JJF鄂1812026高速数字集成电路测试系统校准规范

湖JJF（鄂）181—CalibrationSpecificationforHigh-speedDigitalIntegratedCircuitTestingSystems 湖北省市场监督管理局发布JJF（鄂）181—JJF（鄂）181—CalibrationSpecificationforHigh-speedDigitalIntegratedCircuitTestingSystems归口单位：湖北省市场监督管理局丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）郑锋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）杨燕（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）刘倩（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所JJF（鄂）181—JJF（鄂）181—引 范 引用文 概 用 原 结 计量特 测试速 数字通道间时间偏 校准条 环境条 校准用设 校准项目和校准方 校准项 校准方 复校时间间 附录A校准原始记录内页参考格 附录B校准结果的测量不确定度评 附录C校准证书内页格 JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。JJF（鄂）181—JJF（鄂）181—8Gbps~32GbpsGB/T1757421所示。1率为32Gbps，为差分结构。高速测试板卡板与普通数字通道板和电源板卡等一样均为统CABLEPogoPin速率更高。高速数CABL（PogoPin与测试接口板相连，再通过夹具与被测器件建立信号连接。22范围：8Gbps~32Gbps，最大允许误差：±2×10-5100ps范围：50mV~4V，最大允许误差：±（10%×测量值）数字通道上升/50ps范围：20ps~100ps，最大允许误差：±（10%×测量值+10ps）带宽：≥48幅度测量范围：50mV~5V，幅度测量最大允许误差优于±（2%×测量值通道偏差时间测量范围：20ps~100ps，最大允许误差优于±10抖动测量本底：≤1ps频率测量范围：≥17GHz，最大允许误差优于±（2×10-7×测量值）带宽：≥20GHz带宽：≥20阻抗：50Ω±1Ω校准项目见表1表1数字通道上升/按图3高速数字集成电高速数字集成电路测试系统3将校准适配板安装到测试夹具上，调整探针在X、Y、Z方向上的位置，通过探在被校测试系统中设置输出速率为vDV-S（本项中测试速率是指测试系统的数据利用频率计测量输出数字信号的频率值为fDV-M数字信号的速率vDV-M为频率值读数的两倍（一个信号周期内含有两个数据位），即vDV-M2fDV-M；按照公式（1）计算被校测试系统测试速率的误差，将测量结果及误差到附录表A.2vDVvDV-SvDV-vDV——vDV-S——vDV-M——经频率计测量后计算得出数字信号的速率值，Gbps按图4高速数字集成电路测试系统4设定基准通道T1调整两路探针在X、Y、方向上的位置，通过探针与同轴线缆将示波器ch1通道，ch2通道与校准适配板上的两个数字通道T1与T2接触，固定此时探针坐标；在被校测试系统中设置频率为f，幅度为A的数字信号输出到选取的数字通道上；在被校测试系统中设置频率为f，幅度为A的数字信号输出到选取的数字通道T2其他数字通道Tn与T1按图5高速数字集成电高速数字集成电路测试系统51V、5V至少三个点）、频率为fS（1kHz~100kHz）的方波信号。用数字示波器测量方波的幅度为UMAA.4中：UUSU——US——UM——数字示波器测得的幅度值，Va）~d）数字通道上升/66数字通道上升/X、Y、Z方向上的位置，通过探针在被校测试系统中设置数字通道输出幅值为UDRS（根据被校测试系统的技术手册选取典型值，如1V）、速率为vDRS（一般选取被校测试系统能够达到的最大测试速率，32Gbps）的方波信号。10%~90%）；对于单端信号，直接测得其上升时间trs和下降时间tfs；对于差分信号，则利用数升时间trD和下降时间tfDAA.5中。7X、Y、ZfDJ-S（一般为每量程的最低点、中间点、最高点，至少三个点）JDJ-S（一般为每量程的最确定性抖动JDJ-MAA.6中：JDJJDJ-SJDJ-JDJ——系统驱动器抖动输出的误差，s；JDJ-S——系统驱动器抖动输出的设定值，s；JDJ-M——数字示波器测得的抖动值，s。标题，如“校准证书进行校准的地点（如果与实验室的地址不同）证书或报告的唯一性标识（如编号），12个月。送校单位也可根据实AA.1A.2A.3A.4A.5数字通道上升/实测值误差（tr-S（tf-S（tr-D（tf-DA.6B4项，本附录说明高速数字集成电路测试TdxTdu2u2 B u2u2u2

uc8Gbps1VuB0(B类评定1.6mm0.125mm0.1psuB1(B类评定ZuB2(B类评定MSO73304DX的说明书得知，影响偏差时间测量的因素为增量555fsuB2=0.4ps。uA(A类评定8Gbps1V10次独立测量。测量结果数 n

1BBAu u2u2u2 k=2UkucAXu2u2 B u2u2u2u2

uc8Gbps1VuB0(B类评定1.6mm0.125mm，根据高速信号传输原理以及相uB1(B类评定由通道切换装置在通道切换过程中，Z轴行程导致测试探针变形，引入测量不确定z1mm5%×测量值+5mV，视B1V

55mV31.8mVuB2(B类评定MSO73304DX的校准证书和说明书得知，影响幅度测量的因素DC增益误差，DC0.86%B1V时，uB3(B类评定MSO73304DX的校准证书和说明书得知，数字示波器垂直分辨8bit0.3%0.15%测量值，按均匀分布考虑，选取k

uB30.15

0.08%，B幅度测试点1V时，uB2=0.8mV；5）uA(A类评定)1V10 n

2BBBAu u2u2u2u2u2 B k=2UkucTT2T u2u2 B u2u2u2u2

uc0.5V8GbpsuB0（B类评定0.1ps，远小于其他不确定度分量，故忽略不计。uB1（B类评定由通道切换装置在通道切换过程中，Z轴行程导致测试探针变形，引入测量不确定uB2（B类评定＝0.35/带宽”来给出，因此，48GHz7.3pskk

，得出数字示波器跳变时间引入的不确定度分量：uB2＝4.2psuB3（B类评定9psuA（A类评定10 n

3BBBAu u2u2u2u2u2 B k=2UkucTjX式中：TjXu2u2 B u2u2u2u2

uc1）u1(B类评定)0.1psuB1(B类评定由通道切换装置在通道切换过程中，Z轴行程导致测试探针变形，引入测量不确定z1mm5psk1

uB2(B类评定分布，选取k

3uB

2.5ps1.5ps值）1V（20div