CN119458001A 一种离子束超精密修形加工装置及其加工方法 （中国人民解放军国防科技大学）

一种离子束超精密修形加工装置及其加工本发明公开了一种离子束超精密修形加工2底面上。端固定安装有触点一（835滑道（832）内腔的侧壁上固定安装有触点二（836触点一6.根据权利要求5所述的一种离子束超精密修形加工装置，其特征在于：承重组件一37.根据权利要求6所述的一种离子束超精密修形加工装置，其特征在于：承重组件二8.根据权利要求7所述的一种离子束超精密修形加工装置，其特征在于：矫正组件二呈对齐设置。10.应用于权利要求9所述的一种离子束超精密修形加工装置的加工方法，其特征在的整体弯曲程度进行检测；4[0003]中国专利CN118357558B公告了一种弯臂摆动式五轴离子5所述矫正组件一包括固定安装在从动齿轮底面上的安装壳二和内嵌滑动安装在杆四的输出末端固定安装有承重台二，承重台二朝向承重台一的侧壁上开设有一对插孔，推杆五固定段的圆周外壁上固定套设有方形板，方形板的顶面上固定安装有一对电磁铁6转动组件带动检测组件转动，检测组件转动的过程中会同步带动矫正组件二上的顶块转7[0021]为了解决设备长时间运转后，由于运动行程出现误差或者其他原因而导致喷嘴6选技术方案：正组件一10，检测组件8上固定设置有矫正组件二9，检测组件8与矫正组件一10呈交错设8[0023]升降组件4包括竖直固定安装在安装板3上的电动伸缩柱41和固定安装在电动伸发生器5在运转过程中移动而影响检测精度，电动伸缩柱41能够通过移动架42和限位件43[0024]转动组件7包括固定安装在限位件43底面上的电机71，电机71的输出末端固定连动齿轮73之间进行啮合连接，检测组件8和矫正组件一10均固定安装在从动齿轮73的底面[0025]检测组件8包括固定安装在从动齿轮73底面上的安装壳一81和内嵌滑动安装在安中向下滑动，且安装壳一81内腔的顶壁与滑杆一82的顶面之间通过弹簧一88进行弹性连用于检测喷嘴6整体是否出现弯曲变形，其中一根滑杆一82下端部的内侧壁上固定安装有重组件一84与承重组件一84之间能够相互嵌合，当喷嘴6下端离子束出口的边缘处向内变[0026]检测头83包括固定安装在滑杆一82下半部分内侧壁上的电推杆一831，电推杆一9[0027]矫正组件一10包括固定安装在从动齿轮73底面上的安装壳二101和内嵌滑动安装在安装壳二101内腔中的滑杆二102，安装壳二101内腔的顶壁上固定安装有电磁铁二105，磁铁二105与永磁铁二106之间的斥力，推动滑杆二102、电推杆二103和半月板104向下移动齿轮72和从动齿轮73带动矫正组件一10整体转动适当角度后停止，再启动电推杆二103承重组件一84包括固定安装在滑杆一82下端部内侧壁上的电推杆三841，电推杆三841的输出末端固定安装有承重台一842，承重台一842朝向承重组件二89的侧壁上固定[0032]承重组件二89包括固定安装在滑杆一82下端部内侧壁上的电推杆四891，电推杆后在弹簧五973的弹力作用下，顶板98恢复原位，然后启动电推杆五97带动顶板98向上移[0040]当对喷嘴6下端离子束出口的边缘处向内变形的部位的矫正工作完成后，再通过