年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目环境影响报告书

1二〇二六年六月 2 4 4 6 9 20 23 27 30 33 33 34 61 V 金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目硅外延片制造的较为完整产业链的半导体企业。建有省级研发中心、市级企业研究院、随着人工智能（AI）、算力、物联网（IoT）、电动汽车、新一代通信等新兴产业蓬勃发展，全球半导体行业长期保持在高速增长阶段。根据WSTS数据，全球半导体市场规模自2015年3,352亿美元增长至2024年6,276亿美元，复合增长率为有所下滑，2024年随着下游复苏，半导体行业开始回暖，预计2025年将增长至697295%以上的半导体芯片和器件是用硅片作为基底功能材料而生产出来的。2024年全球中国大陆半导体高速增长的带动，市场需求持续旺盛，全球12寸硅片产能需求大增。圆五大供应商共占据全球硅片市场90%左右。在技术水平要求更高的12英寸硅片市寸硅片85%以上依靠进口。硅片作为集成电路产业最上游的核心基础材料，缺货会造杭州一达环保技术咨询服务有限公司1金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司2基于以上因素，企业拟投资226234万元，通过公司现有厂房及动力辅助设施并进行局部改造，利用公司已掌握的成熟的12英寸硅片成套技术和产能基础，购置国际先进设备，建设年产180万片12英寸重掺衬底设计，金瑞泓微电子（衢州）有限公司委托我单位金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司3本项目选址位于衢州市智造新城东港片区H-18地块、H-19地块，生产12英寸重掺衬底片，据查《产业结构调整指导目录（2024年本）》，本项目属于“第一类鼓励金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司4项目拟建地位于衢州市智造新城东港片区，属于规划中的“城东片——南侧为以加艺清单，满足环境标准清单要求。因此，项目建设产生影响；噪声经降噪处理后对周边环境影响较金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司5经济开发区）规划（2021-2035）环境影响报告书》，本项目未列入环境准入条件清单根据生态环境部令第16号《建设项目环境影响评价分类管理名录（表1.3-1《建设项目环境影响评价分类管理名录》节选类别报告书报告表登记表三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39电子元件及电子专用材料制造398半导体材料制造；电子化工材料制造印刷电路板制造；电子专用材料制造（电子化工材料制造除外）；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/（1）实施范围：衢州绿色产业集聚区高新片区、东港片区。其中高新片区范围为北至里；东港片区范围以规划环评批复意见为准。（2）实施时间：衢州绿色产业集聚区高金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司6和环境造成重大影响的项目；⑨其它可能产生高污染、高江省生态环境厅关于发布<省生态环境主管部门负责审批环境影响评价文件的建设项目录。根据《衢州市生态环境局关于发布市本级负责办理行政许可事项和《关于调整建设项目环境影响评价文件审批事权划分的通知》（衢环发[2025]8号）（1）项目在生产过程中使用氢氟酸、硝酸、盐酸以及氨水等试剂进行酸洗、碱洗（2）项目在生产过程中涉及多道清洗工序，有较多的生产废水排放，应重点关注金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司7（3）项目产生废酸、废包装桶、实验室废液等危险废物，重点关注固废的暂存、本项目选址于衢州市智造新城东港片区H-18地块、H-19地块，生金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司8(1)《中华人民共和国环境保护法》(2）；(4)《中华人民共和国循环经济促进法》(5)《中华人民共和国水污染防治法(修(6)《中华人民共和国大气污染防治法》(20(7)《中华人民共和国环境噪声污染防治法》(）；(9)《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》(2(10)《中华人民共和国生态环境法）；）；）；）；）；）；金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目(22)《关于规划环境影响评价加强空间管制、总量管控和环境准入的指导意见（试）；(8)《浙江省生态环境分区管控动态更新方案》（浙环发〔202(9)《浙江省生态环境厅关于发布<省生态环境主管部门负责审批环境影响评价文）；(10)《浙江省人民政府关于发布浙江省生态保护红线的通知》（浙政发（2018）30）；(11)《浙江省生态环境厅全面关于执行国家排放标准大气污染物特别排放限值的通）；）；）；(14)《省发展改革委省生态环境厅关于印发浙江省空气质量改善“十四五”规划的 ）；(15)《省发展改革委省生态环境厅关于印发浙江省生态环境保护“十四五”规划的）；杭州达环保技术咨询服务有限公司9(16)《省发展改革委省生态环境厅关于印发浙江省水生态环境保护“十四五”规划杭州达环保技术咨询服务有限公司9一金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司10(1)《建设项目环境影响评价技术导则—总纲》(H(2)《环境影响评价技术导则—大气环境》(H(3)《环境影响评价技术导则—地表水环境）；(4)《环境影响评价技术导则—地下水环境》(H(7)《环境影响评价技术导则—土壤环境（试行））；）；(10)《污染源源强核算技术指南准则》（HJ884-2018）；(11)《排污单位自行监测技术指南总则》（HJ819-2017）；(12)《排污许可证申请与核发技术规范总则》（HJ942-2018）；）；(14)《工业企业土壤和地下水自行监测(15)《化工物性算图手册》(化学工业出版社，刘光启等主编)；(16)《环境统计手册》(四川科学技术出版社)。（4）《浙江省水功能区水环境功能区划分）；江经济开发区）规划（2021-2035）环金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司11（1）通过对拟建项目所在区域环境质量现状调查，了解拟建地所在区域环境质量（3）从环境保护角度论证项目的可行性，并提出污染防治措施和建议，为项目环金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司12标区判定执行《环境空气质量标准》(GB3095-运营期环境空气质量执行《环境空气质量标准》(GB3095-2026)表1过渡阶段浓度表2.3-1基本污染物环境质量标准单位：µg/m³编号污染因子取值时间环境质量标准GB3095-2012(GB3095-2026)表1过渡阶段1SO21小时平均5006024小时平均年平均605002NO21小时平均2004024小时平均年平均402003CO1小时平均10000424小时平均40004O31小时平均200日最大8小时平均2005PM1024小时平均60年平均706PM2.524小时平均7530年平均3560金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司13表2.3-2其他污染物环境质量标准污染物标准限值(μg/m3)引用标准年均值24小时均值平均1小时平均/7/20GB3095-2026NOX50/250砷0.006///HCl//50HJ2.2-2018氨///200非甲烷总烃///2000大气污染物综合排放标准详解表2.3-3地表水环境质量标准(单位：除pH为无量纲外其余均为mg/L)项目pHCODMnCODCrBOD5DONH3-N总磷Ⅲ类标准值6-9≤6≤20≤4≥5≤1.0≤0.2项目石油类六价铬汞砷铅氟化物镉Ⅲ类标准值≤0.05≤0.05≤0.0001≤0.05≤0.05≤1.0≤0.005表2.3-4地下水环境因子评价标准(单位：除pH为无量纲外，其余均为mg/L)项目pH总硬度溶解性总固体氟化物挥发性酚类高锰酸盐指数氯化物III类标准值6.5~8.5≤450≤1000≤1.0≤0.002≤3.0≤250项目氨氮砷汞六价铬铅氰化物硫酸盐III类标准值≤0.5≤0.01≤0.001≤0.05≤0.01≤0.05≤250项目硝酸盐铁亚硝酸盐镉锰细菌总数总大肠菌群III类标准值≤20.0≤0.3≤1.0≤0.005≤0.1≤100≤3.0表2.3-5声环境质量标准采用标准适用区域标准值[dB(A)]昼间夜间工业区6555金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司14根据项目所在区域土壤使用功能，项目土壤环境质量参照执行《土壤环境质量建氟化物参照《污染场地风险评估技术导则》（DB33/T892-2013）中表A.1中商服及工表2.3-6《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准》(GB36600-2018)单位：mg/kg序号污染物项目CAS编号筛选值管制值第一类用地第二类用地第一类用地第二类用地重金属和无机物1砷7440-38-220①60①1402镉7440-43-92065471723铬(六价)18540-29-93.05.730784铜7440-50-82000180008000360005铅7439-92-140080080025006汞7439-97-683833827镍7440-02-09006002000挥发性有机物8四氯化碳56-23-50.92.89369氯仿67-66-30.30.95氯甲烷74-87-337211201,1-二氯乙烷75-34-339201001,2-二氯乙烷107-06-20.5256211,1-二氯乙烯75-35-46640200顺-1,2-二氯乙烯156-59-2665962002000反-1,2-二氯乙烯156-60-55431163二氯甲烷75-09-29461630020001,2-二氯丙烷78-87-515547630-20-62.6261001,1,2,2-四氯乙烷79-34-56.85020四氯乙烯53341832171-55-6701840840840221,1,2-三氯乙烷79-00-50.62.8523三氯乙烯79-01-60.72.8720241,2,3-三氯丙烷96-18-40.025氯乙烯75-01-40.434.326苯71-43-2144027氯苯108-90-7682702001000281,2-二氯苯95-50-1560560560560291,4-二氯苯106-46-75.6205620030100-41-47.2287228031苯乙烯100-42-51290129032108-88-312001200金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司1533间二甲苯+对二甲苯108-38-3,106-42-357050057034邻二甲苯95-47-6222640640640半挥发性有机物35硝基苯98-95-3347676036苯胺62-53-392260211663372-氯酚95-57-82502256500450038苯并[a]蒽56-55-35.55515139苯并[a]芘50-32-80.555.540苯并[b]荧蒽205-99-25.55515141苯并[k]荧蒽207-08-955151550150042屈218-01-9490129349001290043二苯并[a,h]蒽53-70-30.555.544茚并[1,2,3-cd]芘193-39-55.55515145萘91-20-32570255700注：①具体地块土壤中污染物检测含量超过筛选值，但等于或者低于土壤环境背景值水平的，不纳入污染地块管理。染物排放限值”二级标准，砷排放浓度参照执行《无机化学工业污染物排放标准》表2.3-6废气污染物排放标准污染物最高允许排放浓度(mg/m3)排气筒高度最高允许排放速率(kg/h)无组织排放监控浓度限值周界外浓度最高点(mg/m3)标准来源颗粒物3.51GB16297-1996氟化物90.10.02氮氧化物2400.77氯化氢0.260.2非甲烷总烃4.0污染物标准来源砷0.5GB31573-2015金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司16表2.3-7恶臭污染物排放标准值污染物厂界标准值(mg/m3)排气筒高度(m)排放量(kg/h)标准来源氨4.9(GB14554-1993)臭气浓度20（无量纲）2000（无量纲）镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准后排入衢江。具体标准表2.3-8污水纳管及排环境标准限值（单位：pH除外均为mg/L）指标pHCODCr氨氮总氮总磷氟化物TOC总砷GB39731-20206~950040035*708202000.5排环境标准6~9505（8）**0.5//0.1注：*氨氮标准执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33∕887-2025）中35mg/L要求，**括号外数值为水温>12℃时的控制指标，括号内数值为水温≤12℃时的控制指标；总砷为车间或者车间生产设施排放口。表2.3-9单位产品基准排水量序号适用企业产品规格单位单位产品基准排水量排水量计量位置1电子专用材料硅单晶材料、压电晶体材料、蓝宝石基片m3/t产品2200与污染物排放监控位置一致，即单晶工段2半导体器件12英寸芯片掩膜层数35层及以下m3/片与污染物排放监控位置一致，即除单晶工段外的成型、热处理和抛光工段表2.3-10建筑施工噪声限值单位：dB(A)昼间夜间7055金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司17表2.3-11工业企业厂界环境噪声排放标准位置采用标准标准值[dB(A)]昼间夜间厂界四周6555废物贮存污染控制标准》（GB18597-2估算模型选用参数见表2.4-1。根据估算模式计算，项目估算源强参数和排放的废2.4-1估算模型参数表参数取值城市/农村选项城市/农村城市人口数（城市选项时）212.3万最高环境温度/K313.5最低环境温度/K262.6土地利用类型城市区域湿度条件潮湿是否考虑地形考虑地形是金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司18地形数据分辨率/m90是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟否岸线距离/km/岸线方向/︒/表2.4-2废气污染物最大地面浓度估算结果污染源污染因子最大速率(g/s)最大落地浓度(ug/m3)最大浓度落地评价标准(ug/m3)D10%(m)推荐评价等级DA101HF0.00180.10866340200.5430三级砷0.000050.00293400.0368.050二级硝酸雾0.0231.388433402500.5550三级DA102非甲烷总烃0.00360.2173234020000.0110三级DA103HF0.00150.090548340200.4530三级硝酸雾0.00010.006036533402500.0020三级HCl0.00050.0301827340500.0600三级DA104HF0.00020.013946200.0700三级HCl0.0010.06973500.1390三级DA105NH30.069140860二级单晶厂房HF0.00090.21551200二级硝酸雾0.00581.388842500.5560三级切磨抛厂房HF0.00090.22982200二级HCl0.00070.178749500.3570三级硝酸雾0.000030.007660672500.0030三级NH30.069117.64512008.8230二级厂三期项目），不向厂区附近河道排放，根据《环境影响评价技术导则地表水环境》（HJ2.3-2018）中5.2条款，评价等级判定为三级B；根据《环境影响评价技术导则地表水环境》（HJ2.3-2018）中6.6及8.1条款规定，三级B可不开展区域污染源调查，金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司19专用材料制造中的半导体材料，地下水环境影响评价项目类别为IV类，可不进行地下据判定结果，本项目大气、地表水、地下水环境风险潜势为Ⅱ级，因此，该项目大气、地表水、地下水环境风险评价等级均为三级，环境本项目主要生产12英寸硅片，归属于半导体材料制造，根据《环境影响评价技术②本项目为污染影响型建设项目，本项目永久占地总用地约66666.67m2、折合表2.4-3污染影响型评价工作等级划分表金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司20表2.4-4项目评价重点一览表序号评价重点评价内容1工程分析对项目主体、配套和公用工程的分析评价，给出项目污染物产生点位、产生方式，估算项目污染物产生和排放源强。2环境影响分析1）对项目产生的废气预测分析对当地环境和各敏感点的影响程度；2）分析项目废水的纳管可行性，对周围水体及地下水的影响程度；3）分析项目噪声对周边环境的影响程度；4）分析项目固废处置的可行性及对周边环境的影响程度。5）分析项目建设对周边土壤环境的影响程度。3环境风险分析以突发性事故导致的危险物质环境急性损害防控为目标，对建设项目的环境风险进行分析、预测和评估，提出环境风险预防、控制、减缓措施，明确环境风险监控及应急建议要求。4污染治理措施对项目可行性研究报告提出的污染治理措施进行分析评价，并从总量控制、污染达标排放角度提出合适的污染治理措施。（2）地表水：废水经厂内污水站处理后纳管送衢州工业污水处理厂（衢州市城东污水处理厂三期项目）处理后排入衢江，根据导则金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司21表2.5-1主要保护对象一览表环境要素坐标名称方位距厂界最近距离规模保护级别X/mY/m行政村环境空气690900.853200373.74野鸭垅村杨梅岗村W~1470m~800人(GB3095-2012)二级691669.063199289.13野鸭垅村~1330m692110.923199849.45上西垄~360m692120.173201685.00旺村村横屋及周边小区NW~1200m~910人693611.003201815.89山底叶N~890m692771.073201972.00N~1100m694226.203201266.41毛家村毛家NE~670m694262.483200857.07下蒋W~670m694178.453199601.63东方村横山殿~650m695017.183198881.55胡家村~1650m693764.933198422.38东安坂~1750m694275.433199127.95下墅街~1000m693242.273197973.32清水村清水村S~2150m~2670人693448.883198944.48徐坦坂~1220m689943.623201689.48潘家垅NW~2780m~900人696131.893201063.30西方章村E~2000m~300人691434.713202842.83维拉小镇NW~2580m~2000人692041.393202661.95碧桂园NW~2010m~3000人地表水//上山溪E~100m(GB3838-2002)III类//乌引河N地下水项目所在地周边6km2区域(GB/T14848-2017)III类声环境项目声环境影响评价范围内无噪声环境敏感目标/土壤环境占地范围内全部，占地范围外0.05km范围内GB36600-2018第二类用地筛选值金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司22图2.5-1主要保护目标分布2.6.1《衢州市国土空间总体规划（2021-2035年）》根据《衢州市国土空间总体规划（2021-2035年）》，金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司23“一主”：四省边际中心城市主引擎—衢州中心城区。“组群联动”：市域“衢龙江常”城镇群一体化。“一主”：突出智造新城主平台引领，打造“万亩千亿”高能级产业平台。规划期限：2021年至2035年。近期规划期限：2021年至2035年。近期金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司24深度融合、生态和谐、创新高效、服务完善的综合性绿色产态优先、绿色发展、低碳减排”为导向，树立产、城、人融金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司25对智造新城产业进行梳理，为保持产业管理的一惯性，构建“5+X”八大产业体系。金属制品：黑色金属管业、金属型材、环保无铅金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司26电子化学品产业，以及东港片光伏新能源、芯片及金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司27图2.6-1规划产业空间布局图金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司28产生影响；噪声经降噪处理后对周边环境影响较小；经济开发区）规划（2021-2035）环境影响报告书》，本项目未列入环境准入条件清单浙江省衢州市衢江区东片产业集聚重点管控单元生态准入清单及符合性分析见表表2.6-1浙江省衢州市衢江区东片产业集聚重点管控单元生态准入清单及符合性分析项目准入条件符合性分析空间布局引导按照产业规划，严格限制三类产业准入。优化完善区域产业布局，合理规划布局三类工业项目，鼓励对三类工业项目进行淘汰和提升改造。合理规划布局居住、医疗卫生、文化教育等功能区块，与工业区块、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。项目生产电子专用材料制造，对照《产业结构调整指导目录(2024年本)》，本项目为鼓励类项目。拟建地位于衢江智造新城东港片区，属于聚集工业园区，所在地已完成总体规划环境影响评价，居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地。污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平，推动企业绿色低碳技术改造。新建、改建、扩建高耗能、高排放项目须符合生态环境保护法律法规和相关法定规划，强化“两高”行业排污许可证管理，推进减污降碳协同控制。加快落实污水处理厂建设及提升改造项目，深化工业园区（工项目废水经厂区污水处理站处理后纳入园区污水管送衢州工业污水处理厂（衢州市城废水、固废等经三废治理措施处理后达标排放，污染物排放水平达到同行业国内先进水平。本项目新增的污染物排放总量通过区域调剂解决，符合总量控制原则；企业建设雨水和污水管网，厂内实现雨污分流，厂区进行分区防渗，做好土壤和地下水污染防治工金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司29业企业）“污水零直排区”建设所有企业实现雨污分流。加强土壤和地下水污染防治与修复。重点行业按照规范要求开展建设项目碳排放评价。作。环境风险防控定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健康风险。强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。本项目实施后建设单位将编制厂区突发环境事件应急预案，定期进行应急演练，建设长效的安全机制。资源开发效率要求推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能源利用效率。项目位于园区内，符合清洁生产要求，资源能源利用效率较高。表2.6-1《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）》符合性分析符合性分析结论1.禁止建设不符合全国和省级港口布局规划以及港口总体规划的码头项目，禁止建设不符合《长江干线过江通道布局规划》的过长江通道项目。本项目不涉及。符合2．禁止在自然保护区核心区、缓冲区的岸线和河段范围内投资建设旅游和生产经营项目。禁止在风景名胜区核心景区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜资源保护无关的项目。本项目不涉及。符合3．禁止在饮用水水源一级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的项目，以及网箱养殖、畜禽养殖、旅游等可能污染饮用水水体的投资建设项目。禁止在饮用水水源二级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建排放污染物的投资建设项目。本项目拟建地不属于饮用水水源一级保护区的岸线和河段范围，不属于饮用水水源二级保护区的岸线和河段范围。符合4．禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造地或围填海等投资建设项目。禁止在国家湿地公园的岸线和河段范围内挖沙、采矿，以及任何不符合主体功能定位的投资建设项目。本项目拟建地不属于水产种质资源保护区的岸线和河段范围。符合5．禁止违法利用、占用长江流域河湖岸线。禁止在《长江岸线保护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态本项目不涉及。符合杭州一达环保技术咨询服务有限公司30环境保护、航道整治、国家重要基础设施以外的项目。禁止在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。6．禁止未经许可在长江干支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。本项目不涉及。符合7．禁止在“一江一口两湖七河”和332个水生生物保护区开展生产性捕捞。本项目不涉及。符合8．禁止在长江干支流、重要湖泊岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在长江干流岸线三公里范围内和重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外。本项目拟建地不属于长江干支流、重要湖泊岸线一公里范围内。符合9.禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。本项目不属于高污染项符合10．禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。本项目不涉及。符合11．禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目。禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。本项目不涉及法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目，也不属于严重过剩产能行业项目。符合12．法律法规及相关政策文件有更加严格规定的从其规定。本项目建设符合相关法律法规及政策文件。符合衢州智造新城管理委员会2024年4月委托浙江省环境科技有限公司《衢州智造新城（衢州经济技术开发区、衢州高新技术产业开发区、浙江衢江经济开发区）规划金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目表2.7-1生态空间清单（清单1）序号工业区内的规划区块生态空间范围示意图空间布局约束污染物排放管控环境风险防控资源开发利用管控符合性分析1业园区（工业企业）“污水零直排区”表2.7-2环境准入条件清单（清单5）杭州一达环保技术咨询服务有限公司31金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司32分类行业清单工艺清单产品清单制订依据符合性分析所有区块禁止准入产业（1）不符合国家、省、市产业政策，列入《产业结构调整指导目录》限制类、淘汰类项目②;（2）新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目⑤④；新建生产、使用《危险化学品目录（2022调整版）》中爆炸物第1.1项的项目②。①《衢州市“三线一单”生态环境分区管控成果动态更新方案》（报批稿）②《关于加强工业项目决策咨询服务工作的指导意见》（衢市工咨办发〔2021〕7号）③《产业结构调整指导目录（2024年本）》④减污降碳与环境风险防范要求⑤《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）浙江省实施细则》⑥《浙江省节能降耗和能源资源优化配置“十四五”规划》⑦《浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案》本项目属于电子专用材料行限制准入类单位工业增加值能效高于“十四五”单位工业增加值能效控制标准（0.52吨标煤/万元）的项目*（能够落实产能和能耗减量（等量）替代、用能权交易的除外）⑥。东港南：高端装备、新能源（光伏新能源）、集成电路禁止准入产业（1）新建制革项目、印染（含漂染、染色）、造纸、铅酸蓄电池等重污染行业项目或生产线④2）新建涉及重金属污染排放的项目，以及不符合国家和地方产业政策的落后产能项目④3）禁止新建高耗能、高排放项目，特别是未达到能耗限额标准或碳排放强度控制要求的工业项目⑥4）禁止引入挥发性有机物排放量大且无有效治理措施的生产工序⑦。上述限制与禁止要求均符合区域生态环境保护和绿色低碳发展目标，本项目不涉及相关禁止类工艺、产品及生产活动，符合园区产业准入规定；（2）产能控制范围外的电镀项目；含有毒有害氰化物电镀工艺（电镀金、银、铜基合金及予镀铜打底工艺除外），含氰沉锌工艺③。本项目为改扩电子专用材料属于该区禁止准入产业和工艺清单目录。限制准入产业（1）与产业规划（5大产业、3大传统优势产业及其上下游产业链）不符的工业项（2）废水排放量大且不具备纳管条件的工业项目；不符合循环经济要求的废旧机电、金属拆解回收，资源综合利用率低的产业低端项目④。本项目为电子专用材料业，不属于规划环评环境准入条件清单中禁止准入产业和产品清单。项目选址内先进水平，同时本项目污染物排放量很少，对周边环境影响较小。因金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司33本项目属于电子专用材料制造（C3985），不属于石化、涂料、纺织印染、橡胶、表2.8-1原辅材料及产物情况识别统计表识别内容主要物质是否属于新污染物管控范围管控要求及措施原料涉及化学品氨水（30%）、盐酸（36%）、双氧水（30%）等否严格执行化学品储存、警及围堰措施废气污染物HF、硝酸雾、HCl、NH3、非甲烷总烃否理达标后排放废水污染物pH、CODcr、氨氮、总氮、氟化物、SS、砷否分类收集、分质处理，含砷废水单独预处理后达标纳管固体废物废酸、废包装桶、含砷污泥、废矿物油等否危险废物委托有资质托综合利用2.8.2《浙江省重金属污染防控工作方案》符合性分析金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司34表2.8-2项目重金属污染物来源及管控表重金属来源产生环节管控措施砷（As）单晶炉原料单晶拉晶工序产生含砷废水、含砷废埚底料含砷废水经预处理装置（两级化学沉淀+氧化+砂滤）处理后达标纳管，出水砷<0.2mg/L；含砷废埚底料作为危险废物委托有资质单位处置表2.8-3重金属总量控制符合性分析表符合性要点本项目情况判定重点重金属污染物识别本项目涉及砷、锑，不属于五项总量控制重点重金属（铅、汞、镉、铬、砷中对砷实施总量控制），已识别砷实施总量控制符合重金属排放总量控制本项目含砷废水经预处理后达标纳管，砷排放量已纳入总量控制，含砷污泥作为危废委托处置符合重点行业管控本项目为电子专用材料制造，不属于有色金属冶炼、电镀、制革等重点重金属防控行业符合污染治理措施含砷废水采用两级化学沉淀+氧化+砂滤工艺，具有较高去除效率，确保稳定达标排放符合环境风险防控含砷废水预处理装置设置围堰及应急收集设施，含砷废埚底料暂存于危废库内定期处置符合2.8.3《浙江省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）》符合性分析表2.8-4《浙江省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）》符合性分析管控要点指南要求本项目情况符合性源头替代/过程控制鼓励企业采用低挥发性或无异味的物料替代高挥发性、强异味物料；加强物料储存、转移、输送环节的密闭化管理，减少无组织挥发本项目酸洗原料（氢氟酸、硝酸等）储存于密闭储罐或桶内；生产过程中各清洗机、酸腐蚀机等设备均采用密闭或半密闭设计，物料通过管道输送，有效减少了无组织挥发符合末端治理产生含挥发性有机物及异味废气的工序应配备有效的废气收集和处理设施酸性废气采用碱液喷淋处理，排放浓度满足标准限值；废气收集系统按设计要求配置，确保收集效率符合无组织排放控制加强设备动静密封点泄漏检测与修复，减少无组织逸散企业已建立设备巡检制度，定期检查维护，减少泄漏；厂界臭气浓度满足相关标准要求符合环境管理建立异味管控台账，定期开展企业已制定环境管理制度，定期开展自行监符合金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司35臭气强度自查评估测，保留监测记录及台账金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司363现有项目污染源调查表3.1-1企业现有项目审批及建设情况收32号硅外延片项目片0/h)金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司37表3.2-1项目产品方案及规模序号名称环评年产量2025年实际年产量1集成电路用12英寸硅片2天然气制氢工程项目14196万Nm3/a518.99万Nm3/a表3.2-2工程组成表项目实际建设情况主体工程(1)一期利用金瑞泓科技（衢州）有限公司场地以及单晶生产厂房1幢，厂房内按照工艺过程布置单晶生产单元，设置单晶炉、切断机、滚圆机等设备，单晶片设计产能为60万片/年；二期利用金瑞泓科技（衢州）有限公司场地，建设单晶生产厂房1幢，设置单晶炉、切断机、滚圆机等设备，单晶片设计产能为120万片/年。(2)一期利用金瑞泓科技（衢州）有限公司切磨抛生产厂房1幢，厂房内按照工艺过程布置成型生产单元、热处理生产单元、抛光生产单元等，设置线切割机、磨片机、清洗机、热处理炉、抛光机等设备；抛光片设计产能为60万片/年；二期利用金瑞泓科技（衢州）有限公司场地，建设切磨抛生产厂房1幢，抛光片设计产能为120万片/年。(3)一期利用金瑞泓科技（衢州）有限公司外延厂房1幢，厂房内按照工艺过程布置外延片生产单元。设置外延炉等设备设备，外延片设计产能为60万片/年；二期利用金瑞泓科技（衢州）有限公司外延厂房1幢，厂房内按照工艺过程布置外延片生产单元。设置外延炉等设备，外延片设计产能为120万片/年。辅助工程依托金瑞泓科技（衢州）有限公司建设的大宗气站一座，已建设5个24m3氢气槽罐车，1个50m3液氮罐，1个50m3液氩罐，1个15m3液氧罐，同时企业与衢州杭氧东港气体有限公司签订供气协议，氩气和氮气由衢州杭氧东港气体有限公司直接供应。公用工程生产用水取自乌引干渠，依托金瑞泓科技（衢州）有限公司建设的500m3/h原水净化器1座，生活用水由园区自来水管网供应。依托金瑞泓科技（衢州）有限公司建设的二套制备能力60m3/h超纯水制备装置。实行雨污分流、污污分流制。雨水收集后就近接入厂区雨水管网，收集后就近排入市政雨水管网。项目废水经分类收集、分质处理，其中酸碱废水经中和处理，研磨废水、生活污水等含有机物、氨氮废水经生化处理，含氟废水经除氟处理，含砷废水经单独除砷处理系统处理，处理达到《污水综合排放标准》中的三级标准纳入园区污水管网，送衢州工业污水处理厂处理。电力线路由园区变电所输电网就近接入。依托金瑞泓科技（衢州）有限公司现有变压器总容量为12600kVA。生产线不使用蒸汽，外延炉、热处理炉等加热以电作为能源。生活用热、制冷由厂房配套空调提供。储运工程依托金瑞泓科技（衢州）有限公司化学品库1幢，建筑面积587.87m2。液体物料(主要为氢氟酸、硝酸、抛光液等)用桶装储存于化学品仓库内。依托金瑞泓科技（衢州）有限公司特气仓库1幢，建筑面积346.72m2，特种气体氯化氢、三氯氢硅、硼烷混气、磷烷混气用钢瓶储存于特气仓库。杭州一达环保技术咨询服务有限公司38环保工程外延酸性废气经碱液喷淋+吸附处理后高空排放；外延碱性废气经酸液喷淋处理后高空排放；单晶酸洗废气经碱液喷淋+吸附装置处理后高空排放；抛光碱性废气经酸液喷淋处理后高空排放；成型酸性、抛光酸洗废气经碱液喷淋处理后高空排放；单晶含油废气经静电除油后高空排放；异丙醇抛光有机废气经水喷淋处理后高空排放。外延炉自带尾气吸收装置，Centura200外延炉配备4台吸收装置和1个排气筒，lpe3061外延炉配1台吸收装置和1个排气筒。废水分类收集、分质处理，利用金瑞泓微电子（衢州）有限公司污水处理站（处理能力10000m3/d）和金瑞泓科技（衢州）有限公司污水处理站（处理能力5560m3/d）。酸碱废水经中和系统处理，研磨废水等含有机物经生化系统处理，含氟废水经除氟系统处理，废酸经废酸预处理系统处理，含砷废水经单独处理系统处理，经上述处理后的废水合并达到纳管标准后纳入园区污水管网，送衢州工业污水处理厂（衢州市城东污水处理厂三期项目）处理。利用金瑞泓科技（衢州）有限公司固废暂存场所及处置。目前厂区设置4个固废仓库，一般固废仓库370m2、一般污泥仓库185m2、危废仓库150m2、含砷污泥仓库90表3.2-3工程组成表类别主要内容及规模主体工程天然气制氢装置区制氢装置区一期占地面积1792m2(长56m×宽32m)，纯化站建筑面积295m2，用地面积295m2。购置转化炉、中变炉、吸附塔等主要设备，新建天然气制氢装置，采用天然气蒸汽转化技术，通过天然气精制、蒸汽转化、一氧化碳变换、变压吸附净化等工序制得高纯氢气。项目一期制氢分两个阶段，各阶段产能2000Nm3/h，一期建设完成后总产能4000Nm3/h，二期建设完成后达到年产6000Nm3/h制氢总产能。辅助工程新建动力站1幢，1F，建筑面积900m2，用地面积900m2，布置循环冷却水系统、除盐水系统以及空压站等。公用工程供水工程本项目用水由园区自来水管网供应。排水工程实行雨污分流、污污分流制。雨水收集后就近接入厂区雨水管网，收集后就近排入市政雨水管网。项目废水经厂区污水站处理后纳管送送衢州工业污水处理厂（衢州市城东污水处理厂三期项目）处理。项目一期排水量为57.04m3/d。供电电力线路由园区变电所输电网就近接入，总容量为1000KVA。循环冷却水项目设置一套循环冷却水塔系统，为工艺设备提供循环冷却水，一期循环水量160m3/h。除盐水项目设置一套除盐水系统，采用二级反渗透装置制备供给，除盐水一期用量为27987.2m3/a。供气项目天然气由衢州新奥燃气有限公司，高压天然气管道由燃气公司配套建设。项目产出低压蒸汽一部分作为工艺蒸汽使用，多余部分可供金瑞泓硅片产业园项目使用。空压新建空压装置，项目一期压缩空气需求量160Nm3/h。储运工程物料贮存天然气不在厂内贮存，直接通过园区天然气管网输送至厂内生产装置区，催化剂和吸附剂采用袋装储存于原料仓库。物料运输袋装原料用卡车运输；天然气用管道输送。产品储存氢气经配套产品缓冲罐储存后直接送往生产区。金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司39环保工程废气治理转化炉采取低氮燃烧装置，转化炉加热过程的燃烧烟气通过30m高烟囱高空排放，一期、二期各设一个排气筒；变压吸附的解吸气全部回用作为燃料，供给制氢转化炉所需热量，不外排。废水治理项目一期废水产生量为57.04m3/d一期+二期废水产生量为85.56m3/d，分类收集、分质处理，本次项目新建污水站，其中生活污水经厂区化粪池处理后，与其他废水一并进入混凝沉淀调节池，经混凝沉淀调节均质处理后纳管，设计处理规模150m3/d，可满足本项目废水处理需求。项目废水经处理后达到纳管标准后送衢州工业污水处理厂（衢州市城东污水处理厂三期项目）处理，于H-20-2地块东侧设排污口。固废治理依托现有项目H-14地块150m2危废仓库，固废按种类的不同分别贮存。其他事故应急池项目设200m3事故应急池一座，位于地块南侧。）；洗、外延片酸洗废气（HF、HCl、NOX外延片碱洗废气（氨）、单晶酸洗、化表3.2-8现有废气处理设施工序排放源污染物名称设施排气筒数量排放高度金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司40外延外延生长废气HCL、粉尘Centura200外延炉配备4台碱液吸收装置，lpe3061外延炉配1台碱液吸收装置石英件酸洗、外延片酸洗废气碱液喷淋塔1外延片碱洗废气氨酸液喷淋塔128单晶酸洗废气碱液喷淋塔+吸附装置1化腐废气含油废气非甲烷总烃静电除油装置成型酸腐蚀废气碱液喷淋塔1抛光洗、抛光后酸洗废气碱液喷淋塔1热处理后碱洗、贴片后碱洗、抛光后碱洗废气氨酸液喷淋塔128CMP抛光清洗异丙醇水喷淋塔125转化烃类水蒸汽转化烟尘、氮氧化物、二氧化硫低氮燃烧1表3.2-9DA001酸雾排放口1#检测结果检测断面及检测点位DA001酸雾排放口1#排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.25样品编号及检测频次FQ250625金瑞泓1#-1平均值/排气温度(℃)20.220.620.120.620.4/金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司41排气流速(m/s)3.03.3/排气管道截面积(m²)1.76711.76711.76711.76711.7671/实测排气流量(m³/h)2226620994209941908520835/标干排气流量(m³/h)1930018093181081645717990/氟化物实测浓度(mg/m³)排放速率均值(kg/h)0.59氮氧化物实测浓度(mg/m³)<3<3<3<3<3240排放速率均值(kg/h)4.4注1：依据该企业排污许可证；限值参考《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准。注2：样品性状：氟化物为滤筒样。表3.2-10DA002酸雾排放口2#检测结果检测断面及检测点位DA002酸雾排放口2#排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.24样品编号及检测频次FQ250624金瑞泓2#-1平均值/排气温度(℃)21.120.921.321.121.1/排气流速(m/s)9.3/排气管道截面积(m²)1.53941.53941.53941.53941.5394/实测排气流量(m³/h)5264750984509845043051261/标干排气流量(m³/h)4583044363443254385944594/氟化物实测浓度(mg/m³)9.0排放速率均值(kg/h)0.59氯化氢实测浓度(mg/m³)6.66.9排放速率均值(kg/h)0.308非甲烷总烃实测浓度(mg/m³)0.610.590.670.540.60排放速率均值(kg/h)53氮氧化物实测浓度(mg/m³)<3<3<3<3<3240排放速率均值(kg/h)4.4注1：依据该企业排污许可证；限值参考《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准。注2：样品性状：氟化物为滤筒样，非甲烷总烃为气袋样，氯化氢为吸收液样。表3.2-11DA003酸雾排放口3#检测结果检测断面及检测点位DA003酸雾排放口3#排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.23样品编号及检测频次FQ250623金瑞泓3#-1平均值/排气温度(℃)20.4/杭州一达环保技术咨询服务有限公司42排气流速(m/s)3.84.0/排气管道截面积(m²)2.68802.68802.68802.68802.688/实测排气流量(m³/h)3677238708377403483737014/标干排气流量(m³/h)3196833677328383033032203/氟化物实测浓度(mg/m³)0.250.270.290.240.269.0排放速率均值(kg/h)0.59氮氧化物实测浓度(mg/m³)20284240排放速率均值(kg/h)0.5474.4氯化氢实测浓度(mg/m³)5.96.0排放速率均值(kg/h)0.193注1：依据该企业排污许可证；限值参考《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准。注2：样品性状：氟化物为滤筒样，氯化氢为吸收液样。表3.2-12DA034碱雾排放口检测结果检测断面及检测点位DA034碱雾排放口排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.23样品编号及检测频次FQ250623金瑞泓4#-1/排气温度(℃)21.220.920.8/排气流速(m/s)/排气管道截面积(m²)0.63620.63620.6362/实测排气流量((m3/h)778775587558/标干排气流量(m³/h)674565606558/氨实测浓度((mg/m3)/排放量(kg/h)0.1250.1170.117/最大排放量(kg/h)0.12520注1：依据该企业排污许可证；限值参考《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值。注2：样品性状：氨为吸收液样。表3.2-13DA036酸雾排放口4#检测结果检测断面及检测点位DA036酸雾排放口4#排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.23样品编号及检测频次FQ250623金瑞泓5#-1平均值/排气温度(℃)21.220.921.021.121.1/排气流速(m/s)/排气管道截面积(m²)1.53941.53941.53941.53941.5394/杭州一达环保技术咨询服务有限公司43实测排气流量(m³/h)5763459297587435874358604/标干排气流量(m³/h)5010051602510955109150972/氟化物实测浓度(mg/m³)80.169.0排放速率均值(kg/h)0.59氮氧化物实测浓度(mg/m³)<3<3<3<3<3240排放速率均值(kg/h)4.4氯化氢实测浓度(mg/m³)6.87.5排放速率均值(kg/h)0.382注1：依据该企业排污许可证；限值参考《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2标准。注2：样品性状：氟化物为滤筒样，氯化氢为吸收液样。表3.2-14DA037碱雾排放口检测结果检测断面及检测点位DA037碱雾排放口排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.23样品编号及检测频次FQ250623金瑞泓6#-1/排气温度(℃)20.920.721.0/排气流速(m/s)3.02.9/排气管道截面积(m²)0.38480.38480.3848/实测排气流量(m³/h)415640184295/标干排气流量(m³/h)360534873724/氨实测浓度(mg/m³)/排放量(kg/h)/最大排放量(kg/h)20注1：依据该企业排污许可证；限值参考《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2标准限值。注2：样品性状：氨为吸收液样。表3.2-15DA068#外延酸性废气排放口1#检测结果检测断面及检测点位DA068#外延酸性废气排放口1#排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.25样品编号及检测频次FQ250625金瑞泓7#-1平均值/排气温度(℃)20.1/排气流速(m/s)6.36.4/排气管道截面积(m²)1.32731.32731.32731.32731.3273/实测排气流量(m³/h)3105931059305823010430701/杭州一达环保技术咨询服务有限公司44标干排气流量(m3/h)2675226702263902593726445/氟化物实测浓度(mg/m3)0.080.l20.l00.090.l09.0排放速率均值(kg/h)0.59氮氧化物实测浓度(mg/m3)<3<3<3<3<3240排放速率均值(kg/h)4.4氯化氢实测浓度(mg/m3)ll.l9.ll00排放速率均值(kg/h)0.24ll.4注l：依据该企业排污许可证；限值参考《大气污染物综合排放标准》(GBl6297-l996)表2标准。注2：样品性状：氟化物为滤筒样，氯化氢为吸收液样。表3.2-16食堂油烟出口检测结果检测断面及检测点位食堂油烟出口《饮食业油烟排放标准》(试行)(GBl8483-200l)表2排气筒(烟囱)高度(m)5周期I检测日期2025.06.24/平均排气温度(℃)3l.3/平均排气流速(m/s)4.88/排气管道截面积(m2)0.4/平均实测排气流量(m3/h)6324/平均标干排气流量(m3/h)5459/集气罩面积(m2)4/油烟实测浓度(mg/m3)0.7/基准风量排放浓度(mg/m3)0.52.0注：样品性状：油烟为金属滤筒样。表3.2-17DA069#外延酸性废气排放口2#检测结果检测断面及检测点位DA069#外延酸性废气排放口2#排气筒(烟囱)高度(m)30周期I检测日期2025.06.25样品编号及检测频次FQ250625金瑞泓8#-l平均值/排气温度(℃)20.3l9.920.l20.520.2/排气流速(m/s)8.38.3/排气管道截面积(m2)l.3273l.3273l.3273l.3273l.3273/实测排气流量(m3/h)39l83406l6382273966039422/标干排气流量(m3/h)336l034927329l43405233876/氟化物实测浓度(mg/m3)0.ll0.l30.l30.l50.l39.0排放速率均值(kg/h)4.40×l0_30.59氮氧化物实测浓度(mg/m3)<3<3<3<3<3240排放速率均值(kg/h)4.4氯化氢实测浓度(mg/m3)8.79.l6.87.68.ll00杭州一达环保技术咨询服务有限公司45排放速率均值(kg/h)0.274l.4注l：依据该企业排污许可证；限值参考《大气污染物综合排放标准》(GBl6297-l996)表2标准。注2：样品性状：氟化物为滤筒样，氯化氢为吸收液样。表3.2-18DA070#外延碱性废气排放口检测结果检测断面及检测点位DA070#外延碱性废气排放口排气筒(烟囱)高度(m)l5周期I检测日期2025.06.23样品编号及检测频次FQ250623金瑞泓9#-l/排气温度(℃)20.820.620.8/排气流速(m/s)/排气管道截面积(m2)3.l4l63.l4l63.l4l6/实测排气流量(m3/h)96l339500297264/标干排气流量(m3/h)83259823l084202/氨实测浓度(mg/m3)l4.3l4.3l4.7/排放量(kg/h)l.l9l.l8l.24/最大排放量(kg/h)l.244.9注l：依据该企业排污许可证；限值参考《恶臭污染物排放标准》(GBl4554-93)表2标准限值。注2：样品性状：氨为吸收液样。表3.2-191#转化炉燃烧烟气排放口检测结果检测断面及检测点位l#转化炉燃烧烟气排放口排气筒(烟囱)高度(m)l5周期I检测日期2025.07.07样品编号及检测频次FQ250707金瑞泓l#-l平均值/排气温度(℃)l29l29l29l29/排气流速(m/s)3.6l3.6l3.6l3.6l/排气管道截面积(m2)0.28270.28270.28270.2827/实测排气流量(m3/h)3674367936773677/标干排气流量(m3/h)2250224l22452245/烟气含氧量(%)6.l/二氧化硫实测浓度(mg/m3)<3<3<3<3/基准氧含量排放浓度均值(mg/m3)<2200排放速率均值(kg/h)/氮氧化物实测浓度(mg/m3)<3<3<3<3/基准氧含量排放浓度均值((mg/m3)<2300排放速率均值(kg/h)/注l：依据该项目环评；限值参考关于印发《工业炉窑大气污染综合治理方案》的通知(环大气[20l9]56号)标准。注2：基准氧含量排放浓度根据实测浓度按过量空气系数l.7折算。表3.2-201#转化炉燃烧烟气排放口检测结果检测断面及检测点位l#转化炉燃烧烟气排放口金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产l80万片l2英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司46排气筒(烟囱)高度(m)l5周期I检测日期2025.07.07样品编号及检测频次FQ250707金瑞泓l#-l平均值/排气温度(℃)l3ll37l29l32/排气流速(m/s)3.383.643.6l3.54/排气管道截面积(m2)0.28270.28270.28270.2827/实测排气流量(m3/h)3444370836763609/标干排气流量(m3/h)2098223222442l9l/烟气含氧量(%)6.7/颗粒物实测浓度((mg/m3)<l.0<l.0l.20.7/基准氧含量排放浓度均值((mg/m3)0.630排放速率均值(kg/h)/注l：依据该项目环评；限值参考关于印发《工业炉窑大气污染综合治理方案》的通知(环大气[20l9]56号)标准。注2：基准氧含量排放浓度根据实测浓度按过量空气系数l.7折算。注3：样品性状：颗粒物为采样头样。注4：样品浓度低于监测方法检出限，以l/2最低检出限报出，同时用该数值参与平均值计算。表3.2-21无组织废气监测结果检测日期检测项目样品性状检测点位检测频次厂界东(l#)厂界南(2#)厂界西(3#)厂界北(4#)2025.06.23吸收液样第一次0.350.330.l80.l3l.5第二次0.3l0.240.l40.ll第三次0.330.290.l70.l3最大值0.350.330.l80.l3注：依据该企业排污许可证，氨限值参考《恶臭污染物排放标准》(GBl4554-93)表l二级新扩改建标准。2025.06.24非甲烷总烃气袋样第一次0.70.590.60.64第二次0.680.740.680.6l金瑞泓微电子（衢州）有限公司年产180万片12英寸重掺衬底片技术改造项目杭州一达环保技术咨询服务有限公司47第三次0.820.590.7第四次0.740.650.640.64TSP(颗粒物)(μg/m³)滤膜样第一次206244244300第二次281225281243第三次205206262280第四次278<167334氟化物(μg/m³)滤筒样第一次2.320第二次5.5第三次5.5第四次氯化氢(mg/m³)吸收液样第一次<0.05<0.05<0.05<0.050.2第二次<0.05<0.05<0.05<0.05第三次<0.05<0.05<0.05<0.05第四次<0.05<0.05<0.05<0.052025.07.07二氧化硫吸收液样第一次0.0480.0410.0420.047/第二次0.0480.0440.0