CN119486312A 电池片的侧切面的钝化镀膜设备及方法 （理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司）_第1页
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202311175922.12023.09.13司本发明公开了一种电池片的侧切面的钝化割后的电池片进行堆叠后放入多个在侧面设有成电池组件焊接不良引起的良率损失的技术问2该电池片的侧切面的钝化镀膜设备用于给切割后的电池片在反应腔室的侧部上设有阀门开口，通过阀门开口与传输系统相连步骤S101：将切割后的电池片进行堆叠后放入多个在步骤S104：在反应腔室内进行侧切面的钝化镀膜3在步骤S105之后，还进行无氧冷却步骤，在无氧的环境下将4表面复合速率大，会对太阳能电池的电性能产生负面的影响。例如，用激光划片方式将专利申请CN111430506A亦明确指出钝化膜厚度为10nm或15nm，该文献未披露具体钝化效[0007]就绕镀问题，现有技术中的一种解决方法是在电池片金属栅线印刷前就进行切[0008]中国专利申请CN111430506A公开的侧切面钝化镀膜方法中未提及绕镀问题，更56[0036]步骤S101：将切割后的电池片进行堆叠后放入多个在侧7[0060]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行具体描域普通技术人员未花费创造性劳动所获得的所有其他技术方案，都属于本发明保护的范征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位[0069]本发明第三方面涉及一种电池组件，由多个本发明第一方面和/或第二方面涉及[0070]本发明第四方面涉及一种对切割后的电池片侧切面进行钝化镀膜的方法，如图2[0072]喷淋2采用向下喷淋模式(showerhead)的喷淋板，与气路系统一同提供用于进行8喷淋2的下表面与托盘4的上表面之间的间距可以为1.0_50cm，片盒A的高度可以为0.2_[0075]在进行侧切面的镀膜时，片盒A用于放置侧切面需要进行钝化的经过切割的电池设有加工窗口以使得镀膜时电池片的侧切面被暴露在钝化镀膜气氛中进行钝化。片盒A的[0076]片盒A可以任何适于镀膜的角度和方式安置在反应腔内。片盒A放置到托盘4上的[0078]在托盘4的底部和侧面设有加热器5来保持反应温度，在加热器5的内部包括加热9经本发明工艺钝化镀膜后电池片效率获得大幅度提升，例如在182mm*91mm硅片组成的144于托盘4的底部的加热器5和设于托盘4的[0096]在采用实施例1的镀膜方法完成侧切面的钝化镀膜之后，经测试电池片如图10所[0098]实施例2采用的装置与实施例1中的装置类似，区别在于在圆形的反应腔室1的侧[0102]在采用实施例2的镀膜方法完成侧切面的镀膜之后，电池片如图10所示几乎没有用上述实施例2的方式制造的电池片焊接的组件。30nmA组指的是采用上述实施例4的方式制造的电池片焊接的组件。50nmB组指的是采用现有技术中的镀膜方式进行50nm的钝化之

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