CN119452451A 用于图像扰动补偿的系统和方法 （Asml荷兰有限公司）

2024.12.26PCT/EP2023/0740932023.09.01WO2024/061596EN2024.03.282从根据所述扫描而生成的图像中提取第一扰动数据和第二扰使用所提取的所述第一扰动数据和所述第二扰动数据、所述参考将所述图像扰动的所述校准频率、幅度和相位与所述参考信号使用所述补偿信号来控制多个偏转驱动器，所述多个偏转驱动器2.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读介质，其中所述图像扰动包括所生成的所3.根据权利要求2所述的非暂态计算机可读介质，其中生成所述图像扰动的所述校准5.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读介质，其中操纵带电粒子以扫描所述样品6.根据权利要求1所述的非暂态计算机可读介质，其中所述第一扰动数据包括在第一7.根据权利要求6所述的非暂态计算机可读介质，其中所述补偿信号包括在所述第一方向上的所生成的所述图像的图像坐标和在所述第二方向上的所生成的所述图像的图像8.根据权利要求7所述的非暂态计算机可读介质，其中所述指令集能够由计算设备的从根据所述扫描而生成的图像中提取第一扰动数据和第二扰使用所提取的所述第一扰动数据和所述第二扰动数据、所述参考将所述图像扰动的所述校准频率、幅度和相位与所述参考信号使用所述补偿信号来控制多个偏转驱动器，所述多个偏转驱动器315.根据权利要求14所述的系统，其中所述补偿信号包括在所述第一方向上的所生成4[0002]本申请要求于2022年9月21日提交的美国申请63/408,772的优先权，该申请通过[0007]在一些实施例中，系统和方法可以包括基于成像系统的功率生成指示样品的扫描的扫描信号；从根据扫描而生成的图像中提取图像扰动的频率曲线；基于参考信号和所提取的频率分布生成校准信号；使用校准信号和参考信号生成补偿信[0009]图2A是图示了与本公开的实施例一致的示例性多束系统的示意图，其是图1的示5[0010]图2B是图示了与本公开的实施例一致的示例性单束系统的示意图，其是图1的示[0011]图3A是与本公开的实施例一致的电子束检查系统中实现的偏转结构的说明性实[0012]图3B是与本公开的实施例一致的可以被用于电子束检查系统中的偏转系统的说[0016]图6A和图6B是与本公开的实施例一致的样品上的线图案的示例性的所生成的图[0021]提高产量的一个要素是监测芯片制造过程，以确保生产出足够数目的功能性I监测过程的一种方法是在其形成的各个阶段检查芯片电路结构。可以使用扫描电子显微镜 [0022]SEM的工作原理类似于相机。相机通过接收和记录从人或物体反射或发射的光的亮度和颜色来拍摄照片。SEM通过接收和记录从结构反射或发射的电子的能量或数量来拍6检测器可以同时接收更多的离开电子，并以更高的效率和更快的速度生成晶片结构的图[0023]系统供电线引发的图像扰动是检查系统中的图像扰动的主要关键源之一。具体[0025]所公开的实施例中的一些提供了通过使用基于硬件的方法来补偿图像扰动从而[0029]图1图示了与本公开的实施例一致的示例性电子束检查(EBI)系统100。EBI系统装载端口106a和第二装载端口106b。EFEM106可以包括附加的装载端口。第一装载端口[0030]EFEM106中的一个或多个机械臂(未示出)可以将晶片传输到装载/锁定腔室10装载/锁定腔室102连接到装载/锁定真空泵系统(未示出)，该系统移除装载/锁定腔室1027[0031]控制器109电连接到电子束工具104。控制器109可以是被配置为执行EBI系统100通用阵列逻辑(GAL)、复杂可编程逻辑器件(CPLD)、现场可编程门阵列(FPGA)、片上系统备的任意组合。代码可以包括操作系统(OS)和用于特定任务的一个或多个应用程序(或个或多个存储器。应于不同的吞吐量和分辨率要求来优化不同扫示例性电子束工具104的示意图，该多束检查工具是图1的EBI系统100的部分。在一些实施例中，电子束工具104可以作为单束检查工具来操作，其中单束检查工具是图1的EBI系统掩模)。多束电子束工具104还可以包括次级投射系统250和电子检测设备240。初级投射系统230可以包括物镜231。电子检测设备240可以包括多个检测元件241、242和243。分束器233和偏转扫描单元232可以被定位在初级投射系统230内部。元232和初级投射系统230可以与装置104的主光轴204对准。次级投射系统250和电子检测设备240可以与装置104的次级光轴28图像形成元件阵列和像差补偿器阵列。在一些实施例中，装置104可以作为单束系统来操为平行束并且被垂直地入射到源转换单元220上。图像形成元件阵列可以包括多个微偏转[0039]会聚透镜210被配置为聚焦初级电子束202。会聚透镜210还可以被配置为通过改电流发生变化。可以通过改变束限制孔的径向尺寸和会聚透镜210的光焦度二者来使电流旋转角度照射源转换单元220。旋转角度随着可调会聚透镜的光焦度或第一主平面的位置中被配置为阻断初级电子束202的外围电子以减少库仑效应。库仑效应可以扩大初级子束[0041]分束器233可以是例如维恩滤波器，其包括生成静电偶极场和磁偶极场的静电偏212和213的单独电子施用静电力。静电力与分束器233的磁偶极场对单独电子施用的磁力9探测斑点221、222和223入射到样品208上，电子从样品208中出现并生成三个次级电子束50eV)和背散射电子(具有介于50eV与初级子束211、212和213的着陆能量之间的电子能系统250随后将次级电子束261、262和263聚焦到电子检测设备240的检测元件241、242和[0044]在一些实施例中，控制器109可以包括图像处理系统，其包括图像获取器(未示器(RAM)、其他类型的计算机可读存储器等等的存储介质。存储装置可以与图像获取器耦[0045]在一些实施例中，图像获取器可以基于从电子检测设备240接收的成像信号获取置为利用样品208的相同位置的多个图像来执行图像[0047]在一些实施例中，控制器109可以控制机动载物台209在检查样品208期间移动样为装置100B)可以是在EBI系统10中使用的单束检查工具。装置100B包括由机动载物台134132c或SORIL透镜中的其他偏转器)可以跨晶片150的表面扫描探测斑点170。检测器144可获取器120还可以执行各种后处理功能，诸如生成轮廓、在所获取的图像上叠加指示符等[0052]电子束工具的聚光镜和照明光学器件可以包括电磁四极电子透镜或由电磁四极施例中，偏转结构400可以是在电子束检查系统的扫描偏转系统中实现的若干偏转结构之结构310包括第一相反电极集311A_B和第二相反电极集312A_B，它们可以被配置为基于施以与施加到电极的电压相对应。包括电极集311A_B和电极集312A_B的多极结构310可以基电极311A和电极311B施加0V，第二驱动器系统302x向电极312A施加V1并向电极312B施加_[0057]第一驱动器系统301y电连接到第一相反电极集311A_B并且被配置为向第一相反构310所讨论的，驱动器系统301y和302x中的每一个被配置为通过向相反电极集(诸如311A_B和312A_B)提供多个离散输出状态来使得对应的相反电极集能够将电子束在一个方[0063]现在对图4B进行参考，其示出了与本公开的实施例一致的多个驱动器的图示表被配置为分离地操作开关351、352和353。控制器50可以被配置为分离地操作驱动器361、232或者图2B的偏转器132c中所实现的偏转器等。多个驱动器系统(301yA_D和302xA_D)中结构310A_D和多极结构310(如图3A中所描绘)共享相同的功能性，以在当被提供有来自驱够向多层结构中的一层中的电极提供高分辨率输出电压来提供更精细的偏转控制。例如，当电子束检查系统中的扫描偏转系统被配置为以等效于向与310A_D中一者尺寸相同的单[0067]现在对图5进行参考，其示出了与本公开的实施例一致的用于图像扰动补偿的示510和补偿系统550中示出了不同的模块或部件，但是应当理解，校准系统510和补偿系统的线图案可以包括由供电线511引发的具有周期性图案的扰动(例如，图6B的线图案620)。幅度和相位，而模块y扫描提取模块515可以提取所生成的图像中的扰动图案在第二方向取模块515可以使用对图像的扰动图案的图像振动分析来提取扰动图案在第一方向和第二图案边缘提取算法以获得用于在时域和频域中进行分析的传输的第一方向幅度和相位以及从模块y扫描提取模块515传输的第二方向幅度和相位进准模块516传输的校准信号和从参考生成器512传输的参考信号进行组合来生成补偿信号。所生成的补偿信号可以包括用于在第一方向上调整所生成的图像的图像坐标和用于在第统500可以在一些时间段内(例如，对于一定数目的样品扫描)生成一次校准信号和补偿信[0076]现在对图7进行参考，该流程图图示了与本公开的实施例一致的图像扰动补偿的输到偏转驱动器(图2A的偏转扫描单元232的偏转驱动器；图2B的偏转器132c的偏转驱动析可以包括应用图像线图案边缘提取算法以获得用于在时域和频域中进行分析的图像振通过将扫描信号与参考信号对准以获得扫描信号与参考信号之间的相位关系来生成校准整所生成的图像的图像坐标和用于在第二方向上调整所生成的图[0096]7.根据条款6所述的方法，其中补[0097]8.根据条款7所述的方法，还包括将[0111]15.根据条款14所述的方法，其[0112]16.根据条款15所述的方法，还包括[0113]17.一种包括指令集的非暂态计算[0120]18.根据条款17所述的非暂态计算[0122]20.根据条款18至19中任一项所[0123]21.根据条款17至20中任一项所述[0124]22.根据条款17至21中任一项所述的非[0125]23.根据条款22所述的非暂态计算机[0126]24.根据条款23所述的非暂态计[0127]25.一种包括指令集的非暂态计算机[0135]26.根据条款25所述的非暂态计[0137]28.根据条款26至27中任一项所述的[0138]29.根据条款25至28中任一项所述的非暂[0139]30.根据条款25至29中任一项所述率曲线包括在第一方向上的图像扰动的幅度和相位以及在第二方向上的图像扰动的幅度[0140]31.根据条款30所述的非暂态计[0141]32.根据条款31所述的非暂态计算机可[0153]37.根据条款33至36中任一项所述[0154]38.根据条款33至37中任一项所述的系统[0155]39.根据条款38所述的系统，其中补偿信号包括在第一方向上的所生成的图像的[0156]40.根据条款39所述的系[0170]45.根据条款41至44中任一项所述[0171]46.根据条款41至45中