权矩阵P中每列最小元素作为最优解J,，最大元素作为最劣解，以形成;;结果中得出第一个单晶炉的目标炉内温度Tt1和;;计算第一个单晶炉的实际冷却水流速与目标冷却水流速的流速误差;;量。机根据温度调节系数对冷却器进行温度控制，且电机

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