CN119465377A 确定锑挥发行为的方法、单晶硅棒、硅片和太阳能电池 (天合光能股份有限公司)_第1页
CN119465377A 确定锑挥发行为的方法、单晶硅棒、硅片和太阳能电池 (天合光能股份有限公司)_第2页
CN119465377A 确定锑挥发行为的方法、单晶硅棒、硅片和太阳能电池 (天合光能股份有限公司)_第3页
CN119465377A 确定锑挥发行为的方法、单晶硅棒、硅片和太阳能电池 (天合光能股份有限公司)_第4页
CN119465377A 确定锑挥发行为的方法、单晶硅棒、硅片和太阳能电池 (天合光能股份有限公司)_第5页
已阅读5页,还剩15页未读 继续免费阅读

下载本文档

版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领

文档简介

20锑s3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,根据所述小头的电阻率确定所述磷锑浓度。3任一项所述的方法确定锑的挥发行为,其中,所述单晶硅棒的轴向电阻变化率不大于4棒的生长过程面临着诸多技术难题,其中一个重要原因是锑的强挥发导致难以控制电阻C0锑s5理论浓度(Cs锑根据所述理论浓度(Cs锑)和所述实际磷浓度(CL磷)计算理论磷锑浓度电阻率之间的差值的绝对值小于预设差值。计算单晶硅棒的头部的径向电阻变化率不大于8%,所述单晶硅棒的中部的径向电阻率不大于[0019]包括附图是为提供对本申请进一步的理解,它们被收录6征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。[0028]本申请的方法包括确定锑在引放阶段和/或等径阶段的挥确定锑在引放阶段挥发行为的方法包括如下的步骤S1107指的是加入[0035]在另外一些实施例中,可以使用ICP_MS仪器对小头进行测量以获得磷锑浓度C0锑8333[0045]参考图2所示,确定锑在等径阶段挥发行为的方法包括如下的步骤S210至步骤计算每个位置处的实。9电阻率与实际电阻率之间的差值的绝对值小L锑反向推导得到挥发系凝固分数))atom/cm)09400009.7507E+143.0511E+154.026E+158680002.9795E+154.006E+15834_0.1280264814.6%2.9108E+153.991E+15_0.1766529629.2%2.7524E+153.972E+15250252794543.8%2.5691E+153.986E+1529170.9664595982.4652E+154.015E+1535450.94635617362.1%2.2848E+154.112E+15方法确定锑的挥发行为。使用前文所述的方法确定锑的挥发行为,所得单晶硅棒的电阻均

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

评论

0/150

提交评论