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2025.01.03PCT/EP2023/0681832023.07.03WO2024/008624EN2024.01.11本发明属于用于在基材上制备含过渡金属发明涉及一种用于在基材上制备含过渡金属的膜的方法，该方法包括(a)通过重复使该基材与呈气态的含过渡金属的化合物和有机酸接触来2(a)通过重复使该基材与呈气态的含过渡金属的化合物和有机酸接触来形成有机一无6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，该有机一无机杂化膜在160℃至280℃的温10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中，热处理通过在惰性气氛中将该有机无机杂化膜加热到350℃至450℃的温度来进行。11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其中，该有机一无机杂化膜含有20至60wt.％的有机酸。3[0004]WO2004/035858A2披露了一种通过使用还原气体如氢气、乙醛酸或草酸来沉积[0007]这些目的通过一种用于在基材上制备含过渡金属的膜的方法来实现，该方法包[0008](a)通过重复使基材与呈气态的含过渡金属的化合物和有机酸接触来形成有机_4[0013]在本发明的方法的步骤(a)中，通过重复使基材与呈气态的含过渡金属的化合物化合物接触持续一定时间，从气相中除去任何[0016]另外的合适的含过渡金属的化合物是其中配体经由氧原子和/或氮原子与过渡金至少两个氧原子与过渡金属原子配位。这些络合物可以含有乙二胺衍生物配体，如N,N,N’氨基2丙醇盐或二甲基氨基叔丁醇盐，例如双(二甲基氨基2丙醇基)镍(Ni(dmap)25更优选40℃至50℃、特别是20℃至20℃的熔点。如果含过渡金属的化合物熔化得到直至气压为1毫巴时的温度为至少50℃。[0022]在根据本发明的方法中使用的含过渡金属的化合物或有机酸以高纯度使用以实fungfesterBrennstoffe一BestimmungdesGehaltesanKohlenstoffundWasserstoffVerfahrennachRadmacherHoverath[固体燃料的测试碳和氢含量测定RadmacherHoverath法],2001年8月)通过元素分析来确定纯度。6如例如由J.Yang等人(JournalofMaterialsChemistryC[材料化学杂志C],第3卷可以使用增加的压力将呈气态的含过渡金属的化合物或有机酸推向固体基材。出于此目[0028]优选地，基材的温度比使含过渡金属的化合物或有机酸变成气态的场所高5℃至机无机杂化膜形成期间的温度，优选地其比有机无机杂化膜形成期间的温度高至少20或一氧化碳中。可替代地或附加地，热处理可以包括将7膜厚度和均匀性的合适方法是XPS或椭圆[0036]在ALD反应器(等离布所确定的45at.％的Ni。平原位监测的在所

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