CN119469692A 基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统以及方法 （长春通视光电技术股份有限公司）

鹃路888号长春净月科技成果承接转基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系平面反射镜组件和离轴凹抛物面反射镜组件上部件的相对位置使反射至基准墙面的光线和基通过平面反射镜的巧妙设置使得本发明能够直23调整离轴凹抛物面反射镜（8）对应的六维调整装置将Zernike系数4员迫切的需要一种能够快速建立空间基准的测量方法提升检测效率以检测系统的参考基准为激光水平仪一侧激光射至基准墙面上干涉仪基准部件由激光水平仪另一侧激光与干涉仪镜头方向上一对正交设置的辅助平面反射镜基准部件由激光水平仪另一侧激光与辅助平面反射镜组件的辅5助平面反射镜的反射面和基准墙面依次光路连接构成,以使辅助平面反射镜反射至基准墙离轴凹抛物面反射镜基准部件由激光水平仪另一侧激光与离轴凹抛物面反射镜所述辅助平面反射镜通过平面反射镜安装架安装于对应的六维调整所述离轴凹抛物面反射镜反射面朝向干涉仪所述工装架上一对正交设置的平面反射镜的反射面背对干涉仪镜6S2.对安装于气浮光学平台上的干涉仪进行基准指示：利用激光水平仪的另一侧S3.对安装于气浮光学平台上的辅助平面反射镜进行基准指示：利用激光水平仪S4.对安装于气浮光学平台上的离轴凹抛物面反射镜进行基准指示：利用激光水S5.根据离轴凹抛物面反射镜的光学设计结果，通过调整对应的六维调整装置的调整离轴凹抛物面反射镜对应的六维调整装置将Zernike系数的离焦及慧差项调1.本发明提出的一种基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统以及检测7便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、如图19所示本实施例公开了基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统，检测系统的参考基准为激光水平仪9一侧激光射至基准墙面10上形成的基准光线干涉仪基准部件由激光水平仪9另一侧激光与干涉仪3镜头方向上一对正交设置辅助平面反射镜基准部件由激光水平仪9另一侧激光与辅助平面反射镜组件的辅助平面反射镜4的反射面和基准墙面10依次光路连接构成,以使辅助平面反射镜4反射至基8离轴凹抛物面反射镜基准部件由激光水平仪9另一侧激光与离轴凹抛物面反射镜组件的工装架6上一对正交设置的平面反射镜和基准墙面10依次光路连接构成，以使平面调整离轴凹抛物面反射镜8焦点与干涉仪3焦点至重合，干涉仪3发出的检测光束第二六维调整台202与辅助平面反射镜组件对应连接，以使辅助平面反射镜组件第三六维调整台203与离轴凹抛物面反射镜组件对应连接，以使离轴凹抛物面反第四六维调整台205与激光水平仪9对应连接，以使激光水平仪9安装于气浮光学辅助平面反射镜4通过平面反射镜安装架5安装于对应的第二六维调整辅助平面反射镜4的反射面靠近离轴凹抛物面反射镜8焦点与干涉仪3焦点相交位[0030]如图2在本实施例中干涉仪3上一对正交设置的平面反射镜包括：第一反射镜301在干涉仪3平行于干涉仪镜头方向上设置有第一反射镜301和第二反射镜302，第一反射镜301与第二反射镜302正交设置。第一反射镜301和第二反射镜302尺寸和部件相9工装架6上一对正交设置的平面反射镜的反射面背对干涉[0032]如图7在本实施例中工装架6上一对正交设置的平面反射镜包括：第三反射镜601工装架6上设置有放置第三反射镜601和第四反射镜602的凹槽，且用于放置第三反射镜601的凹槽和用于放置第四反射镜602的凹槽正交设置；第三反射镜601和第四反射[0033]离轴凹抛物面反射镜检测系统从一侧至另一侧摆放顺序依次为干涉仪3、辅助平在实施例1的基础上本实施例进一步公开了基于无像差点法对离轴凹抛物面反射仪9的另一侧激光对干涉仪3进行基准指示，以使干涉仪3镜头方向上一对正交设置的平面的基准光线1001形成对比，通过调整干涉仪3下面第一六维调整台201的方位以及俯仰方激光水平仪9的另一侧激光对辅助平面反射镜4进行基准指示，以使辅助平面反射镜4反射面摆放位置靠近凹抛物面反射镜8焦点与干涉仪3焦点相交位置，且辅助平面反射镜4的反样激光水平仪9一侧激光呈现在基准墙面10上作为参考基准，另一侧激光呈现至辅助平面过调整辅助平面反射镜组件下面的第二六维调整台202的方位以及俯仰方向，将反射后的第二反射光线1003与原有的基准光线1001重合完成初始调整。辅助平面反射镜4与基准墙激光水平仪9的另一侧激光对离轴凹抛物面反射镜8进行基准指示，以使工装架6上一对正第四反射镜602的反射面反射激光至基准墙面10，与原有的基准光线1001形成对比如图9，后的第三反射光线1004与原有的基准1001光线重合完成初始调整。离轴凹抛物面反射镜8点与干涉仪3焦点调至重合，以使干涉仪3发出的测量光束入射到离轴凹抛物面反射镜8反调整离轴凹抛物面反射镜8对应的第三六维调整台203将Zernike系数的离焦及慧