CN119480676A 晶圆膜厚标定库构建方法、测量方法及抛光设备 （北京特思迪半导体设备有限公司）

同厚度的两个晶圆薄膜对单波长光束的反射光的光强度对应的电信号和电信号；获取所述两个晶圆薄膜在多层膜环境下对所述单波长光束的反射光的光强度对应的电信号和电信膜厚反射率库转换为适用于多层膜环境的数据2获取适用于单层膜环境的膜厚反射率库，其中反射率值随厚度获取已知不同厚度的两个晶圆薄膜对单波长光束的反射光的光强度对应的电信号获取所述两个晶圆薄膜在多层膜环境下对所述单波长光束的反射光的光强度对应的获取已知厚度tz的晶圆薄膜在多层膜环境下对所述单波长光束的反射率rz'；根据反射率rz'和电信号计算所述标定系数k。得到K=U'，其中采集电信号U1'时全反射镜与采集装置的位置关系与采集电信号时晶;;R=ACOS(it)+B；获取未知厚度的晶圆薄膜在多层膜环境下对至少一个单波长光束的反射光的光强度3利用所述电信号和根据权利要求1_9中任一项所述方法构建的适用于多层膜环境的数在确定到晶圆薄膜厚度的步骤中，利用各个单波长光束的述处理器执行，以使所述处理器执行如权利要求1_9中任意一项所述的适用于多层膜的膜在抛光过程中执行如权利要求10或11所述的基于单波长光束的晶4单束激光的厚度检测原理是由光源照射到晶圆上进行反射，反射光线照射到光电探测器获取已知不同厚度的两个晶圆薄膜对单波长光束的反射光的光强度对应的电信获取所述两个晶圆薄膜在多层膜环境下对所述单波长光束的反射光的光强度对获取已知厚度tz的晶圆薄膜在多层膜环境下对所述单波长光束的反射率rz'；根据反射率rz'和电信号计算所述标定系数k。获取处于多层膜环境下的全反射镜对单波长光束的反射光的光强度对应的电信5号U1'，得到K=U1'，其中采集电信号U1'时全反射镜与采集装置的位置关系与采集电信号;;R=ACOS(it)+B；获取未知厚度的晶圆薄膜在多层膜环境下对至少一个单波长光束的反射光的光测量法可以在多层膜环境下得到更准确的厚度6;R=ACOS(it)+B；7探头与晶圆薄膜表面之间加装玻璃等其它透明确定的对应关系，并且对应关系是相同的，即V=f(U)、V=f(U2)，转换系数即为函数f;;其中表示转换前的反射率（单层膜环境下的反射率R'表示转换后的适用于多8获取已知厚度tz的晶圆薄膜在多层膜环境下对单波长光束的反射率rx'。具体地，对应的电信号U1'，进而得到反射率r'=V1/U1'。定厚度tz计算出单层膜环境下的反射率r，再根据已确定的对应关系获取处于多层膜环境下的全反射镜对单波长光束的反射光的光强度对应的电信号U1'，得到K=U1'，其中采集电信号U1'时全反射镜与采集装置的位置关系与采集电信号[0043]下面结合图2介绍基于上述数据库在多层膜环境下测量晶圆薄膜厚度的方法。一获取未知厚度的晶圆薄膜在多层膜环境下对一个单波长光束的反射光的光强度[0044]参加图2中波长为的曲线或者波长为的曲线，该曲线即为上述数据库的可视[0045]此测量方法至少可以应用于多层膜环境下对晶圆进行CMP时的相对厚度检测，比[0048]如图2所示，比如基于波长为的单波长光束测量的电信号与相应的膜厚电信9[0049]当只采用两个不同波长的光束时，为了确保两个厚度集[0050]另外需要说明的是，图2所示的是采用膜厚电信号库的实施例（基于步骤S6的结果当采用膜厚反射率库时（基于步骤S5的结果需要对测量的未知厚度的晶圆薄膜的电