场发射环境扫描电镜配置及技术规格表

1、场发射环境扫描电镜配置及技术规格表附件1：货物需求一览表项目序号设备名称数量交货地点交货期1场发射环境扫描电镜1台河南理工大学指定地点按合同要求附件2：设备配置及技术规格表序号设备名称技术参数功能要求数量1场发射环境扫描电镜仪器设备的主要技术参数1 主机1.1 分辨率1）高真空 30 kV下不低于1.0 nm (SE) 30 kV下不低于2.5 nm (BSE)* 1 kV下不低于3.0 nm (SE)2）低真空 30 kV下不低于1.4 nm (SE) 30 kV下不低于2.5 nm (BSE) 3 kV下不低于3.0 nm (SE)3）环境真空 (ESEM) * 30 kV下不低于1.4

2、nm (SE)1.2 放大倍数 高真空模式下：141,000,000，连续可调 放大倍数误差：3%1.3 电子光学 高分辨肖特基场发射电子枪，具有自动对中和启动电子枪功能；在显示器中显示全部发射器参数的状态信息；灯丝寿命优于两年。 加速电压：200 V - 30 kV，连续可调 束流：最大200 nA并连续可调 成像模式：二次电子像与背散射电子像，两者可以任意比率混合，自动调节和手动调节亮度、对比度。1.4 物镜光阑 物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑； 光阑寿命优于两年。1.5 样品室 样品台：4轴马达驱动，移动范围：X50mm；Y50mm；Z50mm；T:-5+70，R=

3、360连续旋转 样品台移动重复精度：2um（X/Y方向） 样品室尺寸：250mm；兼容性高，预留EDS、EBSD、波谱仪以及其他标准扩展接口。1.6 检测器 高真空模式，E-T二次电子探头； 低真空模式，大视场低真空气体二次电子探头(LFD) 环境真空下模式，气体二次电子探头(GSED) 高灵敏度，低电压固体背散射电子检测器 样品室红外CCD相机1.7 图像处理器 图像处理：最大40963536像素 图像文件格式：TIFF(8位或16位)，BMP或JPEG 单窗口或四窗口图像显示，四活动窗口，实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合。 256 帧平均或积分，数字动画记录 基于以太网架构的数据传输系

4、统； Intel双核控制和操作计算机系统，Windows 7操作系统；中央处理器：CPU：Intel酷睿i7 4.0GHz。内存：4G；独立显卡，2G显存；界接口：串行、并行、SCSI、USB 3.0接口、网络；硬盘1 TB；DVD刻录； 软件平台适用于Windows7 操作系统 显示器：24寸 LCD 显示器1.8 真空系统 涡轮分子泵250l/sec和2个离子泵，两个无油机械泵； “穿过透镜”的压差真空系统，低真空模式下抽气区域不少于3个； 样品室真空度：高真空模式下610-4Pa，低真空模式下10130Pa，环境真空模式下104000Pa1.9 冷却系统 配有循环水冷却器1.10 其他配

5、件或易损件 配置相关配件或易损件（备用灯丝+光阑3套）。2 附件2.1 X射线能谱仪（EDS）1）探测器 探头类型：电制冷硅漂移（SDD）探测器，采用场效应管（FET）集成设计的高速SDD芯片，有效探测器面积30mm2l 能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV 单一处理单元能同时支持两个及多个探测器l 测定元素范围：4号元素硼Be到95号元素镅Am 峰背比优于20000:1，谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV2）能谱仪及图像系统 能

6、谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，完整的能谱定性定量系统，带图像系统，能进行线面扫描； 电子数字图像最大清晰度：81926400；全谱智能面分布图清晰度4096*4096，单探测器输出最大计数率大于600,000CPS，可处理最大计数率大于1,500,000CPS。3）智能化能谱分析平台 一体化集成用户界面，所有应用软件在同一个平台上打开，支持用户自定义模式及账户管理，支持中、英文等多种操作界面。 定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离。 定量分析：可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修

7、正；具备有标样定量分析及无标样定量分析方法。4）计算机及其附件部分 计算机工作站，EDS与EBSD共用高级工作站系统，Intel Xeon E5-2609 (3.10 GHz, 6 MB cache, 4 cores)处理器，Windows 7 64-bit操作系统，16 GB内存，1 TB 硬盘， SATA SuperMulti DVD读写光驱，24” TFT-LCD Monitor ，Microsoft Office 2010办公软件(最低配置)； 网络打印机：最大打印幅面：A4；打印速度：A4：达到14ppm；最高分辨率：600600dpi；耗材类型：鼓粉一体；硒鼓寿命：2000页；首页

8、打印时间：小于10秒；月打印负荷：达到5000页；进纸盒容量：150页手动进纸器；内存：2MB。2.2 电子束背散射衍射仪（EBSD）系统（可与EDS实现一体化）1）EBSD探测器 EBSD探头，适用于场发射电镜的高速EBSD探测器，能与EDS硬件同时使用，高端的高灵敏度CCD相机，加速电压大于kV，及束流大于500 pA时，可以采集到明显的衍射花样。3025mm矩形荧光屏；花样像素分辨率：64048012位；花样采集速度：920花样/秒 88binning，630花样/秒 44binning； EBSD与EDS形成一体化系统，使用单一软件界面，以便于材料的成分和晶体结构分析； 花样采集速度9

9、30 patterns点/秒(88 binning)； 标定成功率，任何扫描速度下，用以多晶镍（Ni）为标样，测量99%的标定成功率； 取向精准度，任何扫描速度下，获得优于0.3度的取向精准度，并可同时给出数据可用性的量化指标。2）软件、数据库系统 数据库系统：配备足够专业的EBSD数据库，包括Bruker自有数据库、ICSD数据库（集成），并兼容所有主要的第三方数据库（ICDD、ICSD、AMCS、NIST等），支持用户自定义相数据库等功能； 软件功能全面，用户界面直观易用、操作方便，至少应包含但不限于以下一些功能：无标样自动系统校准、花样质量分布图、极图和反极图、取向分布图、相图与相鉴定、

10、数据的再处理； 与能谱联合使用，具备图像采集系统：具有SEM成像功能，可支持多种SEM图像类型，图片尺寸不低于40964096；具备EBSD花样自由采集，无标样自动系统校准功能，拥有极图与反极图，取向分布，相区分与鉴定，能够分析晶界织构，以及EDS和EBSD的同步分析，离线数据再处理等软件包；标书需详细提供产品功能的软件特点。2.3 场发射专用离子溅射仪（英国，用于场发射扫描电镜样品制备，要求镀层均匀，镀层颗粒小，可进行镀金和镀碳。） 最大样品直径60mm，最大样品高度20mm； 镀金速率：35nm/Min； 电压0.4kV，最大溅射电流40mA，工作真空度7Pa； 真空泵抽率 135L /Min。2.4 UPS 电源 （与电镜配套使用的原装进口美国山特UPS电源，保证不少于30min的供电） 额定功率：20KVA； 输入电压范围： 210-475VV；输出电压范围：AC 220V（11%）V； 输入频率范围：46-64Hz，输出频率范围：市电模式：46-54Hz/56-64Hz； 电池电压：16p