CN119495599A 基板处理装置以及基板处理方法 （Tes股份有限公司）

本发明涉及基板处理装置以及基板处理方安放所述基板的基座的倾斜角度或者倾斜方向发生变化的情况下也能够将所述基板准确地安放于所述基座的中央部的基板处理装置以及基基板安放到所述基座或将所述基板从所述基座于所述基座的倾斜而校正通过所述机械臂在所2控制部，控制所述倾斜调节单元的驱动，并对应于所述基座基于所述基板的所述基座的倾斜信息或者基于所述基板的工艺的所述基座的倾斜信所述基座的倾斜信息包括所述基座的倾斜角度和倾斜方向中的所述控制部根据基于所述基板的所述基座的倾斜信息或者基于所述基板的工艺的所并从所述倾斜校正位置信息表提取与所述基座的倾斜角度以及倾斜方向对应的所述机械臂的校正位置来校正通过所述机械臂在所述基座安放所述基6.一种基板处理装置的基板处理方法，所述基板处将所述基座的倾斜角度以及倾斜方向中的至少一个倾斜为预先确定的倾斜角度以及对应于所述基座的倾斜角度以及倾斜方向而从所述倾斜一校正位校正所述机械臂的位置而在所述基座的上面安放所述基于所述基板的所述基座的倾斜信息或者基于所述基板的工艺的所述基座的倾斜信在所述基座的上面形成插入并安放所述基板的凹陷部，通过3照基板工艺安放所述基板的基座的倾斜角度或者倾斜方向发生变化的情况下也能够将所述基板准确地安放于所述基座的中央部的基板处理装置以及安放所述基板的基座的倾斜角度或者倾斜方向发生变化的情况下也能够将所述基板准确地安放于所述基座的中央部的基板处理装置以及基座的倾斜而校正通过所述机械臂在所述基座安放所4述基板的工艺的所述基座的倾斜信息来驱动所述倾斜调节单元而调整所述基座的倾斜角以及倾斜方向对应的所述机械臂的校正位置来校正通过所述机械臂在所述基座安放所述[0014]另一方面，上述那样的本发明的目的通过基板处理装置信息对应的机械臂的校正位置信息而将基板准确地安放于基座的[0023]图7是示出在倾斜调节单元中基于旋转轴的旋转角度的旋转轴和凸轮部件的旋转5[0043]图1以及图2是根据本发明的一实施例的基板处理装置1000的侧面图。图1示出基[0044]参照图1以及图2，所述基板处理装置1000可以具备提供对所述基板W的处理空间能够直线运动以及上下移动以能够通过所述开口部13进[0048]例如，所述机械臂200可以如图1所示那样将所述基板W送入所述腔室12的内部而所述机械臂200向所述基板W的下方延伸以及移动而将所述基[0049]另一方面，可以在所述腔室12的内侧上部设置朝向所述基板W供应工艺气体的气[0050]可以在所述腔室12的内侧设置被安放所述基板W并能够将所述基板W加热到预先6[0055]图3示出所述基板处理装置1000的所述基座16的平面图以及侧面图。图3的(A)是[0058]当所述基板W安放于所述基座16的上面，更准确地说安放于所述基座16的凹陷部应于预先确定的所述基座16或者凹陷部17的中心线CL在前述的升降销70安放所述基板W。安放在所述升降销70的所述基板W如在图2中所说明那样安放到所述凹陷部[0064]参照图1以及图4，所述倾斜调节单元100可以具备使所述支承板40上下移动预定距离的第一调节单元102以及防止由于所述腔室12内部的负压而所述支承板40向上方移动7[0065]即，所述第一调节单元102如后述那样为了调节所述支承板40的倾斜而使所述支座16和所述腔室12内部的气体供应部1[0067]因此，当所述腔室12内部成负压时，所述第二调节单元104防止所述支承板40上[0068]所述第一调节单元102如图1以及图4所示那样在连接于所述腔室12下部的壳体支承板40的一侧微细地上下移动，或通过第二调节单元104防止所述支承板40上升并固定[0071]因此，所述弹簧部件190的弹性力应构成为大于从所述支承板40由于所述负压而果所述弹簧部件190的弹性力大于通过所述第一调节单元102使所述支承板40向上移动的[0073]参照图5，所述第一调节单元102具备向所述支承板40施加预定的力的凸轮部件130以及具备与所述凸轮部件130的旋转中心隔开预定距离而与所述凸轮部件130连接并使所述凸轮部件130旋转的旋转轴122的驱动8[0076]在此情况下，由于所述凸轮部件130的旋转中心与所述旋转轴122的中心隔开设旋转轴122的距离相对变远时能够使所述支承板40向上方上升，相反地，当所述凸轮部件[0077]此时，可以还具备设置于所述凸轮部件130和所述支承板40之间而围绕所述凸轮部件130的外周并向所述支承板40施加预定的力的轴承部140。所述轴承部140防止所述凸过所述轴承部140的旋转向所述支承板40施加预定的力的[0079]所述推杆150设置成能够贯通线性衬套(linearbush)160上下移动，所述线性衬套160贯通在所述壳体110的另一侧设置的开口部114。当所述推杆150通过所述凸轮部件轮部件130的旋转而所述轴承部140一起旋转时，所述推杆150上下移动而使所述支承板40于所述支承板40能够升降的最大距离而设定所述减速器124[0082]图6示出所述倾斜调节单元100的包括在第一调节单元102中的驱动部120的旋转轴122的旋转角度和所述支承板40的升降距离，图7示出基于所述旋转轴122的旋转角度的所述旋转轴122和所述凸轮部件130的旋转中心132的122和所述凸轮部件130的旋转中心水平的情况设定为基准高度的步骤；当所述旋转轴122从所述基准高度向正方向或者反方向旋转时所述旋转轴122的旋转角度的范围设定为小于[0085]首先，将通过所述旋转轴122的旋转而所述旋转轴122和所述凸轮部件130的旋转9[0086]另一方面，所述图7的(A)是所述旋转轴122和所述凸轮部件130的旋转中心132布述旋转轴122和所述旋转中心132的隔开距离[0089]如上所述那样将通过所述旋转轴122的旋转而所述旋转轴122和所述凸轮部件130高度的理由是，为了当使所述支承板40上下移动时使得基于所述旋转轴122的旋转的所述支承板40的高度调节范围位于所述支承板40[0090]即，若设定成当在所述基准高度下所述旋转轴122向正方向或者反方向旋转时所述旋转轴122的旋转角度的范围小于180°,或者设定成通过所述旋转轴122的旋述支承板40的高度调节范围小于所述旋转轴122与所述凸轮部件130的旋转中心142隔开的相应于1.5mm时，所述支承板40的最高点和最低点之间的距离相应于与所述隔开距离的两所述旋转轴122的旋转角度的范围设定为180°,则所述支承板40的高度调节范围脱离所述转轴122的相位旋转到180°以上，所述支承板40也不再上升，所述旋转轴122的相位超过[0095]结果，如上述那样设定所述旋转轴122的旋转角度范围或者所述支承板40的高度调节范围之后，使所述旋转轴122向正方向或者反方向中的任一方向旋转而使所述支承板[0096]另一方面，图9作为所述支承板40的平面图，示出所述支承板40和倾斜调节单元[0100]在此，所述固定单元300不能调节所述支承板40的倾斜角度而只是起到固定以及所述固定单元300和所述倾斜调节单元100A、100B以分别形成120度的中心角度的方式配述支承板40以及所述基座16的倾斜角度以及到所述基座16的凹陷部17时，所述基板W可能安放不到所述凹陷部17的中央部而被向一侧到所述凹陷部17而所述基板W的一侧会挂在所述基座16的倾斜信息和与所述基座16的倾斜信息对应的所述机械臂200的校正位置信息以倾座16的倾斜信息和与所述倾斜信息对应的所述机械臂200的X轴以及Y轴被校正的位置可以调节单元100的驱动进行的基座16的高度变化也可以直接以输入条件输入到前述的倾斜一[0119]首先，所述控制部可以根据基于所述基板W的所述基座16的倾斜信息或者基于所述基板W的工艺的所述基座16的倾斜信息来控制各倾斜调节单元100的驱动部120的驱动而可以通过所述各倾斜调节单元100的驱动直接调节基座1[0123]接着，所述控制部根据所述机械臂200的X轴校正坐标以及Y轴校正坐标来校正所述机械臂200的位置而在所述基座16的上面安放离所附的权利要求书中记载的本发明的构思以及领