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道平澜路2118号浙江大学杭州国际科一曝光图形与第二曝光图形未重叠区域的坐标2获取所述待量测结构的电镜扫描图片，所述电镜扫描图片包括第一图形和第二图形，获取所述第一结构对应的第一模拟曝光版图，所述第一模拟曝光获取所述第二结构对应的第二模拟曝光版图，所述第二模拟曝光根据所述第二模拟曝光版图和第一模拟曝光版图，获取所述第一曝光根据所述第一曝光图形与所述第二曝光图形未重叠区域的坐标与轮所述电镜扫描图片中所述第一图形或第二图形34艺性能的关键指标，通常会通过扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope，简称[0008]可选的，根据所述第一曝光图形与所述第二曝光图形未5[0009]可选的，根据所述第一曝光图形与所述第二曝光图形未[0015]可选的，根据所述第一曝光图形与所述第二曝光图形未电镜扫描图片中的第一图形或第二图形进行降6形102与待量测结构的第二结构相对应，所述第二结构位于所述待量测结构的第一结构上[0026]因此在根据所述电镜扫描图片对所述第二结构的第二图形102进行量测时，需要由所述第二模拟曝光版图和第一模拟曝光版图对电镜扫描图片中需要量测的图形区域进7形和所述第二曝光图形重叠区域和未重叠区域的坐选择性地提取所述电镜扫描图片中所述第一图形或第二图形与所述第一图形201的尺寸误差在预设范8[0048]所述第一图形201即为所述目标图形，所述第一掩膜版图经过光学临近效应修正曝光版图的第一曝光图形301与所述第一图形201的尺寸误与所述第二图形202的尺寸误差在预设范[0053]所述第二图形202即为所述目标图形，所述第二掩膜版图经过光学临近效应修正曝光版图的第二曝光图形302与所述第二图形202的尺寸误[0055]根据所述第二模拟曝光版图和第一模拟曝光版图，获取所述第一曝光图形301和9坐标与轮廓，选择性地提取所述电镜扫描图片200中所述第一图形201或第二图形202的轮述电镜扫描图片200中第一图形201未重叠的区域的轮廓和坐标，获取第二图形202区域的[0064]所述降噪处理能够降低第二图形202中的噪声，使第二图形
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