半导体关键设备及配件生产加工项目（一期）环评报告表

—1—“三十一、通用设备制造业34；69烘“三十六、计算机、通信和其他电子设子化工材料制造除外）”—2—无规划环境影响评价文件名称：《留吕工业产业园区总体发展规划潍坊芯微电子设备有限公司半导体关键设备及配件生产加工项目将打造以机械制造、新材料（主要为合金新材料、轻量—3—（GB/T4754-2017），主导产业涉及以下行业：高端装备制造业（C33制品业）、木制品加工（C203木质制品制造）、家具制造业（C21家具根据《留吕工业产业园区总体发展规划（2025-2035年）环境影响控制级别C13农副食品加工业C14食品制造业优先进入行业C15酒、饮料和精制茶制造业C16烟草制品业C17纺织业C18纺织服装、服饰业（挂胶手套生产除外）允许进入行业C19皮革、毛皮、羽毛及其制品和制鞋业（不涉及皮革鞣制加工、毛皮鞣制加工、羽毛加工的除外；纺织面料鞋制造、塑料鞋制造除允许进入行业C20木材加工和木、竹、藤、棕、草制品业（涉及电镀工序的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C21家具制造业（涉及电镀工序的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C22造纸和纸制品业（C221纸浆制造；C222造纸除外）允许进入行业—4—C23印刷和记录媒介复制业（涉及电镀工序的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C24文教、工美、体育和娱乐用品制造业（涉及电镀工序的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C25石油、煤炭及其他燃料加工业（做环评报告表的除外）C26化学原料和化学制品制造业（做环评报告表的除外）C27医药制造业（做环评报告表的除外）C28化学纤维制造业（做环评报告表的除外）禁止进入行业C29橡胶和塑料制品业（C2911轮胎制造除外）C30非金属矿物制品业（C3011水泥制造、C3033防水建筑材料制造、C3041平板玻璃制造、C307陶瓷制品制造除外）允许进入行业C31黑色金属冶炼和压延加工业C32有色金属冶炼和压延加工业允许进入行业含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的；新增产能的C3392有色金属铸造除外）C34通用设备制造业（涉及电镀工艺的、排放一类重金属的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C35专用设备制造业（涉及电镀工艺的、排放一类重金属的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C37铁路、船舶、航空航天和其他运输设备制造业（涉及电镀工艺的、排放一类重金属的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C38电气机械和器材制造业（涉及电镀工艺的、排放一类重金属的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C39计算机、通信和其他电子设备制造业（涉及电镀工艺的、排放一类重金属的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C40仪器仪表制造业（涉及电镀工艺的、排放一类重金属的；使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）优先进入行业含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂的除外）C41废弃资源综合利用业（涉及易溶性、有毒有害废弃物暂存和转运的、排放一类重金属的除外）允许进入行业C43金属制品、机械和设备修理业交通运输、仓储和邮政业优先进入行业国家《产业结构调整指导目录》中限制类、淘汰类产业；《外商投资产业指导目录》中限制类、禁止类产业；负面清单所列行业禁止进入行业—5—设备制造，半导体用加热炉体、RTP快速退火设备属于C3461烘炉、类别园区规划及规划环评审查意见要求项目情况符合情况规划范围光市人民政府关于同意设立留吕工业产业园区的批复》(寿政函[2023]63号)同意设立留吕工业产业园区，你单位对该产业园区编制了规划，我局于2024年组织对该园区规划环评进行了审查(寿规划审字[2024]3号)。因园区内部分区域的用地性质发生调整，你单位重新编制了《留吕工业产业园区总体规划(2025一2035年)》，规划调整后总用地面积105.90公顷不变，共两个板块，具体为：公顷，四至范围为：东至留王路以东550米、西至裕丰制衣厂西界、南至纬一路、北至泰丰街。公顷，四至范围为：安丰油脂厂界。项目位于留吕工业产业园区内，选址在认定范符合产业定位园区将打造以机械制造、新材料(主要为合金新材料、轻量化材料、无机非金属材料)、木制品加工三大主导产业为引领，饲料食品、纺织服装、建筑建材及相关配套产业为依托的产业。项目属于C3051技术玻璃制品制造、C3461烘炉、熔炉及电炉制造、C3562半导体器件专用设备制造、C3989其他电子元件制造，符合园区产业定位。符合基础设施规划寿光市自来水有限责任公司为本园区新鲜水的取水水源。园区采取雨污水分流，园区生产企业废水经自建污水处理设施预处理达标后排入寿光东城污水有限公司进一步处理。园区规划热源不足部分采用企业自建分散式热源提供，新建热源应采用天然气、电或其他清洁能源。完善园区燃气管网。项目用水取自寿光市自来水有限责任公司东城水厂。本项目生活污水经化粪池处理、生产废水（超声波清洗废水、冲洗废水）经厂区污水处理站处理、制备纯水产生的浓水、循环冷却排水一同由市政污水管网进入寿光东城水务有限公司污水处理厂进一步处理排入丹河，符合基础设施规划要求。符合—6—度，使用电能。备件等产品均不属于“鼓励类、限制类、淘汰类”范围内，属于允许建设水源地，项目选址在水源地饮用水水源保护区之外，具体见附图9；项根据寿光市人民政府关于印发《寿光市国土空间总体规划（2021-2035年）》的通知（寿政发〔2024〕16号）中“06市域国土空间控制线规划图”，拟建项目不在“永久基本农田控制线、生态保护红线”范围内，位于城镇开发边界范围内（具体见附图7），根据“寿政发〔2024〕16号”中“26中心城区土地使用规划图”，项目用地为工业用地—7—），《山东省环境保护条例》（2018年修订）要求本项目情况符合性第十二条县级以上人民政府在组织编制有关区域、空间发展规划和开发利用规划以及有关专项规划时，应当充分考虑环境资源承载能力，听取有关方面和专家的意见，并依法开展规划环境影响评价。前款所列规划应当符合生态环境保护规划、生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和环境准入负面清单的要求。本项目符合园区环境准入基本条件，符合生态环境保护规划、生态保护红资源利用上线和环境准入负面清单的要求。符合第十五条禁止建设不符合国家和省产业政策火电以及其他严重污染环境的生产项目。本项目不属于该类禁止项目。符合第十八条新建、改建、扩建建设项目，应当依法进行环境影响评价。建设项目可能对相邻地区造成重大环境影响的，生态环境主管部门在审批其环境影响评价文件时，应当征求相邻地区同级生态环境主管部门的意见；意见不一致的，由共同的上一级人民政府生态环境主管部门作出处理。本项目为新建项目，正依法开展环境影响评价符合第四十四条各级人民政府及其有关部门、园区管理机构应当做好环境基础设施规划，配套建设污水处理站及配套管网、固体废物的收集处置设施、危险废物集中处置设施以及其他环境基础设施，建立环境基础设施的运行、维护制度，并保障其正常运行。县级以上人民政府应当根据产业结构调整和产业布局优化的要求，引导工业企业入驻工业园区；新建有污染物排放的工业项目，除在安全生产等方面有特殊要求的以外，应当进入工业园区或者工业园区。本项目位于留吕工业产业园范围内，交通运输、通讯便设。符合第四十五条排污单位应当采取措施，防治在生产建设或者其他活动中产生的废气、废水、废渣、医疗废物、粉尘、恶臭气体、放射性物质以及噪声、振动、光辐射、电磁辐射等对环境的污染和危害，其污染排放不得超过排放标准和重点污染物排放总量控制指标。实行排污许可管理的排污单位，应当按照排污许可证规定的污染物种类、浓度、排放去向和许可排放量等要求排放污染物。企业在运营期应严格落实本报告提出的环境治理措施，确保污染物达标排放。符合5、项目与潍坊市生态环境保护工作委员会关于印发《美丽潍坊建—8—文件要求拟建项目情况符合性（二）推动产业绿色低碳发展1.坚决遏制高耗能、高排放、低水平项目盲目发展。严格落实国家产业政策，强化环保、质量、技术、节能、安全标准引领。加快实施节能技改，依法依规推动落后产能退出。严格落实《产业结构调整指导目录》，坚决淘汰不符合国家产业政策的落后产能。实施高耗能产业全流程清洁、循环、低碳改造和减污降碳协同治理，降低能源消耗强度。本项目不属于高耗目。符合（一）持续深入打好蓝天保卫战2.全面治理扬尘污染。持续开展建筑工地扬尘、工业企业堆场扬尘和矿山扬尘整治，降低区域降尘量。严格落实施工工地扬尘管控责任，全面推行绿色施工，制定施工扬尘污染防治实施方案，落实建筑工地扬尘防治“六个百分百”。强化道路扬尘综合治理，加大道路冲洗保洁力度，实施道路分类保洁分级作业。加强裸地、堆场扬尘污染控制，对城市公共区域、长期未开发的建设裸地进行排查建档并采取绿化、硬化、苫盖、清扫等措施减少扬尘，强化绿化用地扬尘治理。实施矿山全过程扬尘污染防治，在基建、开采、修复等环节实施严格有效的抑尘措施。加强监管执法，实现扬尘精细化管控。1.项目施工期严格落实施工工地扬尘3.深化工业领域NOx和VOCs深度治理。持续开展长流程钢铁企业创A和水泥、焦化超低排放改造行动，优化钢铁冶炼生产工艺流程。开展产业集群升级改造及简易低效治理设施整治提升。加强燃煤机组、锅炉、钢铁污染治理设施运行管控，因地制宜采取清洁能源、集中供热替代。强化挥发性有机物全过程、全环节综合治理。全面推进低VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅料使用。推动企业持续、规范开展泄漏检测与修复（LDAR），鼓励石化、有机化工等大型企业自行开展LDAR。工扬尘污染防治实施方案落实扬尘防治“六个百分百”。2.本项目不涉及含VOCs涂料、油墨、程中产生的VOCs、NOx量较少。符合4.推进车辆与非道路机械废气治理。加强机动车全流程污染管控，严格执行国家新生产机动车排放标准，配合省级开展机动车、发动机新生产、销售及注册登记环节监督检查。实施柴油货车排放常态化执法检查，定期开展专项行动，依法查处尾气超标排放、治理设施不正常运行、破坏篡改车载诊断系统（OBD）等违法行为。加大在用非道路移动机械排气达标监管力度，开展非道路移动机械编码登记、定位管控，淘汰或更新升级老旧工程机械。实施船舶发动机第二阶段标准和油船油气回收标准。加快船舶受电装置改造，推进岸电使用常态化。建立常态化油品监督检查机制，强化油品生产、运输、销售、储存、使用全链条监管，保障车用油品质量。3.本项目非道路移动机械满足国四排放标准。（二）持续深入打好碧水保卫战1.全方位加强水资源保护与利用。提高水资源配项目用水来自市政供水管网，项目切符合—9—以水定产”，实行用水总量和效率双控管理。以水资源配置工程等为重点，科学优化水资源配置，优先保障城乡居民生活用水，统筹农业、工业用水，加强河湖水量统一调度，逐步提高河湖生态用水保障程度。实施用水全过程管理，加强相关规划和项目建设布局的水资源论证工作，完善重点行业用水计量监测，加强对重点取用水户的监督管理。将非常规水纳入水资源统一配置，逐步提高非常规水利用比例。加强地下水取水总量、水位“双控”管理，推进地下水保护和超采综合治理。推进园区、企业废水循环利用，推动将市政再生水作为园区工业生产用水的重要来源。推动雨水资源化利用，强化城市降雨径流的滞蓄利用、下渗补给地下水，建设城市屋面、道路雨水收集利用系统，提高雨水资源化利用率。因地制宜利用海水资源，以沿海工业园区为重点，推动海水淡化全产业链协同发（三）持续深入打好净土保卫战1.加强土壤污染源头防控。严防新增污染，对涉及有毒有害物质可能造成土壤污染的新（改、扩）建项目，依法进行环境影响评价。强化土壤污染重点监管单位环境监管，推动重点监管单位全面落实土壤污染防治义务，依法纳入排污许可管理。严格控制涉重金属行业污染物排放，将符合条件的排放镉等有毒有害重金属大气、水污染物的企业纳入重点排污单位名录。开展涉镉等重金属排放企业实现自动监测并进行排查整治“回头看”，动态更新污染源整治清单。定期开展土壤污染重点监管单位周边土壤环境监测。4.推进地下水生态环境保护。科学划定地下水污染防治重点区，探索地下水污染防治重点区管控模式与配套政策。探索建立地下水污染防治重点排污单位名录。加强土壤和地下水污染协同防治。推进土壤污染重点监管单位和地下水污染防治重点排污单位周边土壤和地下水监测。督促“一企一库”“两场两区”开展地下水环境自行监测，实施地下水污染风险管控，加强风险管控后期环境监管。到2035年，地下水国控点位Ⅰ—Ⅳ类水比例达到国家要求。（五）加强固废与新污染物防治1.实施固体废物综合治理。推进“无废城市”建设，培育一批无废园区、无废厂区、无废社区等“无废细胞”。推动生活垃圾分类，分类投放、收集、运输、处置设施的规范化、标准化建设，进一步健全完善生活垃圾全程分类综合治理体系。促进秸秆、畜禽粪污等主要农业废弃物全量利用。推行废旧家电等耐用消费品生产企业“逆向回收”模式，鼓励企业创新综合利用技术，不断提升废旧物资循环利用水平。以粉煤灰、工业副产石膏等为重点，推动大宗工业固体废物贮存处置总量趋零增长。加强污泥安全处置和综合利用，建设污泥独立焚烧处置工程。加强快递包装绿色治室冷却用水均循环利用。符合符合1.本项目依法进行壤及地下水产生的涉及重金属污染物纳入潍坊市土壤污染重点监管单位名录。2.项目已采取地下加强管理。1.项目产生的固体废物按照“资源化、减量化、无害化”的原则进行综合利用生二次污染。2.项目将强化危险过程中产生的危险废物暂存于危废贮资质的单位进行处理，推进大型电商和寄递企业包装物回收循环利用。全面禁止进口固体废物，保持打击洋垃圾走私高压态势不放松。积极推进一般工业固体废物利用处置设施建设，提高工业固体废物利用处置能力。到2027年，废城市”。2.强化危险废物利用处置。严格建设项目环境准入，新（改、扩）建项目要依法开展环境影响评价，严格危险废物污染环境防治设施“三同时”管理，禁止危险废物以副产品的名义逃避监管。开展危险废物产生量与利用处置能力匹配情况及设施运行情况评估。加强医疗卫生机构医疗废物源头管理，做好源头分类，强化对医疗机构医疗废物收集、运送、贮存、交接过程中的监督管理。完善危险废物集中收集贮存转运体系，开展小微企业、科研机构、学校等产生的危险废物有偿收集转运服务。置。《潍坊市大气污染防治条例》具体规定本项目情况符合性第六条禁止新建、改建、扩建严重污染大气环境的项目。市环境保护主管部门应当会同有关部门，制定和调整建设项目环境影响评价审批负面清单，经市人民政府批准后向社会公布。新建排放主要大气污染物的工业项目，应当按照规划和环境保护规定进入指定园区。在规划的指定园区外新上排放大气污染物的项目，发展改革部门不得立项，国土资源部门不得供应土地，环境保护部门不得通过环境影响评价审批，住房和城乡建设部门不得办理建筑工程施工许可证。市、县（市、区）经济和信息化主管部门应当会同发展改革、环境保护等部门，制定工业产业转型升级行动计划和严重污染大气项目退出计划，报本级人民政府批准后向社会公布。对城市建成区大气环境质量造成明显影响的项目，在市、县（市、区）人民政府规定期限内未达到治理要求的项目，应当停产，限期搬迁或者关闭。本项目为新建项目，不属于严重污染大气环境的项目，项目位于留吕工业产业园范围内。符合第十五条排放大气污染物的单位和其他生产经营者，应当保持大气污染物防治设施的正常使用。建设单位定期对废气处理设施进行检查维护，确保环保设施正常运行符合第二十条任何单位和其他生产经营者在生产经营过程中，不得排放影响周边居民正常生活的有毒有害和异味气体。下列行为应当在工业园区或者市、县（市、区）人民政府划定的区域内实施：橡胶、造纸、饲料等易产生恶臭气体的生产项目；本项目位于留吕工业产业园内；项目不属于易产生恶臭气体的项目。符合—11—恶臭气体的生产经营活动；(三)从事露天喷漆、喷涂、喷砂、制作玻璃钢和机动车摩擦片等易散发有毒有害气体的作业。“三线一单”管控要求本项目情况符合性生态保护红线1、生态保护红线及一般生态空间。潍坊市陆域生态保护红线总面积为840.53km2，海洋生态保护红线总面积为280.31km2，一般生态空间面积1591.85km2。其中，全市陆域生态保护红线，包含胶潍平原水源涵养生态保护红线、鲁中山地水土保持生态保护红线、渤海南岸滨海平原防风固沙生态保护红线3类，共计13个环境管控分区。潍坊市海洋生态保护红线，包含白浪河重要河口生态保护红线、寿光－滨海重要渔业资源产卵场生态保护红线、莱州湾单环刺螠重要渔业资源产卵场生态保护红线、胶莱河重要河口生态保护红线、昌邑滨海重要滩涂及浅海水域生态保护红线，共计27个近岸海域环境管控分区。一般生态空间管控分区根据图斑所属乡镇进行划分调整后，共计111个管控分区。本项目不位于生态保护红线及一般生态空间范围内，距离项目最近的生态红线区为东侧约6.0km的“寒亭区渤海南岸滨海平原防。符合环境质量底线到2025年，全市大气环境质量持续改善，全市PM2.5年均浓度达到40μg/m3；水环境质量稳步提升，省控及以上断面优良（达到或优于Ⅲ类）比例达到35%，市控及以上断面劣V类水体比例全面消除，县级及以上城市饮用水水源地全部达到Ⅲ类；海洋生态环境稳中向好，近岸海域水质优良（一、二类）比例达到59.3%左右、劣V类海水水质面积下降，主要入海河流国控断面实现消劣；土壤安全利用水平巩固提升，受污染耕地安全利用率完成省下达目标，重点建设用地安全利用得到有效保障。本项目污染物均达标排放，本次评价对企业提出环境保护要求和建议，项目建成后对周围环境质量影响较小，符合改善环境的总体目标要求。符合资源利用上线强化节约集约利用，持续提升资源能源利用效率，水资源、土地资源、能源消耗等达到省下达的总量和强度控制目标。建立最严格的水资源管理制度，强化水资源刚性约束。到2025年，全市年供用水总量控制在24.95亿立方米以内，农业用水比重稳中有降。水资源利用效率和效益显著提高，万元国内生产总值用水量较2020年下降9.98%，万元工业增加值用水量较2020年降低5%，农田灌溉水有效利用系数提高到0.6645以上。坚持最严格的耕地保护制度和节约集约用地制度，统筹土地利用与经济社会协调发1.本项目运营过程中消耗一定的水资源，资源消耗量相对区域资源利用量较少，符合资源利用上线要求；2.本项目用地类型为工业用地不涉及耕地；3.本项目运营过程中消耗一定的电能，本项目能源消耗量相对于区域能源利用量较少，符合—12—生态环境准入清单展。全市耕地保有量在2020年的基础上不降低，保持在789139.00公顷以上，永久基本农田保护面积不低于663333.33公顷。严格落实能源消耗总量和强度“双控”制度，完成省下达的能源消费总量控制目标。煤炭消费总量压减10%左右，完成省下达的压减煤炭指标。可再生能源消费总量达到600万吨标准煤，可再生能源电力装机总容因此能源消耗符合资源利用上线要求。符合1.空间布局约束1.1严格执行高耗能、高污染和资源型行业准入条件，提高异味、恶臭行业准入门槛。1.4生产建设项目选址、选线应当避让水土流失重点预防区和重点治理区；无法避让的，应当提高防治标准，优化施工工艺，减少地表扰动和植被损坏范围，有效控制可能造成的水土流失。1.10属国家产业政策目录中明令淘汰或立即淘汰的落后生产工艺装备及产品的，不予核发排污许可证；严格执行环境保护法律法规，对超标准排放大气和水，违反固体废物管理法律法规，以及排污超过重点污染物总量控制指标的企业，责令采取限制生产、停产整治等措施，情节严重的依法予以关闭。1.11饮用水地表水源一级保护区内禁止新建、扩建与供水设施和保护水源无关的建设项目，已建成的与供水设施和保护水源无关的建设项目，由县级以上人民政府责令拆除或者关闭；禁止向水域排放污水，已设置的排污口必须拆除；不得设置与供水需要无关的码头，禁止停靠船舶；禁止堆置和存放工业废渣、城市垃圾、粪便和其他废弃物；禁止设置油库；禁止从事种植、放养畜禽和网箱养殖活动，对在饮用水源保护区范围内采用人工投饵等方式从事渔业养殖作业造成水质污染的一律予以取缔；禁止可能污染水源的旅游活动和其他活动。饮用水地表水源二级保护区内禁止新建、改建、扩建排放污染物的建设项目，已建成的排放污染物的建设项目，由县级以上人民政府责令拆除或者关闭；原有排污口依法拆除或者关闭；禁止设立装卸垃圾、粪便、油类和有毒物品的码头；从事网箱养殖、旅游等活动的，应当按照规定采取措施，防止污染饮用水水体。饮用水地表水源准保护区内禁止新建、扩建对水体污染严重的建设项目；改建建设项目，不得增加排污量。1.16严格落实排污许可制度。影响集中污水处理设施出水稳定达标的纳管企业要限期退出。新建工业企业排放的含重金属、难以生化降解污染物或高盐废水，不得接入城市生活污水处理设施1.17对市域范围内尚无处置能力的危废种类，严格控制产生该类危险废物的项目建设。1.本项目不属于高耗能、高污染和资源型行业，产生的废气经配套措施处理后满足排放标准；2.本项目位于留吕工业产业园范围内，不属于土流失重点预防区和重点治理区；3.本项目不属于《产业结构调整指导目录（2024年本）》中“淘汰类”“限制类”建设项目；4.距离最近的水源地为西南侧距离项目7.2km的寿光市寒桥水源地，距离较远；5.本项目启动生产设施或者在实际排污之前申请排污许可，本项目产生的生产废水不含重金属、难以生化降解污染物或高盐废水；6.本项目产生的危废均委托资质单位处置；7.本项目不属于高耗水、高污染企业，符合潍坊市市级生态环境准入清单管控要求。1.26实施差别化流域环境准入政策，强化准入管理和底线约束。严格控制缺水地区、水污染严重地区和敏感区域高耗水、高污染行业发展。符合符合符合2.污染物排放管控2.1深化工业污染防治，严格氮、磷、硫酸盐排放控制。2.3严格执行《流域水污染物综合排放标准》，对排入集中污水处理设施的工业企业，所排废水经预处理后须达到集中处理要求，对影响集中污水处理设施出水稳定达标的要限期退出。2.22依法划定并公布禁止使用高排放非道路移动机械的区域，对达不到国三排放标准的非道路移动机械禁止入场作业。逐步实现原生垃圾零填埋。加强危险废物和固体废物污染防治，推进危险废物规范化管理，确保危险废物安全处理率达到100%。2.34实施最严格的全过程环境监管措施，严防危险废物非法转移、处置。严格把控危险废物跨省处置。2.36加强工业产品中有害物质控制，企业搬迁后及时开展场地环境调查、评价土壤污染程度，结果作为场地土壤污染修复的依据。1.本项目废水污染物中总磷、总氮经处理后达标排放；2.本项目生产废水（超声波清洗废水、冲洗废水）经厂区污水处理站收集处理后与纯水制备后浓水、循环冷却排水、经化粪池处理后的生活污水一同经市政污水管网排入寿光东城水务有限公司进行进一步处理；3.本项目非道路移动机械满足国四排放标准；4.项目一般固废收集后外售综合利用；危险废物委托有危险废物处理资质单位处理；项目产生的固废均进行妥善处理；5.本项目严格按照国家固体废物管理法律法规的要求进行暂存、转移和处理，并建立台账进行记录；6.本项目为半导体设备及配件加工项目，产品中有害物质的含量极少，若后期企业发生搬迁行为严格按照相关的标准和规范要求开展场地环境调查。3.环境风险防控3.5按照《国家鼓励的有毒有害原材料（产品）替代品目录（2016年版）》要求，引导企业使用低毒低害和无毒无害原材料，促进企业从源头削减或避免危险废物产生。3.13提升城乡适应气候变化能力。统筹提升城乡极端气候事件监测预警、防灾减灾综合评估和风险管控能力，制定应对和防范措施。1.企业选用低毒低害和无毒无害的原材料；2.针对极端气候事件本项目严格按照国家相应的标准和规范要求制定相应的应对和防范措施。4.资源开发效率要求4.1强化能耗指标管理，在做好单耗强度控制和考核基础上，实行能耗总量控制。重点耗能行业1.本项目生产设备使用电能；2.本项目使用自来水—14—能源利用效率达到或接近国内先进水平，新建高耗能项目单位产品（产值）能耗达到国际先进水平。实施非化石能源倍增行动计划，因地制宜规模化发展风能、太阳能、生物质能等。除民生热电外，原则上不再新增煤电规模。严格执行《中华人民共和国节约能源法》，对达不到强制性能耗限额标准要求的产能予以限期整改，整改未达标的依法予以关停。依法淘汰《产业结构调整指导目录》中属于淘汰类的生产工艺装备或生产落清洁能源节能环保运输工具，凡财政资金购买的公交车、公务用车及市政、环卫车辆优先采用新能源车，全市新增和更新公交车全部使用新能源或清洁能源汽车，港口、机场、铁路货场等新增和更新作业车辆主要使用新能源或清洁能源汽车。燃气壁挂炉能效不得低于2级水平。推动绿色建筑提质增效，县级及以上城市规划区建设用地范围内新建建筑严格执行绿色建筑设计标准。实施清洁采暖。鼓励有条件的地方推进燃煤供热锅炉清洁能源替代。高污染燃料禁燃区禁止散煤销售和使用。4.2严格执行《国务院关于实行最严格水资源管理制度的意见》规定，加强地下水资源保护。严控地下水超采，严格控制开采深层承压水，地热水、矿泉水开发严格实行取水许可和采矿许可。落实最严格水资源管理制度。加快推进节水型社会和节水型城市建设。实施水资源消耗总量和强度双控行动。严格电力、钢铁、纺织、造纸、石化和化工、食品和发酵等高耗水行业用水管理。严格高耗水行业用水定额管理。4.3实行最严格的节约用地制度。实施建设用地总量和强度双控行动。合理有效利用土地资源，严禁违法乱占滥用耕地资源。公司供给的新鲜水，不开采地下水；3.本项目位于留吕工业产业园内且用地类型属于工业用地，不涉及违法乱占滥用耕地资源。管控要求拟建项目情况符合性空间布局1.一般生态空间内严格按照《自然生态空间用途管制办法（试行）》执行，原则上按照限制开发区域管理。目，满足产业准入、总量控制、排放标准等管理制度要求；符合约束污染物排放管控环境风险防控排放标准等管理制度要求的前提下，原则上实行工业项目进工业园或聚集区，集约高效发展。严禁钢铁、水泥、平板玻璃、电解铝、焦化、铸造等行业新增产能，对确有必要新建的必须实施产能置换。严把涉大气污染物排放项目的准入门槛，加快推动重污染企业搬迁和环保改造；禁止新建35蒸吨/小时及以下的燃煤、重油、渣油锅炉及直接燃用生物质锅炉；新、改、扩建工业涂装、包装印刷等含VOCs原辅材料使用的项目，原则上使用低（无）VOCs含量产品。3.合理布局生产与生活空间，严格控制高耗能、高污染行业发展。4.该单元内有县级批复园区，应按照园区的准入条件、行业准入规范及国家、省、市、县的相关要求确定入园项目。电解铝、焦化、铸造等行业；3.本项目不属于高耗水、高污染物排放、产生有毒有害污染物的建设项目；4.本项目在留吕工业产业园范围内，满足园区的准入条件、行业准入规范及国家、省、市的相关准入要求。符合符合1.严格落实大气污染物达标排放、总量控制、环保设施“三同时”、在线监测、排污许可等环保制度。工业企业严格执行国家及我省相关排放标准要求；加强移动源污染防治，逐步淘汰高排放的老旧车，严格控制柴油货车污染排放；推进非道路移动机械污染治理，提升非道路移动新机械准入门槛，加快高排放老旧机械淘汰，鼓励机械“油改电”；加强城镇生活源污染防治，餐饮服务业提高油烟和VOCs协同净化效率，汽修、干洗等行业加强挥发性有机物治理，推广使用低挥发性有机涂料；严格控制扬尘污染。严格执行国家及我省相关排放标准要求，二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、挥发性有机物排放量不得超过区域允许排放量。2.污水处理厂应积极调整生产工艺或进行技术改造，在确保出水达到一级A基础上稳步提升，CODCr、氨氮、总磷达到地表水Ⅳ类标准，总氮提升至12mg/L。污水处理厂出口因地制宜建设功能性人工湿地净化工程，湿地出口水质主要指标达到地表水Ⅲ类水质标准。开展建筑小区、企事业单位内部和市政雨污水管道混错接改造。暂不具备雨污管网分流改造条件的区域，应采取增加截留倍数、调蓄等措施降低溢流量，逐步降低雨季污染物入河湖量。1.本项目大气污染物达标排放，产生的大气污染物排放量不超过区域允许排放量；（超声波清洗废水、冲洗废水）经厂区污水处理站收集处理后与纯水制备后浓水、循环冷却排水、经化粪池处理后的生活污水一同经市政污水管网排入寿光东城水务有限公司进行进一步处理。废水达标排放且不超过区域允许排放量。1.当预测到区域将出现重污染天气时，根据预警发布，按级别启动应急响应措施，实施辖区内应急减排与差异化管控。2.采取有效措施，减少污水处理厂检修期和突发事故状态下污水直排对水体水质的影响。3.对于高关注度地块，调查结果表明超过土壤污染风险管控标准的，应按照规定开展土壤污染状况调查、风险评估、风险管控和修复。4.土壤污染重点监管单位内应严格控制有毒有1.当预测到区域将出现重污染天气时，企业根据预警发布，按级别启动应急响应措施，实施辖区内应急减排与差异化管控；2.厂区内设置应急事故池，污水处理厂检修期间和突发事故状害物质排放，并按年度向生态环境主管部门报告排放情况，建设涉及有毒有害物质的生产装置、储罐和管道，或者建设污水处理池、应急池等存在土壤污染风险的设施，应当按照国家有关标准和规范的要求，设计、建设和安装有关防腐蚀、防泄漏设施和泄漏监测装置，防止有毒有害物质污染土壤和地下水，建立土壤污染隐患排查制度，保证持续有效防止有毒有害物质渗漏、流失、扬散，制定、实施自行监测方案，并将监测数据报生态环境主管部门。态下厂区污水不进行直排；3.本项目所在地不在高关注度地块内；4.建设单位不属于土壤污染重点监管单位。资源开发效率要求1.产生大气污染物的工业企业应持续开展节能减排，持续降低工业企业（园区）单位GDP能耗及煤耗。推广使用清洁能源车。因地制宜推进冬季清洁取暖。加强餐饮业燃料烟气及餐饮油烟防治，鼓励餐饮业及居民生活能源使用天然气、液化石油气、生物酒精等洁净能源。2.禁燃区内不得新、改、扩建燃用高污染燃料设施，原燃用高污染燃料燃用设施（集中供热、电厂锅炉除外），有关单位和个人必须停止直接燃用煤炭等高污染燃料，改用天然气、液化石油气、电或其他清洁能源。禁燃区内未经审批擅自建设的直接燃用煤炭等高污染燃料的锅炉（炉窑）一律停止使用。1.本项目大气污染物达标排放；2.本项目不燃用煤炭等高污染燃料，符合资源开发效率要求。符合文件要求本项目情况符合性坚决淘汰落后低效产能。依据安全、环保、技术、能耗、效益标准，以地炼、钢铁、煤电、水泥、平板玻璃、轮胎、化肥、氯碱等行业为重点，分类组织实施转移、压减、整合、关停任务，加快淘汰低效落后产能。推动重点行业加快实施限制类产能装备的升级改造，2022年年底前，直径3.2米及以下水泥磨机全部整合退出；逾期未完成整合退出的水泥磨机，直接关停退出。本项目不属于地炼、钢铁、煤电、水泥、平板玻璃、轮胎、化肥、氯碱等行业，不使用低效产能装备。符合严把准入关口。坚持环境质量“只能更好，不能变坏”的底线，严格落实污染物排放总量和产能总量控制刚性要求。实施“四上四压”，坚持“上新压旧”“上大压小”“上高压低”“上整压散”。严格落实“两高”项目产能、能耗、煤炭、污染物排放和碳排放“五个减量”替代，新（改、扩）建项目要减量替代，已建项目要减量运行。对“两高”项目实行清单管理，进行分类处置、动态监控，坚决遏制“两高”项目盲目发展。严格执行对钢铁、地炼、煤电、水泥、轮胎、平板玻璃、氮肥等重点行业产能置换要求，确保产能总量只减不增。严禁新增水泥熟料、粉磨产能，严禁省外水泥熟料、粉磨、焦化产能转入寿光市。本项目不属于“两高”项目，符合环境准入符合构建国土空间开发保护新格局。以资源环境承载力和国土空间开发适宜性评价为基础，统筹安排城市建设、产业发展、生态涵养、基础设施和公共服务，优化国土空间开发布局和强度，形成主体功能明显、优势互补、高质量发展的国土空间开发保护新格局。衔接国土空间规划分区和用途管制要求，构建以“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，加强在政策制定、环境准入、园区管理、执法监管等方面的应用，将“三线一单”作为区域资源开发、布局优化、结构调整、城镇建设、重大项目选址和审批的重要依据。完善差别化的市场准入政策，明确禁止开发区域、限制开发区域准入事项，强化保障粮食和生态安全的主体功能，推进优化开发区域、重点开发区域产业改造升级，推动不符合功能定位的产业加快转移，严禁不符合功能定位的开发建设活动本项目符合“三线一单”生态环境分区管控要求。符合实施VOCs全过程污染防治。建立完善石化、有机化工、表面涂装、包装印刷、橡胶制品、防水卷材、塑料制品等重点行业源头替代、过程管控和末端治理的全过程控制体系。全面推进低VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅料使用。到2025年年底前，溶剂型工业涂料及溶剂型油墨使用比例、溶剂型胶粘剂使用量持续降低。严格执行VOCs行业和产品标准。以重点行业企业为目标，以有机液体储罐、装卸、敞开液面、泄漏检测与修复、废气收集、废气旁路、废气治理设施、加油站、非正常工况、产品VOCs含量等为重点治理环节，持续开展VOCs排查整治。组织开展有机废气排放系统旁路摸底排查，逐步取消炼油、石化、煤化工、制药、农药、化工、工业涂装、包装印刷等非必要的VOCs废气排放系统旁路，因安全生产无法取消的，安装有效监控装置纳入监管。探索工业园区、企业集群VOCs“绿岛”项目建设，统筹规划、分类建设集中涂装中心、活性炭集中处理中心、溶剂回收中心。推动企业持续、规范开展泄漏检测与修复（LDAR），鼓励石化、有机化工等大型企业自行开展LDAR。重点加强搅拌器、泵、压缩机等动密封点，以及低点导淋、取样口、高点放空、液位计、仪表连接件等静密封点的泄漏管理。加强监督检查，每年臭氧污染高发季前，对LDAR开展情况进行抽测和检查。加强汽修行业VOCs综合治理，加大餐饮油烟污染治理力度。本项目不属于石化、防水卷材、塑料制品油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅料。符合具体要求本项目情况符合性（一）推进源头替代。通过使用水性、粉末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低VOCs含量的涂料，水性、辐射固化、植物基等低VOCs含量的油墨，水基、热熔、无溶剂、辐射固化、改性、生物降解等低VOCs含量的胶粘剂，以及低VOCs含量、低反应活性的清洗剂等，替代溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等，从源头减少VOCs产生。VOCs涂料、油墨、胶粘剂物料。符合（二）加强过程控制。1.加强无组织排放控制。重点对含VOCs物料（包括含VOCs原辅材料、含VOCs含VOCs废料以及有机聚合物材料等）储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散、工艺过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、废气有效收集等措施，削减VOCs无组织排放。2.加强设备与场所密闭管理。含VOCs物料应储存于密闭容器、包装袋。含VOCs物料转移和输送，应采用密闭管道或密闭容器、罐车等。含VOCs物料生产和使用过程，应采取有效收集措施或在密闭空间中操作。3.推进使用先进生产工艺。通过采用全密闭、连续化、自动化等生产技术，以及高效工艺与设备等，减少工艺过程无组织排放。挥发性有机液体装载优先采用底部装载方式。本项目生产过程均在生产车间内，煮蜡、粘蜡、涂蜡过程中产生的VOCs量较小，于车间内无组织排放。通过采用全密闭、连续化、自动化等生产技术，以及高效工艺与设备等，减少工艺过程无组织排放。符合文件要求本项目情况符合性管控要求相关内容（一）加强物料运输、装卸环节管控。厂区出入口配备车辆清洗装置或采取其他控制措施，确保出场车辆清洁、运输不起尘。厂区道路硬化，平整无破损、无积尘，厂区无裸露空地，闲置裸露空地及时绿化或硬化，厂区道路定期洒水清扫。本项目加强物料运输、装卸环节管控，厂区道路硬化，增加厂区绿化和硬化减少运输扬尘。符合（二）加强物料储存、输送环节管控。含挥发性有机物（VOCs）物料储存于密闭容器、包装袋，高效密封储罐，封闭式储库、料仓等；封闭式储库、料仓设置VOCs有效收集治理设施。含VOCs物料输送，采用密闭管道或密闭容器、罐车等。项目生产车间保持关闭。生产车间除人员、车辆、设备、物料进出时，以及依法设立的排气筒、通风口外，门窗及其他开口（孔）部位应随时保持关闭状态。产符合VOCs、颗粒物工艺配备废气处置设施。（三）加强生产环节管控。通过提高工艺自动化和设备密闭化水平，减少生产过程中的无组织排放。生产过程中的产尘点和VOCs产生点密闭、封闭或采取有效收集处理措施。生产设备和废气收集处理设施同步运行，废气收集处理设施发生故障或检修时，停止运行对应的生产设备，待检修完毕后投入使用。生产设备不能停止或不能及时停止运行的按照与生产设备“同启同停”的原则提升治理设施运行率。根据处理工艺要求，在处理设施达到正常运行条件后再启动生产设备，在生产设备停止、残留废气收集处理完毕后，方可停运处理设施。废气处理系统发生故障或检修时，对应生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用。符合（四）加强精细化管控。针对各无组织排放环节，制定“一厂一策”深度治理方案。制定无组织排放治理设施操作规程，并建立管理台账，记录操作人员操作内容、运行、维护、检修和含VOCs物料使用回收等情况，记录保存期限不得少于三年。鼓励安装视频、空气微站等监控设施和综合监控信息平台，用于企业日常自我监督，逐步实现无组织排放向精细化和可量化管理方式转变。本项目通过优化集气措施，合理选择收集点位，提高有组织收集效率，减少无组织排放。符合—20—建设规模：拟建项目新建生产车间及配套设施，购置数控车床、数控加说明：因市场原因及企业自身发展需要，本次环评只针对一期建设项目制品500套、RTP快速退火设备20台、工程类别项目名称项目内容主体工程1#生产车间积15840m2，1F主要安装数字化管焊机、逆变式氩弧焊、绕丝机、包装机、电热鼓风干燥箱、空压机、空调机组，1F南侧设置设备测试区，主要安装热电偶检定炉、热电偶清洗退火装置、多通道低电势扫描器、氦质谱检漏仪、压力测试系统等设备，2F设置为仓库。2#生产车间1座，2层，长58m，宽32m，1F高8m，2F高4m，总建筑面积3712m2，1F主要安装数控车床、数控斜车、数控加工中心、钻攻中心、精雕机、台式攻丝机、台式钻床、火花机、数控电火花切割、数控攻丝机、数控高精度车磨机床、数控高精度外圆磨机床、数控龙门式高精度磨槽机床、空调机组等设备，2F设置为仓库。—21—3#生产车间1座，2层，长51.72m，宽29m，1F高8m，2F高4m，总建筑面积2999.76m2，1F主要设置酸处理间（安装HF酸洗槽、HCl酸洗槽、HNO3酸洗槽、冲洗台）、仪器间（安装加热台、氢氧喷火枪）、退火间（安装卧式退火炉、立式退火炉）、喷砂间（安装喷砂机）、检验间（安装三坐标、测高仪、调直机）、煮蜡粘蜡间（安装煮蜡槽、热水槽）、切磨间（安装玻璃车床、磨盘、球磨机、切割锯、卧轴矩台平面磨床）、超声波清洗间（安装超声波清洗机）、纯水间、污水处理站等；2F西侧设置实验室，2F东侧设置仓库，东北角设置危化品库。储运工程1#仓库1处，位于1#生产车间2楼，建筑面积7920m2，主要存放产品、原料等。2#仓库1处，位于2#生产车间2楼，建筑面积1856m2，主要存放产品、原料等。3#仓库1处，位于3#生产车间2楼东侧，建筑面积约700m2，主要存放产品、原料等。危化品库1处，建筑面积约50m2，位于3#仓库东北角，主要暂存氢氟酸、盐酸、硝酸、氨水、双氧水等液体。气体暂存库1座，1层，长15m，宽6m，高4m，建筑面积90m2，主要暂存氧气、氢气、氩气、氮气等气体。配套工程纯水间1处，位于3#生产车间1F南侧，建筑面积约40m2，主要安装纯水设备。实验室1处，位于3#生产车间2F西侧，建筑面积约750m2，用于设备测试，实验室东侧设置设备测试区，安装待测试设备（自产的外延炉设备、RTP快速退火设备、半导体用扩散设备），实验室西侧设置检测间（安装膜厚仪、颗粒测试仪），实验室西南侧设置清洗间（安装清洗机、甩干机）。辅助工程综合楼主要用于员工办公及生活。配电室1座，1层，长16m，宽6m，高4m，建筑面积96m2。发电机房1座，1层，长8m，宽6m，高4m，建筑面积48m2，主要用于应急发电，发电机房内设储油间。2座，北门卫长6m，宽4m，高4m，南门卫长10m，宽4m，高4m，总建筑面积64m2。公用工程供水寿光市供水管网提供。供电项目用电主要由市政供电管网提供。设置发电机房，设置一台柴油发电机组作为备用电源。供暖空调供暖。环保工程废气石英制品酸洗产生的酸性气体、实验室硅片酸洗产生的酸性气体分别经收集后经酸雾净化塔处理后通过排气筒P1排放；实验室设备测试收集的测试尾气、实验室硅片碱洗过程收集的尾气经电热水洗尾气处理系统处理后通过排气筒P2排放；焊接烟尘经移动式焊烟净化器收集处理后无组织排放；喷砂颗粒物收集后经布袋除尘器处理后无组织排放；机加工过程中产生的VOCs、煮蜡、涂蜡、粘蜡工序产生的VOCs量较少，无组织排放，物料储存、转移和输送、工艺过程尽可能全密闭化管理，减少无组织排放。柴油发电机发电废气经配套烟气净化器处理后无组织排放。—22—废水处理工艺：中和+絮凝沉淀）处理后的生产废水（超声波清洗废水、冲洗废水）、制备纯水产生的浓水、循环冷却排水一同经污水管网排入寿光东城水务有限公司处理达标后排放。优先选用低噪声设备，合理布置高噪声设备，对主要噪声源采取减振、消声、隔声等措施。在厂区南侧设置一座一般固废库，建筑面积20m2，储存能力为20t，暂存一般固废。在厂区南侧设置一座危废贮存库，建筑面积20m2，储存能力为20t，暂存危险废物。生活垃圾委托环卫部门定期清运。应急措施建设30m3的应急事故水池，并配套应急管网、切换阀门。序号设备名称设备型号数量（台/套/个）位置123456789数字化管焊机ARC200P11#生产车间数字化管焊机AW2001逆变式氩弧焊WS-200A2热电偶检定炉DTL-600B1热电偶检定炉DTL-3001热电偶检定炉DTL-T1热电偶清洗退火装置PT10001多通道低电势扫描器DTZ-011氦质谱检漏仪1压力测试系统TB-Y810A1绕丝机FD-91001电热鼓风干燥箱101-4B1空压机APC-2C1空压机VS37AIV-H4储气罐3空调机组TAC0200251包装机TDY2000F2数控车床SAL-51822#生产车间—23—202122232425262728293031323334353637383940414243444546474849数控斜车SAH405023#生产车间数控斜车C400A2数控加工中心PRV-1270L32数控加工中心PRV-850L3B2数控加工中心VMC-8552数控加工中心T-V856S2数控加工中心TH5670*902钻攻中心PRV-TC64钻攻中心T-6406精雕机D-6506精雕机400x4002数控龙门式高精度磨槽机床HT-MC216002数控高精度外圆磨机床HT-CKD46M2数控高精度车磨机床HT-MC50100M2数控攻丝机SRM-M24W2数控电火花切割AR100-MA2火花机HHJ-800C2台式攻丝机SWJ-12A2台式钻床ZQ41202空调机组TAC0200251卧轴矩台平面磨床M7460*122煮蜡槽L1200×W600×H6001热水槽L900×W900×H10001冲洗台L2900×W800×H6501酸洗槽（氢氟酸）L3100×W700×H7502酸洗槽（硝酸）L1500×W800×H8001酸洗槽（盐酸）L1500×W800×H8001水洗槽L1200×W800×H8001超声波清洗机700×700×6502加热台400*16002氢氧喷火枪YL-SY00120—24—50515253545556575859606162636465666768697071727374757677喷砂机JY-110D2纯水间实验室发电机房玻璃车床Ø402玻璃车床Ø1002玻璃车床Ø1552玻璃车床Ø2102玻璃车床Ø2502玻璃车床Ø3502玻璃车床Ø5502玻璃车床Ø6202退火炉立式1退火炉1三坐标10158型1测高仪TESAHITE7001调直机HZJX-G1磨盘20B2切割锯5球磨机LM-301热风枪DWFQ-19043空调机组TAC0200251纯水制备设备反渗透、EDI1冷水机水箱20m31颗粒测试仪SP11膜厚仪SF-31清洗机别为SC-1碱洗槽、喷淋水槽1、酸洗槽（HF）、喷淋水槽2、SC-2酸洗槽单个槽尺寸为600mm×300mm×600mm1甩干机FX8801电热水洗尾气处理TP-600HPS1柴油发电机100kW1电动叉车1—25—合计本项目半导体用扩散设备、半导体用加热炉体、RTP延炉设备均为手工装配，产污较少；半导体用石英制品的瓶颈设备主要为退火炉，不锈钢备件的瓶颈设备主要为精雕机，陶瓷备件的瓶颈设备主要为卧设备名称型号产品数量/台单台加工能力单批次用年生产时最大设计能力/a环评产量/a退火炉式、立式半导体用石英制品24.5240010666件10000件作为产品外售，500件作为配件用于半导体扩散设备、RTP延炉设备组装精雕机400×400不锈钢备件210.56002400件2000件作为产品外售，400件作为配件用于半导体扩散设备、RTP延炉设备组装矩台平面磨床M7460*12备件210.5350件1000件作为产品外售，400件作为配件用于半导体扩散设备、RTP延炉设备组装序号产品名称执行标准备注1半导体用扩散设备《半导体器件生产用扩散炉测试方法》（SJ2065-82）；《半导体器件生产用扩散炉通用技术条件》（SJ1794-81）；《电热装置基本技术条件第4部分:间接电阻炉》（GB/T10067.4-2005）配件主要有不锈钢外壳、钣金框架、SIC件、面板、不锈钢备件、陶瓷备件、石英制品、半导体用加热炉体、控制系统等配件，其中不锈钢备件、陶瓷备2RTP快速退火设备20台《半导体制造设备的环境、健康与安全标准》（SEMIS2《电热装置基本技术条件第4—26—3部分:间接电阻炉》（GB/T10067.4-2005）件、半导体用加热炉体、石英制品均为自产外延炉设备20台《制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备》（T/ZJATA0017-2023）4半导体用加热炉体200台《电热装置基本技术条件第34部分：晶体管式高频感应加热装置》（GB/T10067.34-2015）；《GuideforMaterialSelectionforHeaterSystems》（SEMIF109修订中）用于半导体扩散设备、RTP快速退火设备、外延炉设备组装5半导体用石英制品500套件）《高纯不透明石英玻璃》（GB/T42800-2023）；《光纤预制棒烧结用石英炉管》（JC/T2612-2021）；《集成电路扩散设备用石英外（T/CEMIA043-2024）自用量400件，用于半导体扩散设备、RTP快速退火设备、外延炉设备组装6不锈钢备件（约2000件）《半导体设备用超高纯不锈钢的临界点蚀电位（CPV）测试标准》（SEMIF120）自用量400件，用于半导体扩散设备、RTP快速退火设备、外延炉设备组装7陶瓷备件件）《半导体设备用碳化硅陶瓷零部件》（T/CI961-2025）自用量400件，用于半导体扩散设备、RTP快速退火设备、外延炉设备组装序号名称单位年用最大暂存量存储方式/形态/规格储存位置备注半导体用扩散设备1不锈钢外壳件5堆存/固体1#仓库外购2钣金框架套5堆存/固体1#仓库外购3面板套5堆存/固体1#仓库外购4SIC件件200堆存/固体1#仓库外购5控制系统电子元器件套5堆存/固体1#仓库外购6工控机件5堆存/固体1#仓库外购—27—7PLC件5堆存/固体1#仓库外购8真空计件5堆存/固体1#仓库外购9温度控件件5堆存/固体1#仓库外购伺服电机件5堆存/固体1#仓库外购不锈钢备件件20040堆存/固体2#仓库陶瓷备件件20040堆存/固体2#仓库半导体用加热炉体台20堆存/固体1#仓库半导体用石英制品件30050堆存/固体3#仓库氩气瓶8140L/瓶气体暂存库外购，用于焊接工序焊材t0.20.02525kg/箱1#仓库外购，用于焊接工铅钎料》（GB/T20422-2018）RTP快速退火设备不锈钢外壳件205堆存/固体1#仓库外购钣金框架套205堆存/固体1#仓库外购面板套205堆存/固体1#仓库外购20SIC件件40堆存/固体1#仓库外购21控制系统电子元器件套205堆存/固体1#仓库外购22工控机件205堆存/固体1#仓库外购23PLC件205堆存/固体1#仓库外购24真空计件205堆存/固体1#仓库外购25温度控件件205堆存/固体1#仓库外购26伺服电机件205堆存/固体1#仓库外购27不锈钢备件件4040堆存/固体2#仓库28陶瓷备件件4040堆存/固体2#仓库29半导体用加热炉体台2020堆存/固体1#仓库30半导体用石英制品件6050堆存/固体3#仓库31氩气瓶2140L/瓶气体暂存库外购，用于焊接工序—28—32焊材t0.050.02525kg/箱1#仓库外购，用于焊接工铅钎料》（GB/T20422-2018）外延炉设备33不锈钢外壳件205堆存/固体1#仓库外购34钣金框架套205堆存/固体1#仓库外购35面板套205堆存/固体1#仓库外购36SIC件件40堆存/固体1#仓库外购37控制系统电子元器件套205堆存/固体1#仓库外购38工控机件205堆存/固体1#仓库外购39PLC件205堆存/固体1#仓库外购40真空计件205堆存/固体1#仓库外购41温度控件件205堆存/固体1#仓库外购42伺服电机件205堆存/固体1#仓库外购43不锈钢备件件4040堆存/固体2#仓库44陶瓷备件件4040堆存/固体2#仓库45半导体用加热炉体台2020堆存/固体1#仓库46半导体用石英制品件6050堆存/固体3#仓库47氩气瓶2140L/瓶气体暂存库外购，用于焊接工序48焊材t0.050.02525kg/箱1#仓库外购，用于焊接工铅钎料》（GB/T20422-2018）半导体用加热炉体49不锈钢板t50.5堆存/固体1#仓库外购50铝材t8.50.5堆存/固体1#仓库外购51t9.60.16堆存/固体1#仓库外购52保温棉t7.2堆存/固体1#仓库外购53绝缘子t3.60.06堆存/固体1#仓库外购54挡风管个48020堆存/固体1#仓库外购55焊材t0.20.02525kg/箱1#仓库外购，用于焊接工—29—铅钎料》（GB/T20422-2018）56氩气瓶8140L/瓶气体暂存库外购，用于焊接工序57无水乙醇L2004危化品库外购，用于外观处理工序58切削液t0.2200kg/桶危化品库外购，用于机加工工序；质量标准：《合成切削液》（GB/T6144-2010）半导体用石英制品59石英材料t2堆存/固体3#仓库外购60石蜡t0.90.225kg/袋3#仓库外购，用于石英制品煮蜡、涂蜡、粘蜡工序；质量标准：《全精炼石蜡》（GB/T446-2023）61松香t0.450.125kg/袋3#仓库外购，用于石英制品煮蜡、涂蜡、粘蜡工序；质量标准：《脂松香》（GB/T8145-2003）62蜂蜡t0.2250.0525kg/袋3#仓库外购，用于石英制品煮蜡、涂蜡、粘蜡工序；质量标准：《蜂蜡》（GH/T63金刚砂t50.125kg/袋3#仓库外购，用于喷砂工序64氢氟酸瓶300危化品库外购，用于氢氟酸酸洗工序；质量标准：《工业高纯氢氟酸》（HG/T4509—2023）65硝酸瓶20危化品库外购，用于硝酸酸洗纯工业品硝酸》（HG/T5555-2019）66盐酸瓶40危化品库外购，用于盐酸酸洗622-2006）67氢气瓶050L/瓶气体暂存库外购，用于石英制品氢氧焰熔接、抛光工序68氧气瓶90009050L/瓶气体暂存库外购，用于氢氧焰熔接、抛光工序—30—不锈钢备件69不锈钢板t0.5堆存/固体2#仓库外购70铝材t200.5堆存/固体2#仓库外购71焊材t0.50.0525kg/箱2#仓库外购，用于焊接工铅钎料》（GB/T20422-2018）72氩气瓶20240L/瓶气体暂存库外购，用于焊接工序73切削液t3.50.2200kg/桶危化品库外购，用于机加工工序；质量标准：《合成切削液》（GB/T6144-2010）陶瓷备件74陶瓷基体材料t1堆存/固体3#仓库外购75石蜡t0.10.125kg/袋3#仓库外购，用于陶瓷备件煮蜡、涂蜡、粘蜡工序；质量标准：《全精炼石蜡》（GB/T446-2023）76松香t0.050.0525kg/袋3#仓库外购，用于陶瓷备件煮蜡、涂蜡、粘蜡工序；质量标准：《脂松香》（GB/T8145-2003）77蜂蜡t0.0250.02525kg/袋3#仓库外购，用于陶瓷备件煮蜡、涂蜡、粘蜡工序；质量标准：《蜂蜡》（GH/T实验室测试用原辅材料78硅片片60030025片/盒实验室外购，用于实验室设备测试工序79氢氟酸瓶20危化品库外购，用于实验室用硅片回收工序；质量标准：《工业高纯氢氟酸》（HG/T4509—2023）盐酸瓶20危化品库外购，用于实验室用硅片回收工序；质量酸》（GB/T622-2006）氨水瓶20危化品库外购，用于实验室用硅片回收工序；质量—31—（HG/T5354-2018）双氧水瓶20040危化品库外购，用于实验室用硅片回收工序；质量标准：《工业过氧化氢》（GB/T1616-2014）二氯乙烯L2危化品库外购，用于实验室设备测试工序；质量标TEOS（正硅酸乙酯）L50危化品库外购，用于实验室设备测试工序；质量标准：《电子级正硅酸乙酯》（GB/T43965-2024）氢气瓶1150L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序氧气瓶25550L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序氩气瓶2040L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序氮气瓶2040L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序氦气瓶25520L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序90氨气瓶25520L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序91硅烷瓶25520L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序92二氯二氢硅瓶25520L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序93一氧化二氮瓶25520L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序94一氧化氮瓶25520L/瓶气体暂存库外购，用于实验室设备测试工序其他原辅材料95机油kg20kg/桶危化品库外购，用于设备维护；质量标准：《导轨油》（SH/T0361-1998）96润滑油kg20kg/桶危化品库外购，用于设备维护；质量标准：《导轨油》（SH/T0361-1998）97空压机油kg20020020kg/桶危化品库外购，用于设备维护；质量标准：《空—32—12691-2021）98柴油L100L/罐发电机房外购，用于柴油发电99生石灰kg502525kg/袋3#仓库外购，用于废水处理剂）kg755kg/袋3#仓库外购，用于废水处理PAM（絮凝剂）kg2555kg/袋3#仓库外购，用于废水处理氢氧化钙kg2505025kg/袋3#仓库外购，用于废气处理氢氧化钠kg50205kg/袋危化品库外购，用于废气处理；质量标准：《工业用氢氧化钠》（GB/T209-2018）），②石蜡：又称晶型蜡，通常是白色、无味的蜡状固强烈吸收紫外光，在空气中能自动氧化或诱导后氧化在空气中易氧化，色泽变深。松香在热熔、压敏和溶④蜂蜡：常温下，蜂蜡呈固态、质较软，呈淡黄色、黄色或深棕色，具—33—有蜂蜜和蜂花粉样香气，嚼之细腻而黏牙、无油⑥氢氟酸：氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈，无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。化学式：HF；分子量：20.0063；CAS登录号：⑦硝酸：硝酸是一种具有强氧化性、腐蚀性的一元无机强酸。是六大无EINECS登录号：231-714-2；水溶性：浓度最高为98%属性：化学试剂。硝酸不稳定，遇光或热会分解而放出二氧化氮，分解产生的二氧化氮溶于硝酸，从而使外观带有浅黄色，应在棕色瓶中于阴暗处避光盛有浓盐酸的容器打开后氯化氢气体会挥发，与空气中的水蒸气结合产生盐—34—酸小液滴，使瓶口上方出现酸雾。盐酸是胃酸的主要成分，它能够促进食物⑨无水乙醇：无色澄清液体，有特殊香味，易流动水分，能与水和氯仿、乙醚等多种有机溶剂以任无水存在下稳定，遇水分解成乙醇与硅酸，在潮湿空气中变浑浊，溶于醇、强烈刺激性。由四氯化硅和无水乙醇作用后经蒸馏而化学腐蚀涂料和制备有机硅溶剂，也可用于有机合成—35—质活泼，因此在使用和操作时，必须采取必要的®二氯二氢硅：化学式SiH2Cl2，分子量：101.010；熔点：-122℃；沸）：）：290L/L；临界温度：176.0℃；临界压力：4676kPa；临界密度：463kg/m3；化学工业上可用于合成氨、硝酸、氰氨化钙、氰化物、氮气用作防止氧化、挥发、易燃物质的保护气体、灯泡作冷源，用于仪器或机件的深度冷冻处理及食品速冻。及电子工业等。可用于电器、食品包装充填气、半导体—36—⑩氨气：氨气是一种无机化合物，是一种无色、有强烈的刺激气味的气），沸点：-33.5℃；水溶性：极易溶于水；密度：0.771g/L；空气中爆炸低限含外观：无色有刺激性恶臭的气味；应用：用作制一氧化二氮为类似于氧气的强氧化剂。一氧化二氮具有色气体；应用：制硝酸、人造丝漂白剂、丙烯及二甲醚的安定剂；安全性描述：有毒气体；危险性符号：危险标记:6（有毒气体）；危险性描述：氮氧化物主要损害呼吸道；分子键长：115.08pm；磁性：顺磁性；稳定性：不稳它是一种无色晶体或白色粉末，由生石灰（氧化钙）与水混合或熟化而得。—37—）；末状固体；应用：水溶液可验证二氧化碳，建材；②生石灰：生石灰，又称烧石灰，外形为白色）：具有吸附、凝聚、沉淀等性能。）：例溶于水，水溶液为均匀透明的液体。能使悬浮物透明液体，是一种强氧化剂，其水溶液适用于医用伤品消毒。在一般情况下会分解成水和氧气，但分解速），），—38—俗称烧碱、火碱、苛性钠，为一种具有强腐蚀性的强形态，易溶于水（溶于水时放热）并形成碱性溶液，为碱性清洗剂，溶于乙醇和甘油，不溶于丙醇、乙醚腐蚀作用。与氯、溴、碘等卤素发生歧化反应，与酸水是实验室重要的试剂，主要用作分析试剂，中和剂合成和弱碱性溶剂。用于铝盐合成和某些元素（如铜、镍）的检定和测定，用以沉淀出各种元素的氢氧化物。作为一种碱性消毒剂。毛纺、丝绸、印染等工业用于洗涤羊毛、呢绒、值，减缓给水中二氧化碳的腐蚀。也是锅炉停炉保护—39—本项目石英制品酸洗过程中使用氢氟酸，氢验室酸洗工序时间短，产生的废气本次评价不定量分入方序号原料名称用量序号去向消耗量1HF中氟元素0.69781进入废气0.00832进入废水0.01533进入固废0.6742合计0.6978合计0.6978根据企业提供平面布置图，项目设置两处大门，分别位于南侧、北侧，风向，生产车间与综合楼之间、厂界四周设置绿化隔离带，以降低废气、噪声及视觉影响，生产区对办公生活区影响不大，符合环保基本要求；厂区南侧紧邻厂区路、北侧紧邻泰丰街，交通便利，物流顺畅，厂区功能区明确，—40—（建设项目平面布置图详见附图2、附图3）。项目劳动定员80人，项目生产过程中采用单班工作制，全年运营300建设名称设计能力备注给水、排水给水：3611.46m3/a排水：2963.36m3/a给水由市政自来水公司供给；排水量不包含雨水量。供电550万千瓦时/年由寿光市供电所供给。在厂区内设置一台柴油发电机作为应急电源。供暖采用空调取暖。①脱蜡用水：本项目设电加热热水槽，加工后的石英制品、陶瓷备件需用热水融化粘蜡混合物，使石英制品、陶瓷备件与操作台脱离，粘蜡混合物不溶于水且密度比水小悬浮于水面，下个班次加热热水槽前将冷却凝固在表面的废蜡进行收集，剩余水留在热水槽内继续使用无需排放，仅热水蒸发每②玻璃、陶瓷切割、磨削用水：切割、磨削时喷水抑尘、降温，此工序用水经切割、磨削水沉淀池沉淀后循环使用，定期清理沉淀池中沉渣，清理消耗新鲜水240m3/a，则玻璃、陶瓷切割及磨削过程中需补充水量为③切削液配制用水：根据建设单位提供的材料，每5kg切削液加95kg—41—），硝酸（70%）、100L盐酸（37%）需先使用纯水调配至合适浓度后再进行酸使用纯水5.28m3+0.89m3+0.34⑥石英制品冲洗用水：本项目半导体用石英制品产量为500套/a（约生产石英制品10000件），生产过程中，石英制品均需使用氢氟酸进行酸洗，单件石英制品冲洗时间平均约8min，则氢氟酸酸洗后冲石英制品其中约2000件/a，需使用硝酸进⑦酸雾净化塔用水：项目酸雾净化塔使用氢氧化钙配制石灰乳，配制比例为约50g氢氧化钙：1L纯水，项目氢氧化钙用量为250kg/a，经计算，酸）：），2.酸洗液配制用水（HF）：硅片碱洗后需使用氢氟酸溶液进行酸洗，每—42—），3.SC-2酸洗液配制用水：硅片需进行SC-2酸洗液酸洗，每季度清洗一），4.冲洗用水：实验室硅片清洗每季度集中进行一次，每年共计清洗4批洗时流速约6L/min喷淋水槽2用于氢氟酸酸洗工序后、SC-25.冷却用水：设备进行测验时，需使用循环冷却水对设备进行降温，冷处理设计规范》（GB/T50050-2017）中5.0.7闭式系统的补充水量不宜大于中盐分累积，同时会对循环水管路产生结垢、腐蚀等不利影响，因此冷却用⑩纯水制备用水：超声波清洗用水、石英制品酸洗液配制用水、石英制配制用水（HF）、实验室SC-2酸洗液配制用水、实验室冲洗用水等均使用—43—①生活污水：生活用水量为960m3/a，废水排放系数以80%计，则生活②制备纯水产生的浓水：本项目纯水设备制水效率50%，新鲜用水量较少，产生量按冲洗用水量的95%计，则纯水冲洗工序产生的冲洗废水④超声波清洗废水：本项目超声波清洗用水每周更换一次，计算年排放⑤实验室冲洗废水：冲洗使用纯水0.77m3/a，冲洗时水速流动快蒸发较少，产生量按冲洗用水量的95%计，则实验室冲洗工序产生的冲洗废水⑥冷却废水：实验室设置冷水机，通过循环冷却水给设备降温，循环系会对循环水管路产生结垢、腐蚀等不利影响，因此冷却用水需定期更换，每氢氟酸酸洗、SC-2酸洗工序，相关槽液定期进名称尺寸数量槽液更换频次槽液更换量（m3/a）更换槽液去向石英制品氢氟酸酸洗3100mm×700mm×750mm2每半年1次5.43暂存于危废贮存库托有资盐酸酸洗1500mm×800mm×800mm10.35硝酸酸洗1500mm×800mm×800mm10.66—44—实验室硅片回收600mm×300mm×600mm1每年4次0.65质单位处置氢氟酸酸洗600mm×300mm