CN119469675A 粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方法 （中国科学院上海光学精密机械研究所）_第1页
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所粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均一种粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜膜夹具上均匀分布有供小尺寸平面元件样品镀极紫外曲面多层膜反射镜反射率测试装置的情层膜元件推算大尺寸极紫外曲面多层膜元件的2步骤一.制作与待评估极紫外曲面多层膜反射镜轮廓相同的镀膜夹具，该镀膜夹具上步骤二.采用原子力显微镜获取不同位置i处小尺寸平面多层膜反射镜样品的表面粗2.根据权利要求1所述的粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方3.根据权利要求2所述的粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方其中，Roc为极紫外曲面多层膜反射镜顶点的曲率半径，N为2)计算极紫外曲面多层膜反射镜不同位置i处截出的顶部总表面积S0i和环形面积Si，M+1即极紫外曲面多层膜反射镜的总表面积S。4.根据权利要求1所述的粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方33)计算入射光束在位置i处小尺寸平面多层膜反射镜第5.根据权利要求4所述的粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方4会导致元件上不同位置处的膜层表面粗糙度不同。对于极紫外波段的多层膜反射镜元件，这给极紫外曲面多层膜反射镜的工艺研发带来了极大层膜反射镜平均反射率的评估方法。本发明适用于反射率对粗糙度敏感的短波长薄膜元[0006]步骤一.制作与待评估极紫外曲面多[0007]步骤二.采用原子力显微镜获取不同位置i处小尺寸平面多层膜反射镜样品的表5[0017]2)计算极紫外曲面多层膜反射镜不同位置i处截出的顶部总表面积S0i和环形面M+1即极紫外曲面多层膜反射镜的总表面积S。6ij为位置i处小尺寸平面多层膜反射镜第j层的复折射率；现粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均[0048]3)能够通过小尺寸平面多层膜元件推算大尺寸极紫外曲面多层膜元件的平均反7[0052]参考图1，本实施例设定极紫外曲面多层膜反射镜为椭球形状，其顶点曲率半径[0055]本实施例的界面粗糙度采用表面粗糙度数据，实际界面粗糙度稍低于表面粗糙[0058

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