CN119509379A 光学检测方法及系统、设备及存储介质 （深圳中科飞测科技股份有限公司）

一种光学检测方法及系统、设备及存储介的位置获得特征点沿垂直于待测物表面方向的2根据所述待测物的特征点的预估高度获取探测器靶面的感根据所述感兴趣区域的成像光斑的位置获得所述特征点沿垂直于所述待测物表面方根据所述待测物的特征点的预估高度获取所述探测器靶面的感兴趣获取所述特征点的高度区间内对应的高度值，与所述感兴趣根据所述特征点的预估高度所在的高度区间与所述映射关物进行检测扫描，所述探测器包括用于交替进行所述检测扫描的第一探测器和第二探测根据所述待测物的特征点的预估高度获取探测器靶面的感兴趣区域分别获取第一探测器靶面和第二探测器靶面上的感兴趣3对比所述第一校准图像和第二校准图像的光斑中心位置，获得第一探根据所述感兴趣区域的成像光斑的位置获得所述特征点沿垂直于所述待测物表面方获取各子检测图像的光斑质心位置得到质心将多个所述质心一维点云数据进行拼接得到质心将多个所述灰度一维点云数据进行拼接得到根据所述质心位置点云图和灰度点云图获得所述顶部质心位置和4感兴趣区域获取模块，用于根据所述待测物的特征点的预估高成像模块，用于利用所述探测器对所述待测物进行成像，测量高度获取模块，用于根据所述感兴趣区域的成像光斑条或多条计算机指令用于实现如权利要求1_135[0002]随着集成电路制造技术的快速发展，2.5用探测器对待测物进行成像，获取特征点在探测器靶面的感兴趣区域的成像光斑的位置；根据感兴趣区域的成像光斑的位置获得特征点沿垂直于待测物表面方向的[0007]本发明实施例还提供一种光学检测系统，用于对待测物的特征点的高度进行检6[0016]由背景技术可知，光学检测方法是一种常用的对待测物上的特征点的检测技[0032]本实施例中，光学检测方法适于通过入射光在具有采样点的待测物100表面形成7点和基准点光斑之间的间距越大，相应感兴趣区域需要沿检测扫描的扫描方向更大的尺8[0053]第一探测器820和第二探测器830采集待测物100上同一区域的信号光所形成采样[0059]本实施例中，还获取第一探测器820和第二探测器830采集待测物100上同一区域[0061]获取第一探测器820和第二探测器830的感兴趣区域的起始位置之差为位置校正位置为基准，设置另一探测器810的感兴趣区域的起始位置为基准+dG1，使得第一探测器9[0062]本实施例中，获取第一探测器820和第二探测器830采集待测物100上同一区域的[0063]第一校准图像和第二校准图像用于获得待测物100上同一点在两个探测器810上[0074]待测物100的图像用于对待测物100的放置位置调整，还用于在检测扫描的过程[0078]根据图像对待测物100进行检测扫描的路径规划，使得检测扫描的扫描路径合理[0080]获取特征点在探测器810靶面80的感兴趣区域的成像光斑的位置，用于作为后续[0090]入射光经过待测物100表面发生镜面反射，入射光的入射角与信号光的反射角相现对所有线形的入射光斑800s对待测物100的完全覆盖，同时能够充分利用每个线形的入括沿光路传输方向(如图2和图3中虚线上的箭头方向[0107]本实施例中，第一狭缝元件400中的狭缝开口长度方向垂直于所述入射光的光路[0108]第一镜组500用于将线形入射光聚焦至待测物上以产生线形光斑的同时，还用于[0120]本实施例中，分束器700沿多个不同光路方向传输的信号光分别投射至第一探测[0130]当对焦位置与预设位置的偏差小于或等于预设阈值时，[0131]执行步骤S3：根据感兴趣区域的成像光斑的位置获得特征点沿垂直于待测物100[0133]本实施例中，根据感兴趣区域的成像光斑的位置获得特征点沿垂直于待测物100[0143]质心一维点云数据表示感兴趣区域中光斑质心位置与多个子检测图像的对应位置关系，灰度一维点云数据表示感兴趣区域中灰度和值与多个子检测图像的对应位置关[0144]质心位置点云图为探测器靶面感兴趣区域中的不同位置灰度和值点云图为探测器靶面感兴趣区域中的不同位置与灰度和值的对应[0145]质心位置点云图和灰度和值点云图用于作为计算顶部质心位置和底部质心位置质心位置为第一探测器820对应的光斑质心位置与第点的位置较近的探测器810的感兴趣区域的起始位置为第一探测器820，第二探测器830获得的质心位置即可通过计算补偿获得，即为第一探测器820对应的光斑质心位置与第二校[0151]以灰度和值较低的探测器810为第一探测器820，第二探测器830对应的灰度和值[0152]本实施例中，将多个子检测图像的质心一维点云数据沿检测扫描的扫描方向拼得表征待测物100全局采样点质心位置情况的质心得表征待测物100全局特征点灰度和值情况的[0158]质心位置点云图表征各个点在待测物100上的位置对应的质心位置，通过质心位置点云图中质心位置的分布能够确定特征点在待测[0162]特征点的位置周围相同设定区域的点指的是特征点的位置周围用于对特征点进[0163]本实施例中，将设定区域内的点对应的质心位置点云数据作为顶部测算点云数因待测物100自身不平整而引起的检测误差，从而有利于较为精准的获得特征点的测量高根据多个检测图像获取特征点在感兴趣区域的顶部质心位置和底部质心位置之前，还包[0184]中值滤波对椒盐噪声(即脉冲噪声)具有较好的滤除作用，而且在滤除噪声的同根据多个检测图像获取特征点在感兴趣区域的顶部质心位置和底部质心位置之前，还包[0186]每个检测图像具有的采样点的采样光斑不尽相同，则进的位置在检测图像中的灰度值；当待测物100表面的位置在检测图像中的灰度值大于或等[0188]当待测物100表面的位置在检测图像中的灰度值大于或等于灰度阈值时，表征待过调整使得待测物100上所有待测物100表面在检测图像中的灰度值均大于或等于预设灰趣区域的成像光斑的位置获得特征点沿垂直于待测物表面方向的[0209]感兴趣区域获取模块501用于根据待测物的特征点的预估高度获取探测器靶面的[0216]本实施例中，根据待测物的特征点的预估高度获取探测器[0226]第一探测器和第二探测器采集待测物上同一区域的信号光所形成采样光斑的位置偏差，即为同一位置点在第一探测器和第二探测器靶面80上相对于靶面80的位置偏差，时有利于后续获得的第二校正参数尽可能较小，使得后续在计算过程中进行计算补偿较就是说，以计算位置偏差时距离原点的位置较近的探测器的感兴趣区域的起始位置为基[0236]第一校准图像和第二校准图像用于获得待测物上同一点在两个探测器上的位置[0252]成像模块502用于利用探测器对待测物进行成像，获取特征点在探测器靶面的感[0262]当对焦位置与预设位置的偏差小于或等于预设阈值时，[0263]测量高度获取模块503用于根据感兴趣区域的成像光斑的位置获得特征点沿垂直[0275]质心一维点云数据表示感兴趣区域中光斑质心位置与多个子检测图像的对应位置关系，灰度一维点云数据表示感兴趣区域中灰度和值与多个子检测图像的对应位置关[0276]质心位置点云图为探测器靶面感兴趣区域中的不同位置灰度和值点云图为探测器靶面感兴趣区域中的不同位置与灰度和值的对应[0277]质心位置点云图和灰度和值点云图用于作为计算顶部质心位置和底部质心位置心位置为第一探测器对应的光斑质心位置与第二[0284]本实施例中，将多个子检测图像的质心一维点云数据沿检测扫描的扫描方向拼得表征待测物全局采样点质心位置情况的质心[0294]特征点的位置周围相同设定区域的点指的是特征点的位置周围用于对特征点进[0295]本实施例中，将设定区域内的点对应的质心位置点云数据作为顶部测算点云数[0316]中值滤波对椒盐噪声(即脉冲噪声)具有较好的滤除作用，而且在滤除噪声的同[0318]每个检测图像具有的采样点的采样光斑不尽相同，则进[0331]本发明实施例还提供一种设备，该设备可以通过装载程