CN119468978A 一种光机组件面形在位检测装置及方法 （中国工程物理研究院激光聚变研究中心）_第1页
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本发明公开了一种光机组件面形在位检测的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射，待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至相机与计算机系统连接，CCD相机记录的光斑图用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品21.一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：包括激光器（101）、光束隔离器步骤3，利用相位板（108）的光场复振幅R(r)、衍射光斑I(r)迭代待测光机组件;3;;步骤3_4，将相位板（108）的出射光场复振幅W(r)传输至C;步骤3_5，利用CCD相机（109）采集的衍射光斑I(r)对光场复;;;步骤3_7，将更新入射光场复振幅w,(r)反传输至待测光机组件（105并更新待测;;4;5[0002]在大型激光惯性约束聚变装置和其他一些大型光学工程中，存在一些体积较大、[0006]本发明的目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进6[0011]进一步地，激光器输出的激光的波长为步骤2，采集并保存CCD相机不同像面坐标所对应的衍射光斑/(n)，其中r为像面7;步骤3_3，将限制后的光场复振幅n(r)传输至相位板，并分别得到相位板的入;;步骤3_4，将相位板的出射光场复振幅W,(r)传输至CCD相机，得到CCD相机的;步骤3_5，利用CCD相机采集的衍射光斑I(r)对光场复振幅G(r)进行模值约;;步骤3_7，将更新入射光场复振幅w,(r)反传输至待测光机组件，并更新待测;;8;I(r)表示CCD相机采集的衍射光斑。组件的衍射光斑信息，然后采用基于广场衍射迭代的相位重构算法实现光机组件面形重9[0020]该激光器101与带孔光屏106均位于准直镜A104的焦点位置，且激光器101输出的本实施例提供一种光机组件面形在位检测方法，包括光机组件面形在位检测装[0028]调整光机组件面形在位检测装置的姿态，使分光棱镜103反射的激光透过带孔光步骤3，利用相位板108的光场复振幅R(r)、衍射光斑I(r)迭代待测光机组件;108的入射光场复振幅wn(r)、出射光场复振幅w,(r)：;;步骤3_4，将相位板108的出射光场复振幅W(r)传输至CCD相机109，得到CCD相机109的光场复振幅G(r)：;步骤3_5，利用CCD相机109采集的衍射光斑I(r)对光场复振幅G(r)进行模值;;步骤3_7，将更新入射光场复振幅w,(r);;s表示支撑域，Y表示衍射传输运算，R*(r)表示相位板108的光场复振幅的;k表示扫描区域所对;(d)、将出射波复振幅V,,)传输到CCD相机109的记录平面，得到光场复振幅,即：;(e)、将CCD相机109记录的衍射光斑的平方根值替换:0的模并保持相;;;a;其中，N表示迭代总数，M表示区域总个数，U;r)表示第n

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