特殊气体管路施工规范

1、特殊燃气管道和高洁净度管道，示范法，2，目录，1，洁净室工作安全规范.p 3 2，piping installation line勃起.p 8 3，弯头工作规范.p 17 4，焊接规范.p 24 5，测试规格.p 28 6，工作安全规范.p 36 7，主管人员场地主管准则.p 39，3，工业安全标准，1，一般清洁区工作条件(工厂室)(1)进入工作区前，必须把鞋彻底清洁。(2)最好每天擦有金属屑等东西的地方。(3)有规律的保管资料。(4)工作场所禁止吸烟、吃食物或喝饮料。(5)所有工作空间都要收集垃圾桶、剪贴簿等。(六)材料人员出入必须清洁。(7)所有人员和设备必须每周打扫一次。(八)造成污染的

2、工作必须隔离。(油漆、磨砂涡轮机等)2、非常干净的区域工作条件(洁净室地下通风区)(1)应更换专用鞋或鞋盒。(2)使用吸尘器除去脏东西。(3)有规律的保管资料。4，(4)禁止在工作区吸烟、吃或喝饮料。(5)所有使用过的材料、残留材料等，每天都要清除。(。(6)所有工作空间都要收集密封垃圾桶、剪贴簿等。(七)材料人员的出入必须受到管制。(八)所有人员和设备每周要打扫一次。(9)造成污染的工作必须隔离(如油漆、磨砂涡轮机等)。(10)出入车间的所有材料必须清理干净才能进入。(11)所有车间都必须穿干净的工作服。(十二)工作区的管道设备禁止攀登、践踏、悬挂等。3、绝对清洁区域工作条件(洁净室生产区域

3、)(1)无尘鞋或鞋套需要更换。(2)使用中央系统真空或特殊过滤装置的便携式真空吸尘器工作时产生的金属等头屑。(3)有规律的保管和使用资料。(4)工作场所禁止吸烟、吃食物或喝饮料。(5)所有使用过的材料、残留材料等，每天都要清除。(。5，(6)车间必须有密封垃圾回收桶。(七)材料人员的出入必须受到管制。(8)所有员工和业主每天都要打扫干净。(9)造成污染的工作必须在进入洁净室之前完成。(10)进入工作区的所有材料和工具都要用水洗净。(。(11)除了进入无尘房间外，除了穿无尘衣服和尼龙手套外，还要穿干净的工作服。(12)禁止树木或车前草材料制成的纸箱进入洁净室。(13)禁止接触任何液体或任何你不知

4、道的器物。(14)含有石油的工具禁止携带。(。4、洁净室建设安全规则(1)指定处理安全问题的人员。(2)不要雇用童工。(3)车间禁止吸烟。(4)一定要准备好安全眼镜。(5)在清洁室要戴安全帽。特别是有震动的时候，一定要戴安全帽。(6)任何时候都不能堵塞通道和出入口。(。6，(7)在工作区工作，必须保持清洁。发生垃圾的时候，要经常带垃圾袋，每天收集的时候要带洁净室。(8)发生事故时，应立即通知监督人。(9)带有安全围栏和警告标志的特殊危险工作区。(10)地板洞口必须有安全围栏和警告标志，这样人才能不掉下来。(11)为了防止火灾，必须有灭火器。12)灭火器只能使用泡沫灭火器，不能使用干粉灭火器。(

5、。(13)工作台超过地面2米以上时，应使用鹰架，人应系安全带(电缆)。(14)鹰架、楼梯和工具要保持良好状态。(15)超过2米(3英尺)，工具必须放在工具箱(箱子)里。(。(16)同时，两组人员在不同高度工作时，要有良好的连接。(十七)在工作区工作，要保持干净。发生垃圾的时候，要经常带垃圾袋，每天收集的时候要带洁净室。(18)发生事故时，应立即通知监督人。(19)带有安全围栏和警告标志的特殊危险工作区。(20)地板开口上要有安全围栏和警告标志，以防止人掉落。7，(21)为了防止火灾，必须准备灭火器。(22)灭火器只能使用泡沫灭火器，不能使用干粉灭火器。(。(23)工作台超过地面2米以上时，应使

6、用鹰架，人应系安全带(电缆)。(24)鹰架、楼梯和工具要保持良好状态。(25)超过地面2米(6英尺)以上时，工具必须放在工具箱(箱子)里。(。(26)同时，两组人员在不同高度工作时，要有良好的连接。(27)无人值守等易燃物质不能放在工作区。(28)化学品泄漏，应立即处理。(29)易燃物质应位于盖容器内。(30)所有阀门、交换机插座、电源插座、自由开、关、断开(控制台管线)。(31)未经监督人同意，不得擅自变更管线布线、材料、材料。8、安装管道安装管路，在洁净室或简单洁净室进行高清洁度管线操作时，必须遵守以下规定：1、现场工作要求将资料保存在特定的保管室，在现场或材料之间提供临时、简单的整理室，

7、所有资料要整齐地保存。保管材料时，带电子抛光的零件应与未电子抛光的零件分离。在未使用管件之前，请不要打开塑料信封，直到当前使用为止。请勿将材料直接放置在地面上。切割管道时使用的自动切割机或手动切割机必须专门为半导体工厂工作而设计。刀具的叶片与管件垂直，使用自动切割机时，为了防止管子切割时碎片进入管子，可以放置管子完好的薄层。9，倒角原则上在使用倒角机器(管大小)或档案(管大小)时小心地移除割面。如果剖切平面不垂直，则当焊接球体松动或管子弯曲时，这些管路不符合规定，需要重新修剪和配置。倒角时，必须从管子另一侧冲向高洁净度的氮(氮被0.02um的过滤器过滤)。 N2冲孔吹出管内的粒子。工作后，保持

8、清洁视图切割机的清洁度，保持设备从油，如果仍看到油或切割碎片的残留，请按照以下方法清洁。用于GN2冲洗的N2必须经过-80以下的露点，然后用0.02um的过滤器烘干。预制任务(在简单洁净室中，clean booth)是将现场焊接任务最小化所必需的。卫生区域应在风扇正常运转的干净空气所在的地方，使用早、中、晚CO2查看器检查CO2浓度。10，点焊TIG焊，点焊点按以下规定。(CAJON的焊机必须保证管道确实牢固，从完成的角度来看，最好不要使用手动TIG焊接，因此省略点焊。)。从3/4”到15A 80a: 3 4点。粉尘气体(back seal gas)在氩、露点-80以下，氧含量在0.1ppm以

9、下，颗粒(0.1um以上)含量为0。使用冲洗喷嘴连接吹气管路和勃起管路(1)，使用图(1)(见)，11，勃起程序(图2)，将喷嘴套在工作管路两端，将冲气和阀门连接起来。图(2)，12，室长(在Clean booth内进行)焊接完成后，管子里充满了Ar气体，用无尘塑料纸在末端包裹两层。如果末端的阀门连接，阀门也用塑料纸包起来。2、现场建设目前何利焊接人员必须通过高洁净度管道技术验证。焊接工作，13，照原样。取出一端信封，连接Back seal gas。拆卸焊接端包络并吹干净。连接后，粉碎一端的后seal gas，使其成为风道末端并开始焊接。保持少量N2或Ar，以防止管道保持条件焊接结束时空气流入

10、管道。无论如何要想办法把管子里的空气和粒子排出去。如果不能继续吹。焊机电源的电压变化对管道焊接质量有很大影响。使用自动焊机的电源必须使用特定的适配器。允许电压波动AC 100V10%，AC 200V10%，焊接期间电压警报器持续监视电压，如果电压超过允许范围，警报器会发出声音。3、其他注意事项下面介绍的工作应在建造高洁净度管路时完成。14，吹氩控制用压力计或液位计看看还剩下多少氩。查看流量计的刻度，检查冲洗气体的容量。使用取样阀从气缸或气体来源收集氩，氩纯度测定露点在-80以下，剩余氧气小于0.1ppm，颗粒含量为0 (0.1um以上的粒子)。在工作场所测量勃起线末端的氩气纯度，露点决定在-7

11、0 以下的剩余氧气不足2ppm，测量场所应在主管和焊接都同意的地方。在前四项规定工作之前，每天监督人员或工作人员为质量管理工作。如果气体容量未达到标准，则通知监督官并暂停工作，但如果刷新继续进行或使用保留LN2，则使用保留LN2，则必须分析供应气体的纯度。控制简单洁净室的清洁度Clean booth内焊接部的粒子数(大于0.1um)不能超过100 /c.f，10000类用于存储，1000类用于装配。在正常使用期间，每天至少测量一次粒子。15，管理干净的衣服在清洁布内使用的干净的衣服、干净的鞋、干净的手套和其他设备，使用前必须检查清洁度。用过的干净衣服等，不管脏不脏，每周都要洗一次。洁净室按照洁

12、净室人员管理规定，所有员工都必须致力于在清洁的空气环境中工作。焊接状态检查(个人或主管)自动焊机的工作条件发生变化时，必须确保焊接数据符合工作条件。钨杆的维护和控制钨杆的变形与否也要时刻注意。抛光钨棒的工作应由监督人批准的专家使用特定设备进行。样品制作和焊接条件检查(焊工或主管)每天早晨工作之前，要制作几个大小相同的样品。监督人剪下样品，检查管子内部焊接情况，眼睛判断焊接地点是否有不规则的洞或裂纹、气孔或未完全焊接等缺点。16，发现焊接缺陷时，检查焊接条件，更换钨条，确认冲洗气体纯度，执行管道工作，直到质量和吹气方法满意为止。样品和焊接数据必须同时保存。要求携带和安装机器从一侧带到机器，必须事

13、先申请同意路径，并将使用的拖车放在特定地点。在水泥地上使用铁锚等固定机器。确定垂直和水平方向后固定机器。机器在刷地板防尘漆之前必须安装。管道标记至少每5米，管道上必须有标记，气体名称流量编号标记除开/关标记球阀外，所有阀门都必须有打开/关闭标记。17，行业标准折弯，1，本节介绍创建Gas System时如何使用管道工具PIPE BENDER进行管道加工。使用主物件SUS 316 BA管，外径1/4 (6.53)工具R1 NO.394 LEVER类型TUBEBENDER。2、识别管线图和确定管道长度的管线图尺寸表示管线中心的尺寸或中心管线的端点长度。18、通常在管道分叉处实施许多焊接。使用3mm

14、 (1/4 od) (3.15mm - 3mm)约5mm (3/8 od)，19，TUBE BENDER弯曲的中心点与垂直于约15R的曲线进行比较，管线的总长度较短也就是说，根据适合绘图的尺寸，其长度比实际管线长度长。20，180度弯曲(r-弯曲)，角度弯曲，SET BACK为14.6 mm，计算方法如下：管道长度=(50 30 90 120)-14.6-6.4=269mm1/4 od和3/8 时，r-弯曲组Back 23.6mm是以上图解原理(50 30 90 120)，22，示例：所需管道长度=(50 70 80)-12.7=187.33 mm 2折弯集背面，准备长度为187.3 mm的管

15、线后，任务开始。3，使用“切割管道”(Pipe Cutter)工具RIDGID NO.105开始切割管道时，管道轴方向必须前后旋转3-4周半，以避免垂直，这样沟渠才会开始。用红笔预先标出管线的断裂处。切削深度切削一次太深，切削无法形成真正的圆，进行得很慢，操作框旋转角度保持约30度即可。切削完成后，管道内部面会产生头屑，内径减少，必须使用“铣削刀具”(Cutter)将其移除。最后，用铣刀取出芯片，粉末。4.配管整体变形操作要注意的原则配管管路操作的开始，比较工程图的两端，从较短的部分开始烧录，并在较短的配管上显示。必须将此零件放置在Bender的左侧集合中。始终检查管是否因Bender的状态而受伤或变形。两端弯曲180度(r-弯曲)时，必须在180度弯曲的方向上工作。r曲线尺寸显示在管线上，并设置在Bender的左侧。23，5，固定大小(划线器划线方法)管线尺寸中可用普通标尺，用红色铅笔表示。如果应用到弯曲的管线一次，则使用